一种中心对称的UVW平台制造技术

本实用新型专利技术公开一种中心对称的UVW平台，包括定平台与驱动机构；定平台的上方设有动平台，定平台与动平台之间有导向机构；导向机构包括三套导向组件；其中一套导向组件中的回转运动导向元件与动平台的几何中心相连，此导向组件中的第一直线运动导向元件对动平台作X向导向，此导向组件中的第二直线运动导向元件对动平台作Y向导向，另外两套导向组件中的回转运动导向元件分别与动平台相连，此两回转运动导向元件关于动平台的对称中心对称，此两套导向组件中的第一直线运动导向元件对动平台作Y向导向，此两套导向组件中的第二直线运动导向元件对动平台作X向导向，避免动平台沿Y方向运动时，因动平台受力不均衡，导致动平台两侧的运行误差不一致。

A Centrally Symmetrical UVW Platform

The utility model discloses a centrally symmetrical UVW platform, which comprises a fixed platform and a driving mechanism; a movable platform is arranged above the fixed platform, and a guiding mechanism is arranged between the fixed platform and the movable platform; a guiding mechanism comprises three sets of guiding components; a rotary motion guiding element in a guiding component is connected with the geometric center of the movable platform, and the first linear motion guiding element in the guiding component is connected with the geometric center of the movable platform. The second linear motion steering element in the steering component acts as the Y-direction to the moving platform, and the rotary motion steering elements in the other two sets of steering components are connected to the moving platform respectively. The two rotary motion steering elements are symmetrically centrally symmetrical with respect to the moving platform. The first linear motion steering element in the two sets of steering components acts as the Y-direction to the moving platform. The second linear motion steering element in the guide assembly acts as X-direction guide to the moving platform, avoiding the uneven force of the moving platform when the moving platform moves along the Y-direction, resulting in inconsistent operation errors on both sides of the moving platform.

【技术实现步骤摘要】
一种中心对称的UVW平台
本技术涉及UVW平台
，具体涉及一种中心对称的UVW平台。
技术介绍
目前，在微加工制造行业中高精密对位技术占据越来越重要的位置，对位技术广泛涉及到半导体装备、网络印刷设备、LED或液晶面板制造、光纤对接、微机械电子器件加工封装等行业。为了提高零件加工精度，加快对位效率，相关行业对对位技术提出了更高的要求，而高精度的对位技术则依赖于UVW平台的高性能。公知的UVW平台的运动链由3条主动链和1条从动链构成，这4条运动链分布在其顶台的四个角上或其四条边的中心位置。若设定平台在有2条主动链的方向为X方向，只有1条主动链的方向为Y方向，则由于Y方向只有一条主动链，且该主动链并不在动平台的中心线上，故动平台在Y方向运行时，由于动平台受力不均衡，极易出现Y方向主动链侧的运动误差较小，但其从动链侧的运动误差较大的情况。由此可见，现有技术还一定缺陷。
技术实现思路
有鉴于此，为了解决现有技术中的问题，本技术提出一种中心对称的UVW平台。本技术通过以下技术手段解决上述问题：一种中心对称的UVW平台，包括定平台与驱动机构；所述定平台的上方设有动平台，动平台与定平台之间相互平行，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种中心对称的UVW平台，其特征在于，包括定平台与驱动机构；所述定平台的上方设有动平台，动平台与定平台之间相互平行，所述定平台与动平台之间设置有导向机构，导向机构可使动平台相对于定平台沿Y向或者X向移动；所述导向机构包括三套导向组件；所述导向组件包括第一直线运动导向元件、第二直线运动导向元件和回转运动导向元件，第一直线运动导向元件的导向方向与第二直线运动导向元件的导向方向相互垂直，并且第一直线运动导向元件中的固定件与第二直线运动导向元件的活动件相连，第一直线运动导向元件的中的活动件通过回转运动导向元件与动平台相连，回转运动导向元件可使动平台相对于第一直线运动导向元件的活动件绕回转运动导向元...

【技术特征摘要】
1.一种中心对称的UVW平台，其特征在于，包括定平台与驱动机构；所述定平台的上方设有动平台，动平台与定平台之间相互平行，所述定平台与动平台之间设置有导向机构，导向机构可使动平台相对于定平台沿Y向或者X向移动；所述导向机构包括三套导向组件；所述导向组件包括第一直线运动导向元件、第二直线运动导向元件和回转运动导向元件，第一直线运动导向元件的导向方向与第二直线运动导向元件的导向方向相互垂直，并且第一直线运动导向元件中的固定件与第二直线运动导向元件的活动件相连，第一直线运动导向元件的中的活动件通过回转运动导向元件与动平台相连，回转运动导向元件可使动平台相对于第一直线运动导向元件的活动件绕回转运动导向元件的轴心线旋转，回转运动导向元件的轴心线与Z向平行，第二直线运动导向元件的固定件与定平台相连；其中一套导向组件中的回转运动导向元件与动平台的几何中心相连，并且此导向组件中的第一直线运动导向元件对动平台作X向导向，此导向组件中的第二直线运动导向元件对动平台作Y向导向，驱动机构有三套，其中一套驱动机构驱动此第二直线运动导向元件的活动件沿Y向移动，进而驱动动平台沿Y向移动；另外两套导向组件中的回转运动导向元件分别与动平台相连，并且此两回转运动导向元件关于动平台的对称中心中心对称，此两套导向组件中的第一直线运动导向元件对动平台作Y向导向，此两套导向组件中的第二直线运动导向元件对动平台作X向导向，并且另外两套驱动机构各自驱动一第二直线运动导向元件的活动件沿X向移动，进而驱动动平台沿X向移动。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨根，张波涛，王卫军，张弓，冯伟，雷渠江，侯至丞，蔡君义，李友浩，刘杰林，
申请(专利权)人：广州中国科学院先进技术研究所，深圳市中科德睿智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44