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本实用新型提供一种硅片篮翻转装置，包括底座、翻转架、伸缩驱动机构、旋转驱动机构、控制器和位置传感器，底座上通过导轨滑动设置有翻转架，伸缩驱动机构的伸缩端与旋转驱动机构连接，旋转驱动机构的旋转端与翻转架连接，位置传感器设于翻转架上，位置传感器...
该专利属于天津环博科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津环博科技有限责任公司授权不得商用。

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