固态成像元件和电子设备制造技术

根据本公开的固态成像装置包括：光电转换膜，其逐个像素地设置在半导体衬底外部，对具有预定波长范围的光执行光电转换，并且透射具有所述预定波长范围以外的波长范围的光；和光电转换区，其逐个像素地设置在所述半导体衬底内部，并对具有所述波长范围的光执行光电转换，所述光具有已经通过所述光电转换膜的所述波长范围。所述光电转换膜包括具有雪崩功能的膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固态成像元件和电子设备
本公开涉及一种固态成像装置和一种电子设备。
技术介绍
有一种具有所谓层叠型像素结构的固态成像装置，其中在半导体衬底外部提供对具有预定波长范围的光执行光电转换的光电转换膜，而在半导体衬底内部提供对具有预定波长范围以外的波长范围的光执行光电转换的光电转换区，所述光具有已经通过光电转换膜的波长范围(参见例如专利文献1)。根据层叠型像素结构，可以在一个像素的区内设置对两种或更多种颜色敏感的光电转换单元(光电转换膜和光电转换区)。因此，与对两种或更多种颜色敏感的光电转换单元设置在平面上的情况相比，层叠型像素结构具有可以实现固态成像装置的芯片面积减小的优点。引用列表专利文献专利文献1：日本特许公开2012-238648号专利申请
技术实现思路
技术难题顺便说一下，在固态成像装置中，当像素数量增加以实现捕获图像的高清晰度和高图像质量，并且像素尺寸相应减小时，每个像素要处理的最大电荷量或灵敏度降低，并且图像质量因此恶化。由于像素数量增加而导致的灵敏度降低的问题也适用于具有层叠型像素结构的固态成像装置。在这点上，本公开的目的是提供一种能够改进包括光电转换膜的层叠型像素结构中的灵敏度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固态成像装置，包括：光电转换膜，其逐个像素地设置在半导体衬底外部，对具有预定波长范围的光执行光电转换，并且透射具有所述预定波长范围以外的波长范围的光；和光电转换区，其逐个像素地设置在所述半导体衬底内部，并对具有所述波长范围的光执行光电转换，所述光具有已经通过所述光电转换膜的所述波长范围，所述光电转换膜包括具有雪崩功能的膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.23 JP 2016-0584431.一种固态成像装置，包括：光电转换膜，其逐个像素地设置在半导体衬底外部，对具有预定波长范围的光执行光电转换，并且透射具有所述预定波长范围以外的波长范围的光；和光电转换区，其逐个像素地设置在所述半导体衬底内部，并对具有所述波长范围的光执行光电转换，所述光具有已经通过所述光电转换膜的所述波长范围，所述光电转换膜包括具有雪崩功能的膜。2.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中所述光电转换膜是由有机材料形成的有机膜。3.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中所述光电转换膜是由无机材料形成的无机膜。4.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中所述光电转换膜具有蓄积通过所述光电转换获得的电荷的功能。5.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中所述光电转换膜包括对应于两种颜色的层叠光电转换膜，并且对应于所述两种颜色的所述光电转换膜中的每一个由具有所述雪崩功能的所述膜形成。6.根据权利要求5所述的固态成像装置，其中对应于所述两种颜色的所述光电转换膜中的每一个是由有机材料形成的有机膜。7.根据权利要求5所述的固态成像装置，其中对应于所述两种颜色的所述光电转换膜中的每一个是由无机材料形成的无机膜。8.根据权利要求5所述的固态成像装置，其中在对应于所述两种颜色的所述光电转换膜中，入射光侧上的所述光电转换膜对蓝光执行光电转换，并且所述半导体衬底侧上的所述光电转换膜对绿光执行光电转换，并且设置在所述半导体衬底内部的所述光电转换区对红光执行光电转换。9.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中所述光电转换区设置在所述半导体衬底内部，并且对应于至少一种颜色，并且滤色器安装在设置在所述半导体衬底外部的所述光电转换膜的入射光侧上。10.根据权利要求9所述的固...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤菜菜子，若野寿史，大竹悠介，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP