一种环保型有机干膜剥离液制造技术

本发明专利技术公开了一种环保型有机干膜剥离液，包括以下体积份的原料：有机碱5‑30份、有机溶剂5‑20份、抑制剂5‑15份、缓蚀剂0.1‑5份和去离子水30‑85份。本发明专利技术在处理细线路的线路板：1.干膜脱落完全，无残留“夹膜”现象；2.本发明专利技术不会进攻镀锡层；3.干膜碎裂成细小的膜片，不会对管道造成堵塞；4.毒性低，废水相对容易处理。

An environmentally friendly organic dry film stripper

The invention discloses an environmentally friendly organic dry film stripping solution, which comprises the following volume fractions of raw materials: organic alkali 5 30, organic solvent 5 20, inhibitor 5 15, corrosion inhibitor 0.1 5 and deionized water 30 85. The invention deals with the circuit boards of fine lines: 1. The dry film falls off completely without residual \clamping film\; 2. The invention will not attack the tin plating layer; 3. The dry film breaks into fine diaphragms, which will not cause blockage to the pipeline; 4. The toxicity is low, and the wastewater is relatively easy to treat.

【技术实现步骤摘要】
一种环保型有机干膜剥离液
本专利技术涉及晶圆生产领域，具体是一种环保型有机干膜剥离液。
技术介绍
1.在线路板的制造过程中，通过在材料的表面覆盖一层干膜，可以对材料进行有效保护，或者在材料的表面形成感光膜的掩膜，曝光后进行图形转移。在图形转移时，干膜是重要的“成像”技术之一。在进入下一道工序之前，需要将材料表面剩余的感光膜或干膜剥离去除（退膜）。在这个过程中，要求将残留的感光膜或干膜全部去除，并且不能腐蚀任何基材。2.传统的干膜剥离液主要采用极性有机溶剂、强碱等进行组合配制。但是，随着电子产品的多功能化、小型化、轻量化的发展，细线路的设计将成为电路板生产的必然趋势。在线路的精细化的同时，为了满足相应的电气要求，铜层厚度变厚也是必然。另外，在图形电镀工艺中，由于图形分布不均匀，板件部分区域在电镀后，会出现铜镀层的厚度接近或超出干膜厚度的情况，使得干膜被铜镀层夹住（“夹膜”）。“夹膜”与脱膜液的接触面积较小，脱膜液很难浸润“夹膜”，从而导致退膜不干净，蚀刻后的线路则容易出现短路等异常。所以，利用传统的氢氧化钠和氢氧化钾等无机碱溶液已经无法满足精细线路加工的要求。3.线路板生产过程中，大多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种环保型有机干膜剥离液，其特征在于，包括以下体积份的原料：有机碱5‑30份、有机溶剂5‑20份、抑制剂5‑15份、缓蚀剂0.1‑5份和去离子水30‑85份。

【技术特征摘要】
1.一种环保型有机干膜剥离液，其特征在于，包括以下体积份的原料：有机碱5-30份、有机溶剂5-20份、抑制剂5-15份、缓蚀剂0.1-5份和去离子水30-85份。2.根据权利要求1所述的环保型有机干膜剥离液，其特征在于，所述剥离液包括以下体积份的原料：有机碱10-20份、有机溶剂10-15份、抑制剂8-12份、缓蚀剂2-3份和去离子水50-70份。3.根据权利要求1所述的环保型有机干膜剥离液，其特征在于，所述剥离液包括以下体积份的原料：有机碱30份、有机溶剂10份、抑制剂5份、缓蚀剂1份和去离子水54份。4.根据权利要求1-3任一所述的环保型有机干膜剥离液，其特征在于，所述有机碱为乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一正丁胺、二正丁胺、三正丁胺、仲丁胺、叔丁胺、四甲基氢...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘立志，
申请(专利权)人：珠海特普力高精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44