The invention relates to a production method of ZMO target material, which comprises the following steps: S1: ball milling screening; S2: die preloading; S3: hot pressing; S4: demoulding. The production method of the ZMO target material of the invention has simple steps, high density, low resistivity, heating temperature not exceeding 1000 C, energy cost saving and good economic benefit, and is worth popularizing and applying.
【技术实现步骤摘要】
ZMO靶材的生产方法
本专利技术涉及靶材的生产领域，尤其涉及一种ZMO靶材的生产方法。
技术介绍
近年来，薄膜太阳能电池发展迅速，应用范围日益扩大，深受世界各国重视。氧化锌镁合金（ZnMgO，简写为ZMO）是一种光、电性能均十分出色的透明导电氧化物，是太阳能薄膜电池用窗口层或电极层的极佳选择。更重要的是ZMO生产资源丰富，绿色无毒，可产业化生产。溅射法因其成本低，效率高，镀膜效果好，成为了制备薄膜材料的主要方法。靶材是溅射镀膜的基本耗材，高质量的靶材更是薄膜应用领域的基础，其重要性不言而喻。但市场上高性能、低电阻率的ZMO溅射靶材仍十分缺乏，制备工艺和生产成本是限制其应用范围的主要原因。公告号为TWI535875B的中国台湾专利公开了一种掺杂ⅢＡ族元素之氧化镁锌溅镀靶材之制备方法，其分别通过研磨、干燥、造粒，获得一种混合粉末，然后利用冷等静压法得到初胚，最后通过高温烧结得到毛坯靶材。虽然制备得到了ZMO靶材，但该方法制备过程繁多，设备昂贵，生产成本偏高，不适合大面积生产。文献MgxZn1-xO陶瓷靶材的制备（武汉理工大学学报,2014,36(6):5-9）通过常压...
【技术保护点】
1.一种ZMO靶材的生产方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：球磨筛分：称取适量的MgO、ZnO粉体形成混合粉体，分别加入混料机中用二氧化锆球进行混料；其中MgO占混合粉体质量的0~20wt%，ZnO占混合粉体质量的80wt%~100wt%，二氧化锆球和混合粉体的球料质量比为1~3:1，混料机转速为50~150r/min；球磨时间8~24h；混料完成后先用第一筛网将二氧化锆球与混合粉体筛分后，混合粉体再过第二筛网；S2：装模预压：将过筛网后的混合粉体置于一模具中，再将模具放置于一热压炉中，进行预压，预压压力为20~40MPa，预压时间为10~30min；S3：热压：预压结束...
【技术特征摘要】
1.一种ZMO靶材的生产方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：球磨筛分：称取适量的MgO、ZnO粉体形成混合粉体，分别加入混料机中用二氧化锆球进行混料；其中MgO占混合粉体质量的0~20wt%，ZnO占混合粉体质量的80wt%~100wt%，二氧化锆球和混合粉体的球料质量比为1~3:1，混料机转速为50~150r/min；球磨时间8~24h；混料完成后先用第一筛网将二氧化锆球与混合粉体筛分后，混合粉体再过第二筛网；S2：装模预压：将过筛网后的混合粉体置于一模具中，再将模具放置于一热压炉中，进行预压，预压压力为20~40MPa，预压时间为10~30min；S3：热压：预压结束后，关闭炉门，开启真空系统，当真空度≤5Pa后，开启加热装置，目标温度为700~1000℃，升温速率为5~10℃/min，到达目标温度后，开始加压，压力大小为40~60Mpa，保温加压时间为0.5~2.5h；S4：脱模：保温保压结束后，关闭加热装置，待炉内温度低于100℃后，打开炉门，直到模具冷却至室温，进行脱模，取出ZM...
【专利技术属性】
技术研发人员：文崇斌，朱刘，陈肯，胡智向，曾成亮，余芳，谢小林，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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