废液处理装置及废液处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种废液处理装置及废液处理方法。该废液处理装置包括依次连通的储存槽、离子交换系统、芬顿反应系统、絮凝系统以及生化处理系统，存储罐中的废液依次通过离子交换系统、芬顿反应系统及絮凝系统，所述离子交换系统用于去除废液中的重金属离子，所述芬顿反应系统用于降解废液中的含氮杂化有机物，所述絮凝系统用于去除废液中的小分子有机物和无机盐，使到达生化处理系统的废液可生化性大大增强，从而所述生化处理系统能够对废液进行深度生化处理，进而完全降解废液，有效防止水污染。

Waste Liquid Processing Device and Waste Liquid Processing Method

The invention provides a waste liquid treatment device and a waste liquid treatment method. The waste liquid treatment device comprises a sequentially connected storage tank, an ion exchange system, a Fenton reaction system, a flocculation system and a biochemical treatment system. The waste liquid in the storage tank is sequentially passed through an ion exchange system, a Fenton reaction system and a flocculation system. The ion exchange system is used to remove heavy metal ions in the waste liquid, and the Fenton reaction system is used to degrade nitrogen-containing impurities in the waste liquid. The flocculation system is used to remove small molecular organic matter and inorganic salt from waste liquid, so that the biodegradability of waste liquid arriving at the biochemical treatment system is greatly enhanced, so that the biochemical treatment system can carry out deep biochemical treatment of waste liquid, and then completely degrade the waste liquid, effectively preventing water pollution.

【技术实现步骤摘要】
废液处理装置及废液处理方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种废液处理装置及废液处理方法。
技术介绍
薄膜晶体管(TFT)技术是采用新材料和新工艺的大规模半导体集成电路技术，它是在玻璃或塑料基板等非单晶片上，通过溅射、化学沉积等多步工艺构造极微细的各种膜，并通过刻蚀、剥离等对膜进行加工，制造集成电路。以往的液晶显示装置的金属配线或电极是用的多为铝或者铝合金，刻蚀液体系一般为无机酸的混合物。随着显示技术的发展，尤其是显示技术向着大型化及高分辨率化的发展中，传统的金属导线会随着配线的变长，电阻的增加，从而放大信号延迟等问题，造成显示效果的退化。所以，开始了向使用电阻更低的金属配线的研发，即铜制成的研发。由于金属特性的不同，相应的，也开发出新型的金属刻蚀液。铜酸蚀刻液目前多为双氧水体系配以一定的添加剂，已在实际生产中得到应用，是一种较为成熟的技术。现有技术中，铜酸刻蚀液主要包括双氧水(约18％)、有机酸、含氮杂化物质(如吡咯，氮杂茂唑，氮二烯五环)等高浓度有机物质，双氧水的主要作用是刻蚀铜膜，然而在刻蚀完铜导线或铜电极后，产生的铜酸刻蚀废液中依旧还有大量的双氧水、有机酸、及含氮杂化物质，且铜酸刻蚀废液中还包含大量的铜离子(Cu2+)，该铜酸刻蚀废液不能直接排放，一方面是因为会有重金属污染，另一方面因含有大量难以被自然环境中的生物降解的有机物。目前，对于铜酸刻蚀废液的降解和回收处理存在一定困难，难以对Cu2+进行有效回收，且大量难以降解的有机物导致废水化学需氧量(COD)含量偏高，可生化性差，进行生化处理也比较困难。因此，亟需一种解决上述问题的装置及方法。专利
