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本发明涉及一种锚形微细电火花金属电极结构及其制造方法。该锚形微细电火花金属电极结构的截面为锚形，即加工面为较大平面，侧壁向内收缩形成弧形，加工面两侧与侧壁形成凸起的锚爪结构。该结构采用等离子深刻蚀技术，通过调节参数，对钨、碳化钨及钛等电极损...
该专利属于苏州含光微纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州含光微纳科技有限公司授权不得商用。

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