探针针尖位置检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的目的是提供一种探针针尖位置检测装置。一种探针针尖位置检测装置，包括：底座，探针，设于底座上的高倍镜组和低倍镜组；高倍镜组包括：设有高倍镜组光源且一端与探针相对的物镜，光轴与物镜的光轴垂直相交的无限远校正镜筒，设于物镜另一端和无限远校正镜筒一端之间的高倍镜组的90°棱镜，与无限远校正镜筒另一端连接的高倍镜组的相机；低倍镜组包括：设有低倍镜组光源的远心镜头,设于远心镜头一端和探针之间的低倍镜组90°棱镜，与远心镜头另一端连接的低倍镜组的相机。所述的探针针尖位置检测装置探针针尖位置检测精度和检测效率较高。

【技术实现步骤摘要】
探针针尖位置检测装置
本技术涉及集成电路测试装备领域，尤其是一种探针针尖位置检测装置。
技术介绍
晶圆测试是集成电路制造的一道重要工序，准确的测试能够及时剔除不良品，提高良品率；探针台是用于晶圆测试的主流设备，探针台的探针与测试机连接后能够自动完成对集成电路的晶圆的电性能测试；探针台的主要功能是实现探针针尖与晶圆的准确对位，这个过程称为对针过程；传统的对针过程，操作工借助安装在探针台上方的显微镜，通过肉眼观察来检测探针针尖位置是否准确，存在探针针尖位置检测精度和检测效率较低的不足；因此，设计一种探针针尖位置检测精度和检测效率较高的探针针尖位置检测装置，成为亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服目前的对针过程，操作工借助安装在探针台上方的显微镜，通过肉眼观察来检测探针针尖位置是否准确，存在探针针尖位置检测精度和检测效率较低的不足，提供一种探针针尖位置检测精度和检测效率较高的探针针尖位置检测装置。本技术的具体技术方案是：一种探针针尖位置检测装置，包括：底座，探针，设于底座上的高倍镜组和低倍镜组；高倍镜组包括：设有高倍镜组光源且一端与探针相对的物镜，光轴与物镜的光轴垂直相交的无限远校正镜筒，设于物镜另一端和无限远校正镜筒一端之间的高倍镜组的90°棱镜，与无限远校正镜筒另一端连接的高倍镜组的相机；低倍镜组包括：设有低倍镜组光源的远心镜头,设于远心镜头一端和探针之间的低倍镜组90°棱镜，与远心镜头另一端连接的低倍镜组的相机。所述的探针针尖位置检测装置，通过高倍镜组进行探针针尖位置检测，由于高倍镜组为物镜和无限远校正镜筒组成的显微镜结构，成像分辨率高，探针针尖位置检测精度较高；通过视野大、分辨率低的低倍镜组快速寻找探针针尖，检测效率较高；高倍镜组的90°棱镜和低倍镜组的90°棱镜将光路方向转折90°使结构紧凑，利于探针针尖位置检测装置装在探针台上。作为优选，所述的远心镜头的光轴与无限远校正镜筒的光轴平行；远心镜头的光轴与无限远校正镜筒的光轴之间的距离为15mm至40mm。利于提高检测精度。作为优选，所述的无限远校正镜筒设有若干个分别与底座连接的固定箍；远心镜头设有若干个分别与底座连接的安装箍。使无限远校正镜筒和远心镜头分别与底座稳固连接，利于提高检测稳定性。与现有技术相比，本技术的有益效果是：所述的探针针尖位置检测装置，通过高倍镜组进行探针针尖位置检测，由于高倍镜组为物镜和无限远校正镜筒组成的显微镜结构，成像分辨率高，探针针尖位置检测精度较高；通过视野大、分辨率低的低倍镜组快速寻找探针针尖，检测效率较高；高倍镜组的90°棱镜和低倍镜组的90°棱镜将光路方向转折90°使结构紧凑，利于探针针尖位置检测装置装在探针台上。远心镜头的光轴与无限远校正镜筒的光轴平行，远心镜头的光轴与无限远校正镜筒的光轴之间的距离为15mm至40mm，利于提高检测精度。无限远校正镜筒设有若干个分别与底座连接的固定箍，远心镜头设有若干个分别与底座连接的安装箍，使无限远校正镜筒和远心镜头分别与底座稳固连接，利于提高检测稳定性。