一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器制造技术

本发明专利技术属于光电检测技术领域，提出了一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器。该传感光纤为实心的光子晶体光纤，光子晶体光纤的介质孔以纤芯为中心呈正六边形多层排布，由纤芯向外的第二层六边形介质孔层的相对边中心位置的两个介质孔内壁分别镀有金属薄膜，所述金属薄膜采用能产生表面等离子体共振的金属材料；所述镀有金属薄膜的一个介质孔及同层相邻的两个介质孔中填充介质A，所述介质A的折射率与温度间为负相关关系；介质A未填充的所有介质孔中填充介质B，所述介质B的折射率不受温度影响。解决了温度传感中应变对测量结果准确性的影响问题。该温度传感器耐腐蚀，不易受电磁干扰，可以应用在苛刻的检测环境。

An Optical Fiber Temperature Sensor Based on Surface Plasmon Resonance and Strain Compensation

The invention belongs to the field of photoelectric detection technology, and proposes an optical fiber temperature sensor based on surface plasmon resonance and strain compensation. The sensing fiber is a solid photonic crystal fiber. The dielectric holes of the photonic crystal fiber are arranged in regular hexagonal multi-layers centered on the core. The inner walls of the two dielectric holes at the relative center of the second layer of hexagonal dielectric holes outward from the core are coated with metal films respectively. The metal films are coated with metal materials capable of generating surface plasmon resonance. A medium hole and two adjacent medium holes in the same layer are filled with medium A. The refractive index of medium A is negatively correlated with temperature. All medium holes in medium A are filled with medium B, and the refractive index of medium B is not affected by temperature. The influence of strain on the accuracy of measurement results in temperature sensing is solved. The temperature sensor is corrosion-resistant and not susceptible to electromagnetic interference. It can be used in harsh detection environment.

