The invention relates to an anchor-shaped micro-EDM metal electrode structure and a manufacturing method thereof. The cross-section of the anchor-shaped micro-EDM metal electrode structure is anchor-shaped, that is, the processing surface is a larger plane, the side wall shrinks inward to form an arc, and the two sides of the processing surface and the side wall form a convex anchor claw structure. The structure adopts plasma etching technology. By adjusting the parameters, the electrode structure of tungsten, tungsten carbide and titanium can be processed by plasma etching materials with low loss rate. Because the electrode structure of the invention has a large distance between the side wall and the workpiece, it is extremely difficult to produce voltage breakdown, thus causing the phenomenon of EDM erosion, greatly reducing the side wall discharge gap, thereby greatly increasing the machining accuracy of micro-EDM.
【技术实现步骤摘要】
一种锚形微细电火花金属电极结构及其制造方法
本专利技术涉及微细电火花加工
，更具体的涉及一种锚形微细电火花金属电极结构及其制造方法。
技术介绍
微细电火花技术利用工件和工具电极之间的脉冲性火花放电，产生瞬间高温使工件材料局部熔化和汽化，从而达到蚀除加工的目的。由于加工具有非接触，几乎无切削力，不受材料的强度和硬度限制等特点，微细电火花加工技术特别适合高精度、无变形的微小零件特征加工以及硬脆难加工导电材料的微细加工。因此，微细电火花加工技术已经成为微细制造领域的一个重要方向，并越来越广泛的应用于航空航天、电子信息、模具以及光学和医疗器械中关键零件的加工。传统微细电火花电极截面均为矩形结构，此种电极结构由于侧壁为与加工面成垂直角度，其会与工件已加工位置的侧壁由于距离过小产生电压击穿从而产生蚀除加工。而随着加工深度的增加，加工产生的废削会通过侧壁位置排出，由于废削的存在，必然产生二次放电，继续对侧壁进行蚀除加工。以上现象的存在将大大增加工件与电极之间的尺寸差距，即侧壁放电间隙大小决定着微细电火花的精度。电火花加工为高温蚀除加工，蚀除废削将会以新的微细颗粒状的形式存...
【技术保护点】
1.一种锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，电极的形状为锚形，其侧壁具有内凹的表面。
【技术特征摘要】
1.一种锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，电极的形状为锚形，其侧壁具有内凹的表面。2.如权利要求1所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，所述侧壁的内凹的表面为弧形表面或非弧形表面，所述电极的加工面为平面。3.如权利要求1所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，所述侧壁的表面全部是内凹的，或者局部是内凹的。4.如权利要求1所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，所述电极的材料为电极损耗率低且能够进行等离子深刻蚀的材料。5.如权利要求4所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，所述电极的材料为钨、碳化钨或钛。6.如权利要求1所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，其是单电极结构或者多电极阵列结构。7.一种制备权利要求1所述锚形微细电火花金属电极结构的方法，其步骤包括：1)在金属基片表面制作掩膜，并完成光刻图形化的转移；2)采用等离子体深刻蚀方法进行锚形...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴烨娴，夏雁鸣，马盛林，陈兢，
申请(专利权)人：苏州含光微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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