五通道多色滤光片制造技术

本发明专利技术属光学薄膜技术领域，具体涉及一种五通道多色滤光片，包括膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5、膜系6和蓝宝石基底，所述膜系1沉积于所述蓝宝石基底的一侧，所述膜系2、所述膜系3、所述膜系4、所述膜系5、所述膜系6依照编号顺序沉积于所述蓝宝石基底的另一侧，所述膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5和膜系6均由二氧化硅膜层(L)和氧化钛膜层(H)交替叠加组成。相比于现有技术，本发明专利技术中的五通道多色滤光片在5个谱段内具有高透过率，更符合遥感探测系统中全光谱的应用需求，同时，材质从常规的10个膜系减少至6个膜系，工序减少，降低了产品的研制成本，同时提高了成品率。

Five-channel multicolor filter

The invention belongs to the technical field of optical thin film, and specifically relates to a five-channel multi-color filter, which comprises a film system 1, a film system 2, a film system 3, a film system 4, a film system 5, a film system 6 and a sapphire substrate. The film system 1 is deposited on one side of the sapphire substrate. The film system 2, the film system 3, the film system 4, the film system 5, and the film system 6 are deposited on the sapphire substrate in serial order. On the other side, the film system 1, 2, 3, 4, 5 and 6 are composed of alternately superimposed silica film (L) and titanium oxide film (H). Compared with the existing technology, the five-channel multi-color filter in the invention has high transmittance in five spectral bands, which is more in line with the application requirements of full spectrum in remote sensing detection system. At the same time, the material of the five-channel multi-color filter is reduced from 10 conventional film systems to 6 film systems, the process is reduced, the development cost of the product is reduced, and the finished product rate is improved.

【技术实现步骤摘要】
五通道多色滤光片
本专利技术属光学薄膜
，具体涉及一种五通道多色滤光片。
技术介绍
目前遥感探测系统的多光谱、全光谱成像系统中，亟需一种满足以下要求的关键滤光片：(1)在450±5～510±6nm、510±6～580±6nm、630±7～690±7nm、770±8～895±9nm、450±5～800±9nm五个谱段通道内具有高透过率(≥90％)；(2)由于300～1100nm普段内具有抑制光信号的作用，以减少信号噪声的影响，因此在300～1100nm普段内应具有低透过率；(3)滤光片的基底材料应为同一个基底材料；(4)每个通带的镀膜区域较窄，应为3毫米以内，因此造成镀膜工艺难度增大。检索到的较接近的对比文件(CN201410403432.7)公开了一种双色滤光片及设计方法，由基片及基片两侧的带有增透带的单带通膜系组成，基片两侧的带有增透带的单带通膜系为多腔串置的法布里-珀珞带通膜系，其基本结构为[反射层│间隔层│反射层]k，具体膜系结构为：[…HLH│mL│HLH…]k或者[…LHL│mH│LHL…]k，其中H代表高折射率材料，L代表低折射率材料，k是大于1的整数，代表谐振腔数本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种五通道多色滤光片，其特征在于：包括膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5、膜系6和蓝宝石基底，所述膜系1沉积于所述蓝宝石基底的一侧，所述膜系2、所述膜系3、所述膜系4、所述膜系5、所述膜系6依照编号顺序沉积于所述蓝宝石基底的另一侧，所述膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5和膜系6由二氧化硅膜层(L)和氧化钛膜层(H)交替叠加组成。

【技术特征摘要】
1.一种五通道多色滤光片，其特征在于：包括膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5、膜系6和蓝宝石基底，所述膜系1沉积于所述蓝宝石基底的一侧，所述膜系2、所述膜系3、所述膜系4、所述膜系5、所述膜系6依照编号顺序沉积于所述蓝宝石基底的另一侧，所述膜系1、膜系2、膜系3、膜系4、膜系5和膜系6由二氧化硅膜层(L)和氧化钛膜层(H)交替叠加组成。2.根据权利要求1所述的五通道多色滤光片，其特征在于：所述膜系1的结构为(0.5LH0.5L)^12(0.18H0.36L0.18H)^10，所述膜系1的中心波长为1025nm。3.根据权利要求1所述的五通道多色滤光片，其特征在于：所述膜系2的结构为(0.5LH0.5L)^12(0.60L1.20H0.60L)^9(0.75L1.5H0.75L)^8，所述膜系2的中心波长为600nm。4.根据权利要求1所述的五通道多色滤光片，其特征在于：所述膜系3的结构为(0.60L1.20H0.60L)^7(0.495L...

【专利技术属性】
技术研发人员：王济洲，王小军，王云飞，李凯朋，杨登强，鲍鑫，杨子文，许斌，张海龙，
申请(专利权)人：无锡泓瑞航天科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32