The present invention relates to an OLED evaporation device with high stability for OLED substrate feeding device, which includes an evaporation working device and an OLED substrate feeding device which are respectively arranged in front and back of the horizontal direction. The OLED substrate feeding device has a hollow motor outer seat fixed with a separator ring, and a hollow rotating cup is arranged in the center of the hollow motor outer seat, and the front end of the hollow rotating cup rotates with the inner ring of the separator ring. A rotating end cover is arranged in the center of the hollow rotating cup, and an OLED base plate fixing device is arranged at the front end of the rotating end cover. The present invention changes the original design of the basic flat arrangement to a circular cylindrical arrangement, so that more OLED substrates can be accommodated in a single vacuum chamber. At the same time, the rotation of the OLED substrates produces a centrifugal effect, which makes the force of molecule impact on the substrates of the evaporated materials in the vacuum chamber remarkably enhanced, and improves the coating while increasing the production efficiency. Uniform degree, good overall structure airtight, reduce pollution leakage.
【技术实现步骤摘要】
一种具有高稳定性OLED基板送入装置的OLED蒸镀设备
本专利技术涉及OLED制造的
,尤其是一种具有高稳定性OLED基板送入装置的OLED蒸镀设备。
技术介绍
在公知的
,前板段制程是整个OLED工艺中的最重要的环节,具体流程为:对TFT基板进行不同方式的清洗、干燥之后,送入氮气环境中进行降温,并反转基板,使膜面朝下。对于处理后的基板,送入真空室内进行各功能层、发光层的蒸镀。蒸镀之后对AMOLED进行功能性和外观性的检测以及偏光片的贴附,最后进入模组段制程。在OLED的蒸镀环节中需要用到专用的蒸镀设备,所谓蒸镀,就是真空中通过电流加热,电子束轰击加热或激光加热等加热方法,使被蒸材料蒸发成原子或分子,它们随即以较大的自由程作自由运动,碰撞基片表面而凝结,进而形成薄膜。蒸镀工艺虽然原理并不复杂,但是在实际的量产中存在很多难题需要解决,现有的核心设备蒸镀机主要技术均掌握在日本少数几家公司手中,产能极为有限,主要有如下几个方面的难题:一、蒸镀源的更换问题:在蒸镀材料消耗殆尽后,需要在从真空腔室中取出进行添加或更换,如何减少更换的频率、有效保证跟换前后真空腔室的空压处理,对提高生产效率、降低停机检修率是极为关键的,同时还容易产生污染的问题,现有的设备一般将真空腔室设计成直接开启、关闭式的设计,更换蒸镀源较为频繁,且真空腔室的抽真空处理耗费时间长,对温度工艺的控制难以精准量化,需要在生产中不断的间歇性反复调试。二、真空腔室内单次加工OLED面板数量问题:现有的蒸镀设备总体上的思路均是采用将基板水平排布放置的设计,故蒸镀源一般需要置于基板的上方,该种排布方 ...
【技术保护点】
1.一种具有高稳定性OLED基板送入装置的OLED蒸镀设备,其特征在于:包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置(1)和OLED基板送入装置(2),所述OLED基板送入装置(2)具有与分隔环(16)固定连接的空心电机外座(21),在所述空心电机外座(21)的中心设有空心转动杯(22),所述空心转动杯(22)的前端与分隔环(16)的内环转动连接,在所述空心转动杯(22)的中心设有旋转端盖(23),在所述旋转端盖(23)的前端设有OLED基板固定装置(24),所述OLED基板固定装置(24)具有由伸缩油缸驱动的支撑杆(241),在所述支撑杆(241)的两侧分别设有稳定滑轨(242),且所述支撑杆(241)、稳定滑轨(242)的驱动机构均设置在旋转端盖(23)的外侧,在两个稳定滑轨(242)之间设有滑动套(243),在所述支撑杆(241)的端部设有限位法兰(244),在所述限位法兰(244)上安装有筒形支架(245),以所述筒形支架(245)的中心轴线为中心、在所述筒形支架(245)的外侧边缘设有若干个沿轴向延展的密封限位条(246),在相邻的两个密封限位条(246)之间均设有用于安装OLE ...
【技术特征摘要】
1.一种具有高稳定性OLED基板送入装置的OLED蒸镀设备,其特征在于:包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置(1)和OLED基板送入装置(2),所述OLED基板送入装置(2)具有与分隔环(16)固定连接的空心电机外座(21),在所述空心电机外座(21)的中心设有空心转动杯(22),所述空心转动杯(22)的前端与分隔环(16)的内环转动连接,在所述空心转动杯(22)的中心设有旋转端盖(23),在所述旋转端盖(23)的前端设有OLED基板固定装置(24),所述OLED基板固定装置(24)具有由伸缩油缸驱动的支撑杆(241),在所述支撑杆(241)的两侧分别设有稳定滑轨(242),且所述支撑杆(241)、稳定滑轨(242)的驱动机构均设置在旋转端盖(23)的外侧,在两个稳定滑轨(242)之间设有滑动套(243),在所述支撑杆(241)的端部设有限位法兰(244),在所述限位法兰(244)上安装有筒形支架(245),以所述筒形支架(245)的中心轴线为中心、在所述筒形支架(245)的外侧边缘设有若干个沿轴向延展的密封限位条(246),在相邻的两个密封限位条(246)之间...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹云娟,
申请(专利权)人:常州市知豆信息科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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