【技术实现步骤摘要】
一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器
本专利技术属于光电检测
，涉及一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器。
技术介绍
在石油化工、钢铁、核电等工业领域的诸多生产环节中，对温度量值的准确测量不仅关系生产质量，更关系到生产的安全。由于在防爆要求较高、电磁干扰较强和强腐蚀环境中电子式温度传感设备无法使用，而光纤设备具有本征安全、抗电磁干扰、抗强腐蚀的特点，因此光纤温度传感技术成为温度传感的重要方向之一。目前光纤温度传感方法主要利用光纤光栅、光纤谐振腔作为传感器测量被测环境的温度。但是由于光纤光栅和光纤谐振腔对应力也敏感，因此在测量温度的同时，测量结果会受到应力的影响。此外，光纤光栅和光纤谐振腔的温度灵敏度不够高，例如，光纤光栅的温度灵敏度为0.01nm/℃，而目前通用的光谱仪的光波长分辨力只有0.02nm，因此无法实现高精度的温度测量。表面等离子体共振现象是一种非线性光学现象，当满足一定条件的光透过光介质照射到金属表面时，会将光能传递给电子，形成等离子体，这一现象为表面等离子体共振，产生表面等离子体共振最强烈时所对应的光波长即为表面等离子体共振波长。由于表面等离子体共振波长对光介质折射率有较高的灵敏度，同时利用光子晶体光纤的结构特点，光纤表面等离子体技术广泛应用于高灵敏度介质折射率测量，进一步，利用介质的折射率与介质温度间的关系实现温度测量。由于光子晶体光纤和金属的几何尺寸和结构同样会影响共振波长，因此当光纤传感器收到应力影响产生应变时，会使温度的测量结果产生偏差。但是目前的基于表面等离子体共振技术的光纤传感器无法消除应变对测量结果的影响。
技术实现思路
为了克服现有光纤温度传感器的不足，本专利技术提出了一种基于表面等离子体共振技术且能实现应变补偿的光纤温度传感器。传感器两个产生表面等离子共振的介质孔中一个填充折射率不随温度变化的介质材料，一个填充折射率随温度变化的介质材料，由于填充介质的不同，产生的两个表面等离子体共振现象的共振波长位置、共振波长随温度和应变移动的特点均不相同。通过测量两个共振波长的移动量解算出应变，并进而计算出应变补偿后的温度值。具体技术方案为：一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器，主要结构为传感光纤，该传感光纤为实心的光子晶体光纤，光子晶体光纤的介质孔以纤芯为中心呈正六边形多层排布，介质孔排布层数至少两层，介质孔的直径与任意两个相邻的介质孔间距离的比值是3：5，由纤芯向外的第二层六边形介质孔层的相对边中心位置的两个介质孔内壁分别镀有金属薄膜，所述金属薄膜采用能产生表面等离子体共振的金属材料；所述镀有金属薄膜的一个介质孔及同层相邻的两个介质孔中填充介质A，所述介质A的折射率与温度间为负相关关系，即介质A的折射率随温度的升高而降低；介质A未填充的所有介质孔中填充介质B，所述介质B的折射率不受温度影响，即填充介质B的折射率不随温度发生变化。进一步地，上述介质孔间距离为2μm。进一步地，上述传感光纤外包裹保护套管。进一步地，上述保护套管材料为石英或有机玻璃。进一步地，上述金属薄膜厚度为20nm～60nm。进一步地，上述金属薄膜的金属材料为金或银。进一步地，上述介质A为二甘醇。进一步地，上述介质B为空气。上述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器的测量原理是：由于介质A的折射率随温度发生变化，而介质B的折射率不随温度发生变化，为表述方便，令填充介质A的介质孔内镀的金属薄膜为金属薄膜A,未填充介质A的介质孔内镀的金属薄膜为金属薄膜B，因此，当环境温度发生变化时，金属薄膜A的表面等离子体共振波长由于填充介质A折射率变化而产生移动，而金属薄膜B的表面等离子体共振波长不发生变化；当传感器产生应变时，金属薄膜A和金属薄膜B的表面等离子共振波长分别以不同速率随应变产生移动，因此，通过观测金属薄膜B的表面等离子体共振波长移动量可测得应变值，结合观测到的金属薄膜A的表面等离子体共振波长移动总量，可以分别计算出金属薄膜A的表面等离子体共振波长受应变影响产生的移动量和受温度变化影响产生的移动量，进而求出温度值。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提出的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器，解决了温度传感中应变对测量结果准确性的影响问题。该温度传感器耐腐蚀，不易受电磁干扰，可以应用在苛刻的检测环境。附图说明图1为本专利技术提供的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器结构示意图；图2为本专利技术提供的传感光纤结构示意图。图3为本专利技术提供的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器在不同温度下的光谱图；图4为本专利技术提供的金属薄膜A的表面等离子共振波长随温度变化曲线图；图5为本专利技术提供的金属薄膜A和金属薄膜B的表面等离子共振波长随应变变化曲线图。图中：11保护套管；12传感光纤；131介质孔A；132介质孔B；133介质孔C；134介质孔D；141金属薄膜A；142金属薄膜B；15光子晶体光纤。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术的具体结构、原理以及工作过程作进一步的详细说明。如图1所示为本专利技术提出的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器结构图。所述的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器由保护套管11和传感光纤12组成。保护套管11外径为1mm，采用石英材质，用于保护传感光纤不受被测环境影响产生折断等损坏。如图2所示为传感光纤12的结构图。传感光纤12由光子晶体光纤15、金属薄膜A141、金属薄膜B142、填充介质A和填充介质B组成，在光子晶体光纤15的介质孔B132内表面镀有金属薄膜A141，介质孔D134的内表面镀有金属薄膜B142，金属薄膜A141和金属薄膜B142是可以产生表面等离子体共振现象的金属，选用金，厚度通常为40nm。介质孔A131、介质孔B132、介质孔C133中为介质A，其余所有介质孔中为介质B，其中，介质A的折射率随温度产生变化，介质B的折射率随温度不产生变化，在本专利技术的可行性验证中，介质A为二甘醇，介质B为空气。本专利技术提出的基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器的工作原理是：当环境温度发生变化时，介质A的折射率同时发生变化，介质B的折射率不发生变化，由于共振波长与填充介质折射率有关，因此，金属薄膜A141的表面等离子体共振波长发生变化，金属薄膜B142的表面等离子体共振波长不发生变化，如图3所示，其中，金属薄膜A141的表面等离子体共振波长随温度呈现线性变化趋势，斜率为6.8nm/℃，如图4所示；当光纤收到外界力的作用时，光纤横截面由圆形变成椭圆形，受几何形状变化的影响，金属薄膜A141和金属薄膜B142的表面等离子体共振波长均发生变化，如图5所示，金属薄膜A141和金属薄膜B142的表面等离子体共振波长随应变呈现不同斜率的线性变化，斜率分别为1318nm/ε和190nm/ε。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器，其特征在于，主要结构为传感光纤，该传感光纤为实心的光子晶体光纤，光子晶体光纤的介质孔以纤芯为中心呈正六边形多层排布，介质孔排布层数至少两层，介质孔的直径与任意两个相邻的介质孔间距离的比值是3：5，由纤芯向外的第二层六边形介质孔层的相对边中心位置的两个介质孔内壁分别镀有金属薄膜，所述金属薄膜采用能产生表面等离子体共振的金属材料；所述镀有金属薄膜的一个介质孔及同层相邻的两个介质孔中填充介质A，所述介质A的折射率与温度间为负相关关系；介质A未填充的所有介质孔中填充介质B，所述介质B的折射率不受温度影响。

【技术特征摘要】
1.一种基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器，其特征在于，主要结构为传感光纤，该传感光纤为实心的光子晶体光纤，光子晶体光纤的介质孔以纤芯为中心呈正六边形多层排布，介质孔排布层数至少两层，介质孔的直径与任意两个相邻的介质孔间距离的比值是3：5，由纤芯向外的第二层六边形介质孔层的相对边中心位置的两个介质孔内壁分别镀有金属薄膜，所述金属薄膜采用能产生表面等离子体共振的金属材料；所述镀有金属薄膜的一个介质孔及同层相邻的两个介质孔中填充介质A，所述介质A的折射率与温度间为负相关关系；介质A未填充的所有介质孔中填充介质B，所述介质B的折射率不受温度影响。2.根据权利要求1所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器，其特征在于，所述介质孔间距离为2μm。3.根据权利要求1所述基于表面等离子体共振及应变补偿的光纤温度传感器，其特征在于，传感光纤外包裹保护套管。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩博，陆科，
申请(专利权)人：辽宁省计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：辽宁,21