一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置，包括箱体，箱体顶部安装有导风圈和进风安全网，进风安全网与导风圈相连，进风安全网上设置有进风格栅，箱体的底部连接高效过滤器，所述箱体内部设置有回字型漏斗式导流板、风机安装板、回字型挡流板和风机。气流从进风安全网经导风圈进入箱体内部，风机旋转，增加气流动能，风机出风口处气流通过回字型漏斗式导流板后，均匀地吹向四周，有效地减少了气流流动过程中产生的涡流，减少了流动过程中的压力损失，降低了箱体内部结构阻力，因而降低了能耗和气动噪声。同时，箱体四个顶角采用坡角折边的设计，可以很好的起到减振的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置
本技术涉及设备端自带风机过滤机组导流领域，尤其涉及一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置。
技术介绍
随着半导体、液晶面板、医药、光学等等行业技术的飞速发展，对制造工艺环境的要求更加严格，微环境结晶技术应运而生，洁净室受关注的重点开始逐步转移到制造设备上，由此设备端所用的EFU数量逐渐增加，微环境结晶结束飞速发展。现代洁净技术必须具备高洁净度，高灵活性，低成本，低能耗的特性，传统的洁净技术已很难完全满足这些需求。目前能耗、噪声、振动、强度、均匀性等已作为设备端自带风机过滤单元性能优劣的衡量标准。因此本技术设计，提高设备端自带风机过滤单元性能，降低能耗和噪声，降低振动，提高设备强度，改善出风均匀性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置，通过优化箱体内部导流机构，全面提升风机过滤机组的性能指标。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置，包括箱体，箱体顶部安装有导风圈和进风安全网，进风安全网与导风圈相连，进风安全网上设置有进风格栅，箱体的底部连接高效过滤器，所述箱体内部设置有回字型漏本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置，包括箱体（8），箱体（8）顶部安装有导风圈（5）和进风安全网（1），进风安全网（1）与导风圈（5）相连，进风安全网（1）上设置有进风格栅，箱体（8）的底部连接高效过滤器（9），其特征在于：所述箱体（8）内设置有回字型漏斗式导流板（2）、风机安装板（4）和风机（7），所述风机安装板（4）的两端与箱体（8）中部内壁连接，风机（7）安装在风机安装板（4）上，所述回字型漏斗式导流板（2）以风机（7）为中心线对称安装在箱体（8）内的上部空间。

【技术特征摘要】
1.一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置，包括箱体（8），箱体（8）顶部安装有导风圈（5）和进风安全网（1），进风安全网（1）与导风圈（5）相连，进风安全网（1）上设置有进风格栅，箱体（8）的底部连接高效过滤器（9），其特征在于：所述箱体（8）内设置有回字型漏斗式导流板（2）、风机安装板（4）和风机（7），所述风机安装板（4）的两端与箱体（8）中部内壁连接，风机（7）安装在风机安装板（4）上，所述回字型漏斗式导流板（2）以风机（7）为中心线对称安装在箱体（8）内的上部空间。2.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张燕，焦烨，陈玲，叶伟强，
申请(专利权)人：美埃中国环境净化有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32