一种基于仿生植物脉络的研磨盘及制备方法技术

本发明专利技术提供了基于仿生植物脉络的研磨盘，包括层叠设置的基体层和工作层；所述工作层仿生于各种不同的植物叶片脉络分布设置有沟槽结构，并且所述沟槽结构根据植物叶片的主脉络和分支脉络分为主沟槽和副沟槽；所述主沟槽由工作层的中心向边缘延伸，并且各个主沟槽绕着研磨盘的轴心呈旋转螺旋对称分布；所述副沟槽位于相邻两个主沟槽之间，并且所述副沟槽具有多个连接主沟槽或工作层边缘的分支末端，并且具有多个分支脉络交汇端，本发明专利技术还提供了上述研磨盘的制作方法。上述的研磨盘由于根据植物脉络传输的原理使得沟槽分布的均匀性好，在研磨过程中研磨液分布更加均匀，利于研屑的及时排出，防止研磨盘堵塞磨损，从而提高研磨加工的质量和效率。

Grinding disc based on bionic plant venation and preparation method thereof

The present invention provides an abrasive disc based on a bionic plant vein, including a laminated matrix and a working layer; the working layer is imitated by a grooves structure of various plant leaf veins, and the trench structure is divided into grooves and grooves based on the main veins of the plant leaves and the branches of the branch branches; the main body is divided into grooves and grooves. The groove extends from the center of the work layer to the edge, and the main trenches are rotationally and symmetrically distributed around the axis of the grinding disc; the sub groove is located between two adjacent main trenches, and the sub groove has a plurality of branch ends connected to the main groove or the edge of the work layer, and has multiple branch choroid ends. The invention also provides a manufacturing method for the grinding disc. As a result of the good uniformity of the groove distribution according to the principle of plant choroid transmission, the distribution of the grinding fluid is more uniform during the grinding process, which is conducive to the timely discharge of the chip, preventing the grinding disc from clogging and wearing, thus improving the quality and efficiency of the grinding process.

【技术实现步骤摘要】
一种基于仿生植物脉络的研磨盘及制备方法
本专利技术涉及一种固结磨料研磨盘，特别是涉及一种基于仿生植物脉络槽型的金刚石微粉固结研磨盘。
技术介绍
研磨抛光加工技术作为一种重要的精密超精密加工技术方法，它被广泛应用于半导体基片材料加工领域。而固结磨料研磨抛光技术无疑是该技术中的一项热门技术，固结磨料研磨盘的研发推动着固结磨料研磨抛光技术不断革新，越来越受到各界的重视。代替金属结合剂的树脂结合剂研磨盘由于其加工性能更加突出，制备也更加容易而被广泛使用。在研磨抛光过程中，为了使加工工件表面获得更好的表面质量，需要考虑的一个重要问题就是研磨工具随加工的进行而逐渐堵塞。针对这一问题，研磨盘上会设计一些简单的沟槽以利于研屑的排出，例如网格槽型、螺旋槽型、同心圆槽型等。然而，这些沟槽结构主要是解决了研磨工具在全局上研磨液供给问题，在研磨工具表面未设置沟槽结构的局部区域仍存在研磨液供给不均，易造成研屑在研磨工具局部区域不能及时的排出，进而造成研磨工具的局部堵塞磨损问题，这将严重影响研磨加工的材料去除效率和研磨加工表面质量。为了更有效的解决上述问题，需要设计更复杂有效的沟槽以达到更好的研磨液输送和研屑排本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于仿生植物脉络的研磨盘，其特征在于：包括层叠设置的基体层和工作层；所述工作层仿生于各种不同的植物叶片脉络分布设置有沟槽结构，并且所述沟槽结构根据植物叶片的主脉络和分支脉络分为主沟槽和副沟槽；所述主沟槽由工作层的中心向边缘延伸，并且各个主沟槽绕着研磨盘的轴心呈旋转螺旋对称分布；所述副沟槽位于相邻两个主沟槽之间，并且所述副沟槽具有多个连接主沟槽或工作层边缘的分支末端，并且具有多个分支脉络交汇端。

【技术特征摘要】
1.一种基于仿生植物脉络的研磨盘，其特征在于：包括层叠设置的基体层和工作层；所述工作层仿生于各种不同的植物叶片脉络分布设置有沟槽结构，并且所述沟槽结构根据植物叶片的主脉络和分支脉络分为主沟槽和副沟槽；所述主沟槽由工作层的中心向边缘延伸，并且各个主沟槽绕着研磨盘的轴心呈旋转螺旋对称分布；所述副沟槽位于相邻两个主沟槽之间，并且所述副沟槽具有多个连接主沟槽或工作层边缘的分支末端，并且具有多个分支脉络交汇端。2.根据权利要求1所述的一种基于仿生植物脉络的研磨盘，其特征在于：所述基体层的材质为树脂，其厚度为20～30mm。3.根据权利要求2所述的一种基于仿生植物脉络的研磨盘，其特征在于：所述工作层由树脂与金刚石微粉结合而成，其厚度为2～3mm。4.根据权利要求1所述的基于仿生植物脉络的研磨盘，其特征在于：主沟槽和副沟槽的槽型横截面为方形或三角形或梯形；主沟槽的深度为4～6mm，副沟槽的深度为2～3mm。5.根据权利要求2所述的基于仿生植物脉络的研磨盘，其特征在于：所述的金刚石微粉的粒度为0.1～40μm。6.一种权利要求1-5中任一项所述的基于仿生植物脉络的研磨盘的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)提供有与研磨盘直径配套的圆环挡圈、支撑板、相应的主沟槽压板和副沟槽压板；所述支撑板设置在圆环挡圈内，使得底板和圆环挡圈共同包围形成一半封闭腔体；所述主沟槽压板包括一...

【专利技术属性】
技术研发人员：方从富，严振，胡中伟，徐西鹏，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：发明
国别省市：福建,35