脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置制造方法及图纸

能够通过简易的构成生成时间强度波形互不相同的两种脉冲光。脉冲光生成装置具备：光耦合器，其至少具备第1端口、第2端口、第3端口及第4端口这4个输入输出端口；连接光路，其连接上述第3端口与上述第4端口；和相位调制元件，其配置在上述连接光路，上述光耦合器将输入到上述第1端口的输入脉冲光分支，并作为第1方向脉冲光及第2方向脉冲光分别输出到上述第3端口及上述第4端口，上述相位调制元件通过对上述第1方向脉冲光及上述第2方向脉冲光的至少一者实施相位调制，而分别从上述第1端口及上述第2端口输出波形互不相同的输出脉冲光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置
本专利技术涉及脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置。
技术介绍
为了将从半导体激光器等输出的脉冲光用作检查装置、加工装置的光源，要求脉冲光的强度大且波长光谱宽度小。为了得到强度大的脉冲光，必须利用光纤放大器将从半导体激光器输出的脉冲光放大。但是，在放大过程中，会在脉冲光产生因自相位调制而引起的相位调制，其结果是，存在脉冲光的波长光谱扩展的问题。专利文献1中公开了具备包含非互易性光元件的非线性光环路镜(non-linearopticalloopmirror)的激光谐振器。现有技术文献专利文献专利文献1：日本国特开2013-187542号公报
技术实现思路
专利文献1所公开的激光谐振器无法生成时间强度波形互不相同的两种脉冲光。根据本专利技术的第1方式的脉冲光生成装置具备：光耦合器，其至少具备第1端口、第2端口、第3端口及第4端口这4个输入输出端口；连接光路，其连接上述第3端口与上述第4端口；和相位调制元件，其配置在上述连接光路，上述光耦合器将输入到上述第1端口的输入脉冲光分支，并作为第1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脉冲光生成装置，其特征在于，具备：光耦合器，其至少具备第1端口、第2端口、第3端口及第4端口这4个输入输出端口；连接光路，其连接所述第3端口与所述第4端口；和相位调制元件，其配置在所述连接光路，所述光耦合器将输入到所述第1端口的输入脉冲光分支，并作为第1方向脉冲光及第2方向脉冲光分别输出到所述第3端口及所述第4端口，所述相位调制元件对所述第1方向脉冲光及所述第2方向脉冲光的至少一者实施相位调制，由此，分别从所述第1端口及所述第2端口输出波形互不相同的输出脉冲光。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.26 JP 2016-1056131.一种脉冲光生成装置，其特征在于，具备：光耦合器，其至少具备第1端口、第2端口、第3端口及第4端口这4个输入输出端口；连接光路，其连接所述第3端口与所述第4端口；和相位调制元件，其配置在所述连接光路，所述光耦合器将输入到所述第1端口的输入脉冲光分支，并作为第1方向脉冲光及第2方向脉冲光分别输出到所述第3端口及所述第4端口，所述相位调制元件对所述第1方向脉冲光及所述第2方向脉冲光的至少一者实施相位调制，由此，分别从所述第1端口及所述第2端口输出波形互不相同的输出脉冲光。2.如权利要求1所述的脉冲光生成装置，其特征在于，所述相位调制元件对所述第1方向脉冲光及所述第2方向脉冲光实施互不相同的相位调制。3.如权利要求1或2所述的脉冲光生成装置，其特征在于，从所述相位调制元件至所述第3端口的光学距离与从所述相位调制元件至所述第4端口的光学距离不同。4.如权利要求1～3中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，所述光耦合器能够使光在所述第1端口与所述第3端口之间、所述第1端口与所述第4端口之间、所述第2端口与所述第3端口之间、及所述第2端口与所述第4端口之间传播，在所述第1端口与所述第4端口之间传播的光与在所述第1端口与所述第3端口之间传播的光相比相位延迟波长的1/4，在所述第2端口与所述第3端口之间传播的光与在所述第2端口与所述第4端口之间传播的光相比相位延迟波长的1/4。5.如权利要求1～4中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，所述相位调制元件对所述第1方向脉冲光及所述第2方向脉冲光的至少一者的脉冲的一部分进行波长的1/2的相位调制。6.如权利要求1～5中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，所述输出脉冲光中的、从所述第1端口和所述第2端口的一者输出的第1脉冲光在从所述第1端口和所述第2端口的另一者输出的第2脉冲光的强度减小时强度增加，在所述第2脉冲光的强度增加时强度减小。7.如权利要求6所述的脉冲光生成装置，其特征在于，所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度成为最大的时刻的前、后时刻分别具有极大值。8.如权利要求1～7中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，在所述连接光路，所述相位调制元件为第1相位调制元件，所述脉冲光生成装置还具备第2相位调制元件，所述第2相位调制元件配置在与所述第1相位调制元件不同的位置处，从所述第2相位调制元件至所述第3端口的光学距离与从所述第2相位调制元件至所述第4端口的光学距离不同。9.如权利要求8所述的脉冲光生成装置，其特征在于，所述第1相位调制元件对所述第1方向脉冲光的脉冲的一部分进行波长的1/4的相位调制，所述第2相位调制元件对所述第2方向脉冲光的脉冲的一部分向与所述第1方向脉冲光的相位调制方向相反的方向进行波长的1/4的相位调制。10.如权利要求1～9中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，还具备：合波元件，其被输入所述输出脉冲光并生成被合波的合波光；第1光纤，从所述合波元件输出的所述合波光被输入到所述第1光纤并在所述第1光纤的内部传播；分离元件，其对所述合波光进行分离；和第2光纤，从所述分离元件输出的脉冲光被输入到所述第2光纤且在所述第2光纤的内部传播并被放大。11.如权利要求10所述的脉冲光生成装置，其特征在于，还具有：第1激光光源，其输出第1波长的输入脉冲光；和控制部，其控制所述第1激光光源和所述相位调制元件。12.如权利要求10所述的脉冲光生成装置，其特征在于，所述分离元件为偏振光分束器。13.如权利要求11所述的脉冲光生成装置，其特征在于，还具有第2激光光源，所述第2激光光源输出波长与所述第1波长不同的第2波长的输入脉冲光，所述控制部控制所述第2激光光源，所述分离元件为波长选择滤波器。14.如权利要求10～13中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，还具备：第3光纤，其配置在所述第2端口与所述合波元件之间，和第4光纤，其配置在所述第1端口与所述合波元件之间。15.如权利要求10～14中任一项所述的脉冲光生成装置，其特征在于，还具有波长转换部，所述波长转换部被输入从所述第2光纤输出的所述脉冲光并传播，且对所述脉冲光的波长进行转换。16.如权利要求15所述的脉冲光生成装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：德久章，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP