一种硅片篮翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种硅片篮翻转装置，包括底座、翻转架、伸缩驱动机构、旋转驱动机构、控制器和位置传感器，底座上通过导轨滑动设置有翻转架，伸缩驱动机构的伸缩端与旋转驱动机构连接，旋转驱动机构的旋转端与翻转架连接，位置传感器设于翻转架上，位置传感器与控制器电连接，控制器与旋转驱动机构电连接。该硅片篮翻转装置可实现硅片篮在输送与出料设备之间的自动翻转，以实现硅片插片至清洗的自动化，并且可对硅片篮的翻转角度更精准的控制，有利于机械手顺利的夹持到硅片篮，从而保证清洗设备工作的连续性，提高清洗效率。

A Silicon Wafer Basket Flipping Device

The utility model provides a silicon wafer basket turnover device, which comprises a base, a turnover frame, a telescopic driving mechanism, a rotary driving mechanism, a controller and a position sensor. A turnover frame is arranged on the base through sliding of a guide rail, the telescopic end of the telescopic driving mechanism is connected with the rotary driving mechanism, the rotary end of the rotary driving mechanism is connected with the turnover frame, and the position sensor is arranged on the turnover frame. The sensor is electrically connected with the controller, and the controller is electrically connected with the rotary drive mechanism. The silicon wafer basket turning device can realize the automatic turning of the silicon wafer basket between the conveying and discharging equipment, realize the automation of the wafer insertion to cleaning, and can control the turning angle of the silicon wafer basket more accurately, which is conducive to the smooth clamping of the manipulator to the silicon wafer basket, thus ensuring the continuity of the cleaning equipment work and improving the cleaning efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片篮翻转装置
本技术属于半导体生产设备
，尤其是涉及一种硅片篮翻转装置。
技术介绍
目前，硅片清洗生产线各设备独立工作，设备与设备之间需要靠人工搬运实现物料传递，没有实现全自动无人化的生产。在硅片清洗流程中，硅片插片后，需要将插片机上的载满硅片的硅片篮送至硅片清洗机进行清洗，人工搬运操作不便，工作量大，严重影响硅片清洗生产线的效率。在运送硅片篮的过程中，硅片篮需要经过传输、翻转和出料才可将硅片篮中的硅片供给给清洗机，因此，要实现硅片篮在插片机与清洗机之间的自动化生产，需要在插片机和清洗机之间设置自动传送、翻转、出料装置，现有技术中缺少在插片机和清洗机之间自动化实现传输、翻转和出料的装置，无法实现插片、清洗自动化进行。其中，由于硅片篮传送时硅片在硅片篮中为竖直排布，而出料装置将硅片从篮中取出时需要使硅片处于水平放置排布，因此需要设置将硅片篮旋转90度的翻转装置，而翻转装置对翻转角度的控制会直接影响后序出料设备的取料，翻转角度不精确会使硅片篮翻转不到位，后序的夹取硅片的装置在夹取硅片时产生困难，大大影响硅片清洗效率。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种硅片篮翻转装置，可实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片篮翻转装置，其特征在于：包括底座、翻转架、第一伸缩驱动机构、旋转驱动机构、控制器和位置传感器，所述底座上通过导轨滑动设置有翻转架，所述第一伸缩驱动机构的伸缩端与所述旋转驱动机构连接，所述旋转驱动机构的旋转端与所述翻转架连接，所述位置传感器设于所述翻转架上，所述位置传感器与所述控制器电连接，所述控制器与所述旋转驱动机构电连接。

【技术特征摘要】
1.一种硅片篮翻转装置，其特征在于：包括底座、翻转架、第一伸缩驱动机构、旋转驱动机构、控制器和位置传感器，所述底座上通过导轨滑动设置有翻转架，所述第一伸缩驱动机构的伸缩端与所述旋转驱动机构连接，所述旋转驱动机构的旋转端与所述翻转架连接，所述位置传感器设于所述翻转架上，所述位置传感器与所述控制器电连接，所述控制器与所述旋转驱动机构电连接。2.根据权利要求1所述的硅片篮翻转装置，其特征在于：所述翻转架包括水平托板、与所述水平托板垂直连接的竖直托板和转轴，所述旋转驱动机构的旋转端与所述转轴连接。3.根据权利要求1或2所述的硅片篮翻转装置，其特征在于：还包括夹具机构，所述夹具机构包括至少一对挡板，一对所述挡板设于所述翻转架上相对的两侧，所述挡板通过连杆与第二伸缩驱动机构的伸缩端连接，所述第二伸缩驱动机...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔振强，靳立辉，王国瑞，任志高，杨骅，高翔，赵晓光，刘奇，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：天津,12