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种废液处理装置，能够对废液进行深度生化处理，进而完全降解废液，有效防止水污染。本专利技术的目的还在于提供一种废液处理方法，能够对废液进行深度生化处理，进而完全降解废液，有效防止水污染。为实现上述目的，本专利技术提供了一种废液处理装置，包括：依次连通的储存槽、离子交换系统、芬顿反应系统、絮凝系统以及生化处理系统；所述储存槽，用于存储第一废液并将第一废液输送到离子交换系统，所述第一废液包括无机物、重金属离子及含氮杂化有机物；所述离子交换系统，用于对所述第一废液中的重金属离子进行降解和回收，并输出第二废液到芬顿反应系统，所述第二废液包括无机物及含氮杂化有机物；所述芬顿反应系统，用于与第二废液的无机物反应并对所述第二废液中的含氮杂化有机物进行降解，并输出第三废液到絮凝系统，所述第三废液包括小分子有机物和无机盐；所述絮凝系统，用于对所述第三废液中的小分子有机物和无机盐进行絮凝、沉淀及过滤，并输出第四废液到生化处理系统；所述生化处理系统，用于对所述第四废液进行生物降解处理絮凝系统。所述无机物为过氧化氢；所述重金属离子为铜离子；所述含氮杂化有机物为吡咯、氮杂茂唑及氮二烯五环中的一种或多种。所述离子交换系统包括阳离子交换柱，该阳离子交换柱用于与第一废液中的重金属离子进行交换得到含重金属离子的载体，对含重金属离子的载体进行修复重生以回收重金属离子。所述阳离子交换柱为阳离子树脂，该阳离子树脂含有磺酸基、羧基和苯酚基中的一种或多种。所述芬顿反应系统包括芬顿反应池、与所述芬顿反应池分别连接的紫外光生成器、第一pH调节器、铁盐投料器及曝气装置；所述紫外光生成器用于形成紫外光对芬顿反应池内的第二废液进行照射；所述第一pH调节器用于调节所述芬顿反应池内的第二废液的pH值；所述铁盐投料器用于向芬顿反应池内的第二废液投放二价铁离子；所述曝气装置用于向芬顿反应池内的第二废液进行曝气。所述芬顿反应系统还包括与所述芬顿反应池连接的第一搅拌和加热装置；所述第一搅拌和加热装置用于控制芬顿反应池内的第二废液的温度，并在曝气条件下对第二废液进行搅拌。所述絮凝系统包括絮凝池、与所述絮凝池分别连接的第二ph调节器、絮凝剂投料机及过滤装置；所述第二pH调节器用于调节絮凝池内的第三废液的pH值；所述絮凝剂投料机用于向絮凝池内的第三废液投放絮凝剂；所述过滤装置用于对絮凝池的出水进行过滤。所述絮凝系统还包括与所述絮凝池连接的第二搅拌和加热装置；所述第二搅拌和加热装置用于控制絮凝池内的第三废液的温度，并对第三废液进行搅拌。所述过滤装置为板框过滤器，该板框过滤器对絮凝池的出水进行过滤得到第四废液和滤饼，该滤饼为铁的氢氧化物。本专利技术还提供一种废液处理方法，应用于上述的废液处理装置，包括以下步骤：步骤S1、将第一废液输送到离子交换系统，所述离子交换系统对所述第一废液中的重金属离子进行降解和回收，并输出第二废液到芬顿反应系统；步骤S2、所述芬顿反应系统向所述第二废液投入二价铁离子，并将所述第二废液的pH值调节为2-4，所述二价铁离子与过氧化氢在曝气和紫外光照射的条件下发生芬顿反应以降解所述第二废液中的含氮杂化有机物，并输出第三废液到絮凝系统；步骤S3、所述絮凝系统调节所述第三废液的pH值为2-4，将第三废液中的无机盐反应生成铁的氢氧化物胶体，对第三废液中进行搅拌后絮凝沉淀小分子有机物和铁的氢氧化物胶体，调节所述第三废液的pH值为8-12，并向第三废液投放絮凝剂，对絮凝池的出水进行过滤得到第四废液和滤饼，将第四废液输送到生化处理系统；步骤S4、所述生化处理系统对所述第四废液进行生物降解处理。本专利技术的有益效果：本专利技术的废液处理装置，包括依次连通的储存槽、离子交换系统、芬顿反应系统、絮凝系统以及生化处理系统，存储罐中的废液依次通过离子交换系统、芬顿反应系统及絮凝系统，所述离子交换系统用于去除废液中的重金属离子，所述芬顿反应系统用于降解废液中的含氮杂化有机物，所述絮凝系统用于去除废液中的小分子有机物和无机盐，使到达生化处理系统的废液可生化性大大增强，从而所述生化处理系统能够对废液进行深度生化处理，进而完全降解废液，有效防止水污染。本专利技术的废液处理方法，能够对废液进行深度生化处理，进而完全降解废液，有效防止水污染。附图说明为了能更进一步了解本专利技术的特征以及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。