【技术实现步骤摘要】
一种均温水冷板
本技术涉及射频电源领域,尤其涉及一种均温水冷板。
技术介绍
射频电源内部的大功率器件较多,包括MOS管(金属(metal)—氧化物(oxide)—半导体(semiconductor)场效应晶体管)、滤波器、合成板、供电装置等对散热需求较高的器件,冷却方式通常采用水冷,随着技术的发展,功率器件的功率越来越大,同时尺寸日益减小,散热需求成为射频电源的重点。对于大功率射频电源,通常需要多个MOS管协同工作,MOS管热流密度极大(超过105W/m2),不同MOS管存在温差,同时工作特性容易受到温度变化影响,因此不同MOS管之间对温度一致性需求较高,传统的水冷板设计方案无法满足需求。目前水冷板强化散热有多种方案,包括增加散热面积、增加冷却水流速、局部产生紊流等,但是对温度一致性设计的方案较少。
技术实现思路
本技术的目的是设计一种保证射频电源在水冷板表面不同位置温度一致性的均温水冷板。为实现上述技术目的,本技术的技术方案是:一种均温水冷板,安装在射频电源内,包括水冷板本体,水冷板本体上设有供冷却水流动的水道,所述水道在水冷板本体上之字形设置,并经过射频电源内部的所有的发热部件,水道设有进水口、出水口;所述水道上设有均温器,所述均温器分为单片均温器、双片均温器;所述单片均温器包括均温囊体,均温囊体为局部截面增大的水道构成,均温囊体中部设有沿水道轴线的单肋片;所述双片均温器包括均温囊体,均温囊体中部设有沿水道轴线的双肋片,双肋片包括左肋片、右肋片,左肋片、右肋片横截面均为梯形,左肋片、右肋片间隔设置在均温囊体内,沿所述水道的轴向对称,对应梯形截面下底边的面相对; ...
【技术保护点】
1.一种均温水冷板,安装在射频电源内,其特征在于,包括水冷板本体,水冷板本体上设有供冷却水流动的水道,所述水道在水冷板本体上之字形设置,并经过射频电源内部的所有的发热部件,水道设有进水口、出水口;所述水道上设有均温器,所述均温器分为单片均温器、双片均温器;所述单片均温器包括均温囊体,均温囊体为局部截面增大的水道构成,均温囊体中部设有沿水道轴线的单肋片;所述双片均温器包括均温囊体,均温囊体中部设有沿水道轴线的双肋片,双肋片包括左肋片、右肋片,左肋片、右肋片横截面均为梯形,左肋片、右肋片间隔设置在均温囊体内,沿所述水道的轴向对称,对应梯形截面下底边的面相对;所述单片均温器、双片均温器设置在靠近发热量多于其它发热部件多发热量的发热部件的水道上。
【技术特征摘要】
1.一种均温水冷板,安装在射频电源内,其特征在于,包括水冷板本体,水冷板本体上设有供冷却水流动的水道,所述水道在水冷板本体上之字形设置,并经过射频电源内部的所有的发热部件,水道设有进水口、出水口;所述水道上设有均温器,所述均温器分为单片均温器、双片均温器;所述单片均温器包括均温囊体,均温囊体为局部截面增大的水道构成,均温...
【专利技术属性】
技术研发人员:周航,王敬杨,李卫泽,耿束建,
申请(专利权)人:北京北广科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。