一种高温扩散炉体制造技术

本发明专利技术公开了一种高温扩散炉体，炉体包括炉管和保温层，炉管安装在保温层内，炉管端部设置炉盖，炉管尾部设有进气口和排气口，进气口处安装进气法兰，进气法兰上安装进气管，排气口安装排气法兰，排气法兰上安装排气管，炉管内部安装由匀气组件，本发明专利技术结构设计新颖，保温效果好，而且炉管内部能够实现均匀进气和排气，提高了扩散效果，进一步提高了硅片的扩散质量。

【技术实现步骤摘要】
一种高温扩散炉体
本专利技术涉及扩散炉
，具体为一种高温扩散炉体。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。现有的扩散炉体能够实现对硅片的高温扩散，但是其通入气体的均匀性差，容易导致扩散不均匀影响硅片质量，此外，炉管的保温效果差，同样影响扩散质量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高温扩散炉体，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高温扩散炉体，炉体包括炉管和保温层，所述炉管安装在保温层内，所述炉管端部设置炉盖，所述炉管尾部设有进气口和排气口，所述进气口处安装进气法兰，所述进气法兰上安装进气管，所述排气口安装排气法兰，所述排气法兰上安装排气管，所述炉管内部安装由匀气组件。优选的，所述匀气组件包括耐高温框架，在所述耐高温框架一端设有进气部，所述耐高温框架内设有第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层，且所述第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层与耐高温框架垂直交错布置，在所述耐高温框架的另一端设有微孔材料层，所述微孔材料层包括基材层、粘合层、聚四氟乙烯微孔膜层，所述基材层通过粘合层连接聚四氟乙烯微孔膜层，所述聚四氟乙烯微孔膜层的微孔孔径为2微米-10微米。优选的，所述保温层内填充耐高温保温材料，所述耐高温保温材料组分按重量份数包括陶瓷纤维10-20份、超高分子量聚乙烯5-15份、偏硅酸铝镁4-10份、硅酸镁3-9份、生石膏6-10份、膨润土6-12份、二氧化硅粉4-10份、包膜膨胀珍珠岩8-20份。优选的，所述进气管上安装有第一流量调节阀；所述排气管上安装第二流量调节阀。优选的，所述炉盖内侧固定安装硅胶密封圈。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：（1）本专利技术结构设计新颖，保温效果好，而且炉管内部能够实现均匀进气和排气，提高了扩散效果，进一步提高了硅片的扩散质量。（2）本专利技术采用的匀气组件包括多个匀气层和微孔材料层，多个匀气层交错设置，能够保证气体流通的均匀性，采用的微孔材料层能够进一步对气体进行均匀布气，保证了进入炉管内气体的均匀性，提高硅片扩散的均匀性。（3）本专利技术采用的保温层具有优异的耐火保温效果，进一步提高了炉管内扩散温度的稳定性。附图说明图1为本专利技术结构示意图；图2为本专利技术匀气组件结构示意图；图3为本专利技术微孔材料层剖视图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-3，本专利技术提供一种技术方案：一种高温扩散炉体，炉体包括炉管1和保温层2，所述炉管1安装在保温层2内，所述炉管1端部设置炉盖3，炉盖3内侧固定安装硅胶密封圈20，能够防止出现气体泄露情况；所述炉管3尾部设有进气口和排气口，所述进气口处安装进气法兰4，所述进气法兰4上安装进气管5，所述排气口安装排气法兰6，所述排气法兰6上安装排气管7，所述炉管1内部安装由匀气组件8。进气管5上安装有第一流量调节阀18；所述排气管7上安装第二流量调节阀19。本专利技术中，匀气组件8包括耐高温框架9，在所述耐高温框架9一端设有进气部10，所述耐高温框架9内设有第一匀气层11、第二匀气层12、第三匀气层13，且所述第一匀气层11、第二匀气层12、第三匀气层13与耐高温框架9垂直交错布置，在所述耐高温框架9的另一端设有微孔材料层14，所述微孔材料层14包括基材层15、粘合层16、聚四氟乙烯微孔膜层17，所述基材层15通过粘合层16连接聚四氟乙烯微孔膜层17，所述聚四氟乙烯微孔膜层17的微孔孔径为2微米-10微米。本专利技术采用的匀气组件包括多个匀气层和微孔材料层，多个匀气层交错设置，能够保证气体流通的均匀性，采用的微孔材料层能够进一步对气体进行均匀布气，保证了进入炉管内气体的均匀性，提高硅片扩散的均匀性。本专利技术中，保温层2内填充耐高温保温材料，所述耐高温保温材料组分按重量份数包括陶瓷纤维10-20份、超高分子量聚乙烯5-15份、偏硅酸铝镁4-10份、硅酸镁3-9份、生石膏6-10份、膨润土6-12份、二氧化硅粉4-10份、包膜膨胀珍珠岩8-20份。本专利技术采用的保温层具有优异的耐火保温效果，进一步提高了炉管内扩散温度的稳定性。综上所述，本专利技术结构设计新颖，保温效果好，而且炉管内部能够实现均匀进气和排气，提高了扩散效果，进一步提高了硅片的扩散质量。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温扩散炉体，炉体包括炉管（1）和保温层（2），其特征在于：所述炉管（1）安装在保温层（2）内，所述炉管（1）端部设置炉盖（3），所述炉管（3）尾部设有进气口和排气口，所述进气口处安装进气法兰（4），所述进气法兰（4）上安装进气管（5），所述排气口安装排气法兰（6），所述排气法兰（6）上安装排气管（7），所述炉管（1）内部安装由匀气组件（8）。

【技术特征摘要】
1.一种高温扩散炉体，炉体包括炉管（1）和保温层（2），其特征在于：所述炉管（1）安装在保温层（2）内，所述炉管（1）端部设置炉盖（3），所述炉管（3）尾部设有进气口和排气口，所述进气口处安装进气法兰（4），所述进气法兰（4）上安装进气管（5），所述排气口安装排气法兰（6），所述排气法兰（6）上安装排气管（7），所述炉管（1）内部安装由匀气组件（8）。2.根据权利要求1所述的一种高温扩散炉体，其特征在于：所述匀气组件（8）包括耐高温框架（9），在所述耐高温框架（9）一端设有进气部（10），所述耐高温框架（9）内设有第一匀气层（11）、第二匀气层（12）、第三匀气层（13），且所述第一匀气层（11）、第二匀气层（12）、第三匀气层（13）与耐高温框架（9）垂直交错布置，在所述耐高温框架（9）的另一端设有微孔材料层（14），所述微孔材料层（...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛慧敏，胡新军，梁晶晶，
申请(专利权)人：胡新军，
类型：发明
国别省市：安徽,34