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脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置制造方法及图纸
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下载脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置的技术资料
文档序号:20022457
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能够通过简易的构成生成时间强度波形互不相同的两种脉冲光。脉冲光生成装置具备:光耦合器,其至少具备第1端口、第2端口、第3端口及第4端口这4个输入输出端口;连接光路,其连接上述第3端口与上述第4端口;和相位调制元件,其配置在上述连接光路,上述...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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