附图说明图1是本技术的一种结构示意图。图中：底座1、探针2、高倍镜组光源3、物镜4、无限远校正镜筒5、高倍镜组的90°棱镜6、高倍镜组的相机7、低倍镜组光源8、远心镜头9、低倍镜组90°棱镜10、低倍镜组的相机11、固定箍12、安装箍13。具体实施方式下面结合附图所示对本技术进行进一步描述。如附图1所示：一种探针针尖位置检测装置，包括：底座1，探针2，设于底座1上的高倍镜组和低倍镜组；高倍镜组包括：设有高倍镜组光源3且一端与探针2相对的物镜4，光轴与物镜4的光轴垂直相交的无限远校正镜筒5，设于物镜4另一端和无限远校正镜筒5一端之间的高倍镜组的90°棱镜6，与无限远校正镜筒5另一端连接的高倍镜组的相机7；低倍镜组包括：设有低倍镜组光源8的远心镜头9,设于远心镜头9一端和探针2之间的低倍镜组90°棱镜10，与远心镜头9另一端连接的低倍镜组的相机11。所述的远心镜头9的光轴与无限远校正镜筒5的光轴平行；远心镜头9的光轴与无限远校正镜筒5的光轴之间的距离为15mm至40mm。所述的无限远校正镜筒5设有两个分别与底座1连接的固定箍12；远心镜头9设有两个分别与底座1连接的安装箍13。所述的探针2针尖位置检测装置使用时，通过视野大、分辨率低的低倍镜组快速寻找到探针2针尖位置；通过探针台调整探针2位置，通过高倍镜组对探针2针尖位置进行检测，直至探针2针尖位置与设定位置相符合。本技术的有益效果是：所述的探针针尖位置检测装置，通过高倍镜组进行探针针尖位置检测，由于高倍镜组为物镜和无限远校正镜筒组成的显微镜结构，成像分辨率高，探针针尖位置检测精度较高；通过视野大、分辨率低的低倍镜组快速寻找探针针尖，检测效率较高；高倍镜组的90°棱镜和低倍镜组的90°棱镜将光路方向转折90°使结构紧凑，利于探针针尖位置检测装置装在探针台上。远心镜头的光轴与无限远校正镜筒的光轴平行，远心镜头的光轴与无限远校正镜筒的光轴之间的距离为30mm，利于提高检测精度。无限远校正镜筒设有两个分别与底座连接的固定箍，远心镜头设有两个分别与底座连接的安装箍，使无限远校正镜筒和远心镜头分别与底座稳固连接，利于提高检测稳定性。除上述实施例外，在本技术的权利要求书及说明书所公开的范围内，本技术的技术特征或技术数据可以进行重新选择及组合，从而构成新的实施例，这些都是本领域技术人员无需进行创造性劳动即可实现的，因此这些本技术没有详细描述的实施例也应视为本技术的具体实施例而在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针针尖位置检测装置，包括：底座，探针，其特征是，所述的探针针尖位置检测装置还包括：设于底座上的高倍镜组和低倍镜组；高倍镜组包括：设有高倍镜组光源且一端与探针相对的物镜，光轴与物镜的光轴垂直相交的无限远校正镜筒，设于物镜另一端和无限远校正镜筒一端之间的高倍镜组的90°棱镜，与无限远校正镜筒另一端连接的高倍镜组的相机；低倍镜组包括：设有低倍镜组光源的远心镜头, 设于远心镜头一端和探针之间的低倍镜组90°棱镜，与远心镜头另一端连接的低倍镜组的相机。

【技术特征摘要】
1.一种探针针尖位置检测装置，包括：底座，探针，其特征是，所述的探针针尖位置检测装置还包括：设于底座上的高倍镜组和低倍镜组；高倍镜组包括：设有高倍镜组光源且一端与探针相对的物镜，光轴与物镜的光轴垂直相交的无限远校正镜筒，设于物镜另一端和无限远校正镜筒一端之间的高倍镜组的90°棱镜，与无限远校正镜筒另一端连接的高倍镜组的相机；低倍镜组包括：设有低倍镜组光源的远心镜头,设于远心镜头一端和探针...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚建强，徐健伟，郭剑飞，舒贻胜，陈思乡，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33