一种大流量自动混气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种大流量自动混气装置，包括壳体，所述壳体内腔固定安装有缓冲管路，所述缓冲管路侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管、第二混气管、置换吹扫管、混气主管路仪表、尾气排放管、隔离阀、缓冲管路仪表和缓冲支管，所述第一混气管从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀、第一混气管路减压装置、第一混气管路仪表、第一混气管路热式质量流量控制器和第一管路单向止回阀，所述第二混气管从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀、第二混气管路减压装置、第二混气管路仪表、第二混气管路热式质量流量控制器和第二管路单向止回阀，可以通过仪表相互比对、校核提高混气准确率。

A Large Flow Automatic Mixing Device

The utility model discloses a large flow automatic air mixing device, which comprises a shell. The inner chamber of the shell is fixed with a buffer pipeline. The side wall of the buffer pipeline is fixed and installed successively from left to right with the first mixing pipe, the second mixing pipe, the replacement purge pipe, the mixing main pipe instrument, the tail gas discharge pipe, the isolation valve, the buffer pipeline instrument and the buffer branch pipe, the first mixing pipe from left to right. The first pipeline intake pneumatic valve, the first mixing pipeline decompression device, the first mixing pipeline instrument, the first mixing pipeline thermal mass flow controller and the first pipeline unidirectional check valve are fixed and installed successively from back to front in the second mixing pipeline. The second mixing pipeline decompression device, the second mixing pipeline instrument and the second mixing pipeline check valve are fixed and installed successively from back to front in the second mixing pipeline. The mixing accuracy can be improved by comparing and checking the instruments between the heat-type mass flow controller and the second one-way check valve of the mixing pipeline.

【技术实现步骤摘要】
一种大流量自动混气装置
本技术涉及混气装置
，具体为一种大流量自动混气装置。
技术介绍
近些年GaN基LED器件PSS衬底技术的广泛被采用，LED产能急剧提升，多腔高产能外延设备购买、定位安装；较大流量混气装置日渐重要，传统混气装置有以下不足，工艺设备增多，混气装置供气量不足及混气不均匀；支路间可能因压力差引起某一支路不能工作，混气达不到工艺需求；手动混气较适用用气量较小的规模，较难高效实现匹配大批量机台工艺需求。为此，我们提出一种大流量自动混气装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种大流量自动混气装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种大流量自动混气装置，包括壳体，所述壳体内腔固定安装有缓冲管路，所述缓冲管路侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管、第二混气管、置换吹扫管、混气主管路仪表、尾气排放管、隔离阀、缓冲管路仪表和缓冲支管，所述第一混气管从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀、第一混气管路减压装置、第一混气管路仪表、第一混气管路热式质量流量控制器和第一管路单向止回阀，所述第二混气管从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀、第二混气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大流量自动混气装置，包括壳体(8)，其特征在于：所述壳体(8)内腔固定安装有缓冲管路(3)，所述缓冲管路(3)侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管(1)、第二混气管(2)、置换吹扫管(4)、混气主管路仪表(32)、尾气排放管(6)、隔离阀(31)、缓冲管路仪表(33)和缓冲支管(7)，所述第一混气管(1)从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀(11)、第一混气管路减压装置(12)、第一混气管路仪表(13)、第一混气管路热式质量流量控制器(14)和第一管路单向止回阀(15)，所述第二混气管(2)从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀(21)、第二混气管路减压装置(22)、第二混气管路...

【技术特征摘要】
1.一种大流量自动混气装置，包括壳体(8)，其特征在于：所述壳体(8)内腔固定安装有缓冲管路(3)，所述缓冲管路(3)侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管(1)、第二混气管(2)、置换吹扫管(4)、混气主管路仪表(32)、尾气排放管(6)、隔离阀(31)、缓冲管路仪表(33)和缓冲支管(7)，所述第一混气管(1)从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀(11)、第一混气管路减压装置(12)、第一混气管路仪表(13)、第一混气管路热式质量流量控制器(14)和第一管路单向止回阀(15)，所述第二混气管(2)从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀(21)、第二混气管路减压装置(22)、第二混气管路仪表(23)、第二混气管路热式质量流量控制器(24)和第二管路单向止回阀(25)，所述置换吹扫管(4)前端固定安装有置换吹扫隔离阀(41)，所述置换吹扫管(4)中部固定安装有高纯氮气进口单向止回阀(42)，所述尾气排放管(6)中部固定安装有排空阀(61)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周礼誉，
申请(专利权)人：上海兄弟微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31