下载探针针尖位置检测装置的技术资料

文档序号:19902822

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本实用新型的目的是提供一种探针针尖位置检测装置。一种探针针尖位置检测装置,包括:底座,探针,设于底座上的高倍镜组和低倍镜组;高倍镜组包括:设有高倍镜组光源且一端与探针相对的物镜,光轴与物镜的光轴垂直相交的无限远校正镜筒,设于物镜另一端和无限...
该专利属于杭州长川科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州长川科技股份有限公司授权不得商用。

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