扩散炉炉口排风装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例中提供了一种扩散炉炉口排风装置，所述扩散炉炉口排风装置包括：排风罩、多个排风管和接液盘；所述排风罩设置有炉管开口和多个排风口；所述多个排风管与所述多个排风口连通；所述接液盘设置于所述炉管开口下方，与所述排风罩贴合连接。本实施例中的扩散炉炉口排风装置可以承接炉管炉口冷凝形成的偏磷酸废液，防止偏磷酸废液滴溅至下方扩散炉或机台上，避免偏磷酸废液污染硅片及碳化硅桨等，有效提升了硅片生产良率；且还可以避免偏磷酸废液腐蚀扩散设备内部供电线路，大幅度降低了扩散设备的短路风险。

【技术实现步骤摘要】
扩散炉炉口排风装置
本技术涉及太阳能电池片扩散领域，特别是涉及一种扩散炉炉口排风装置。
技术介绍
扩散设备是太阳能电池片生产工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制硅片内杂质的类型、浓度和分布，以建立不同的电性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂，但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应，生长一层二氧化硅膜。氧化方法有干氧化和水汽氧化两种，扩散设备是用这两种氧化方法制备氧化层的基础设备。现有的扩散设备一般是由3根沿竖直方向水平设置的石英炉管组成的，常规的扩散炉的炉门密封都是由石英炉门和石英炉管炉口的硬接触来完成，但是这种硬接触的密封效果并不好，生产过程当中产生的废气容易从炉口泄露出来，并在炉口区域冷凝形成偏磷酸废液，当偏磷酸废液积聚过多时，便会滴溅至下方炉管及设备上。而现有的扩散设备并未设置相关的接液装置，由于冷凝偏磷酸废液的滴溅，扩散设备存在诸如硅片、碳化硅桨及石英管等被废液污染的问题，影响硅片生产良率；且如果冷凝的偏磷酸废液滴溅至设备内部，还存在腐蚀供电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉炉口排风装置，所述装置包括：排风罩(100)和多个排风管(200)，其中：所述排风罩(100)设置有炉管开口(101)和多个排风口(102)；所述多个排风管(200)与所述多个排风口(102)连通；其特征在于，所述装置还包括接液盘(300)，所述接液盘(300)设置于所述炉管开口(101)下方，与所述排风罩(100)贴合连接。

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉炉口排风装置，所述装置包括：排风罩(100)和多个排风管(200)，其中：所述排风罩(100)设置有炉管开口(101)和多个排风口(102)；所述多个排风管(200)与所述多个排风口(102)连通；其特征在于，所述装置还包括接液盘(300)，所述接液盘(300)设置于所述炉管开口(101)下方，与所述排风罩(100)贴合连接。2.如权利要求1所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述接液盘(300)与所述排风罩(100)贴合一侧的侧壁顶部形状和所述炉管开口(101)匹配。3.如权利要求2所述的扩散炉炉口排风装置，其特征在于，所述接液盘(300)与所述排风罩(100)贴合一侧的侧壁顶部还设置有钩挂部件(302)。4.如权利要求1所述的扩散炉炉口排风装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：周典儒，孔海洋，杨强，黄海燕，陆川，
申请(专利权)人：浙江正泰太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33