附图中，图1为本专利技术的废液处理装置的示意图；图2为本专利技术的废液处理方法的流程图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术所采取的技术手段及其效果，以下结合本专利技术的优选实施例及其附图进行详细描述。请参阅图1，本专利技术提供一种废液处理装置，包括：依次连通的储存槽10、离子交换系统20、芬顿反应系统30、絮凝系统40以及生化处理系统50；所述储存槽10，用于存储第一废液并将第一废液输送到离子交换系统20，所述第一废液包括无机物、重金属离子及含氮杂化有机物；所述离子交换系统20，用于对所述第一废液中的重金属离子进行降解和回收，并输出第二废液到芬顿反应系统30，所述第二废液包括无机物及含氮杂化有机物；所述芬顿反应系统30，用于与第二废液的无机物反应并对所述第二废液中的含氮杂化有机物进行降解，并输出第三废液到絮凝系统40，所述第三废液包括小分子有机物和无机盐；所述絮凝系统40，用于对所述第三废液中的小分子有机物和无机盐进行絮凝、沉淀及过滤，并输出第四废液到生化处理系统50；所述生化处理系统50，用于对所述第四废液进行生物降解处理。需要说明的是，本专利技术的废液依次通过离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废液处理装置，其特征在于，包括：依次连通的储存槽(10)、离子交换系统(20)、芬顿反应系统(30)、絮凝系统(40)以及生化处理系统(50)；所述储存槽(10)，用于存储第一废液并将第一废液输送到离子交换系统(20)，所述第一废液包括无机物、重金属离子及含氮杂化有机物；所述离子交换系统(20)，用于对所述第一废液中的重金属离子进行降解和回收，并输出第二废液到芬顿反应系统(30)，所述第二废液包括无机物及含氮杂化有机物；所述芬顿反应系统(30)，用于与第二废液的无机物反应并对所述第二废液中的含氮杂化有机物进行降解，并输出第三废液到絮凝系统(40)，所述第三废液包括小分子有机物和无机盐；所述絮凝系统(40)，用于对所述第三废液中的小分子有机物和无机盐进行絮凝、沉淀及过滤，并输出第四废液到生化处理系统(50)；所述生化处理系统(50)，用于对所述第四废液进行生物降解处理。

【技术特征摘要】
1.一种废液处理装置，其特征在于，包括：依次连通的储存槽(10)、离子交换系统(20)、芬顿反应系统(30)、絮凝系统(40)以及生化处理系统(50)；所述储存槽(10)，用于存储第一废液并将第一废液输送到离子交换系统(20)，所述第一废液包括无机物、重金属离子及含氮杂化有机物；所述离子交换系统(20)，用于对所述第一废液中的重金属离子进行降解和回收，并输出第二废液到芬顿反应系统(30)，所述第二废液包括无机物及含氮杂化有机物；所述芬顿反应系统(30)，用于与第二废液的无机物反应并对所述第二废液中的含氮杂化有机物进行降解，并输出第三废液到絮凝系统(40)，所述第三废液包括小分子有机物和无机盐；所述絮凝系统(40)，用于对所述第三废液中的小分子有机物和无机盐进行絮凝、沉淀及过滤，并输出第四废液到生化处理系统(50)；所述生化处理系统(50)，用于对所述第四废液进行生物降解处理。2.如权利要求1所述的废液处理装置，其特征在于，所述无机物为过氧化氢；所述重金属离子为铜离子；所述含氮杂化有机物为吡咯、氮杂茂唑及氮二烯五环中的一种或多种。3.如权利要求1所述的废液处理装置，其特征在于，所述离子交换系统(20)包括阳离子交换柱，该阳离子交换柱用于与第一废液中的重金属离子进行交换得到含重金属离子的载体，对含重金属离子的载体进行修复重生以回收重金属离子。4.如权利要求3所述的废液处理装置，其特征在于，所述阳离子交换柱为阳离子树脂，该阳离子树脂含有磺酸基、羧基和苯酚基中的一种或多种。5.如权利要求1所述的废液处理装置，其特征在于，所述芬顿反应系统(30)包括芬顿反应池(31)、与所述芬顿反应池(31)分别连接的紫外光生成器(32)、第一pH调节器(33)、铁盐投料器(34)及曝气装置(35)；所述紫外光生成器(32)用于形成紫外光对芬顿反应池(31)内的第二废液进行照射；所述第一pH调节器(33)用于调节所述芬顿反应(31)池内的第二废液的pH值；所述铁盐投料器(34)用于向芬顿反应池(31)内的第二废液投放二价铁离子；所述曝气装置(35)用于向芬顿反应池(31)内的第二废液进行曝气。6.如权利要求5所述的废液处理装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：章仟益，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44