The invention relates to the technical field of semiconductor manufacturing equipment, and discloses a diffuser tube and a diffuser. The diffuser tube comprises a furnace tube body, a process chamber in which silicon wafers are formed for diffusive reaction, a silicon wafer flow area for wafers passing through the process chamber, and at least a part of the gas conveying parts in the process chamber for conveying diffusive gas to the furnace tube body. The part of the gas conveying part located in the process chamber comprises a preheating section and an exhaust section. The exhaust section is provided with at least one exhaust hole group, and each exhaust hole group includes at least one exhaust hole group. The diffusion furnace tube can be used to alleviate or eliminate the air flow disorder at the inlet of the furnace tube.
【技术实现步骤摘要】
扩散炉管及扩散炉
本专利技术涉及半导体制造设备
,特别涉及扩散炉管及扩散炉。
技术介绍
扩散炉管是半导体器件及大规模集成电路制造过程中对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。现有的扩散炉管中,外界的扩散气体进入炉管后,受热膨胀,流速增加,炉管的进气口处会出现一段气流紊乱现象,影响炉管工艺腔室内的对硅片进行扩散的质量和效率,影响产能。
技术实现思路
本专利技术公开了一种扩散炉管,用于缓解或消除炉管进气口处的气流紊乱现象。为达到上述目的,本专利技术提供以下技术方案:一种扩散炉管包括:炉管本体,内部形成硅片进行扩散反应的工艺腔室,所述工艺腔内设有用于供硅片经过的硅片流通区;至少一部分位于所述工艺腔室内的气体输送部件,用于将扩散气体输送至所述炉管本体内;所述气体输送部件位于所述工艺腔室内的部分包括预热段和排气段,所述排气段上设有至少一个排气孔组,每一个所述排气孔组包括至少一个排气孔。在上述的扩散炉管中,扩散气体通过气体输送部件输送至炉管本体内的过程中,先经过预热段,工艺腔室内的气体温度高于预热段内扩散气体的温度,预热段内的扩散气体被工艺腔室内的气体加热至合适温度,扩散气体继续流动至排气段,并经排气孔组流至工艺腔室内,以对工艺腔室内的硅片进行扩散,由于扩散气体在预热段已经被加热,扩散气体的温度与工艺腔室内的温度差值缩小,有效缓解甚至消除炉管进气口处的气流紊乱现象,保证产品质量和生产效率。优选地,所述气体输送部件包括导气管组件,导气管组件包括至少一个导气管;所述导气管设置于所述炉管本体的内侧壁、且沿所述炉管本体的轴向延伸;所述导气管的排气段内设有 ...
【技术保护点】
1.一种扩散炉管,其特征在于,包括:炉管本体,内部形成硅片进行扩散反应的工艺腔室,所述工艺腔内设有用于供硅片经过的硅片流通区;至少一部分位于所述工艺腔室内的气体输送部件,用于将扩散气体输送至所述炉管本体内;所述气体输送部件位于所述工艺腔室内的部分包括预热段和排气段,所述排气段上设有至少一个排气孔组,每一个所述排气孔组包括至少一个排气孔。
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉管,其特征在于,包括:炉管本体,内部形成硅片进行扩散反应的工艺腔室,所述工艺腔内设有用于供硅片经过的硅片流通区;至少一部分位于所述工艺腔室内的气体输送部件,用于将扩散气体输送至所述炉管本体内;所述气体输送部件位于所述工艺腔室内的部分包括预热段和排气段,所述排气段上设有至少一个排气孔组,每一个所述排气孔组包括至少一个排气孔。2.根据权利要求1所述的扩散炉管,其特征在于,所述气体输送部件包括导气管组件,导气管组件包括至少一个导气管;所述导气管设置于所述炉管本体的内侧壁、且沿所述炉管本体的轴向延伸;所述导气管的排气段内设有多个沿所述导气管的长度方向分布的多个排气孔组。3.根据权利要求2所述的扩散炉管,其特征在于,所述导气管组件包括多个所述导气管,其中,一部分导气管设置于所述工艺腔室的顶部,另一部分导气管设置于所述工艺腔室的底部。4.根据权利要求2所述的扩散炉管,其特征在于,每个所述排...
【专利技术属性】
技术研发人员:王诗涛,
申请(专利权)人:珠海格力电器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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