压力传感器制造技术

本实施方式的压力传感器(1A)包括：具有用于将压力传感器(1A固定到车辆用发动机燃烧室的螺纹部(2a)的连接部(2)；固定于连接部(2)的一端的中空的液体密封容器(3)；固定于液体密封容器(3前端(下端)的膜片(4)；固定于液体密封容器(3)另一端(上端)的压力检测元件(5)；密封于液体密封容器(3)内部的压力传导液(6)；和设置于液体密封容器(3)内部的散热杆(7)。连接部(2)与液体密封容器(3)以及连接部(2)与膜片(4)分别通过焊接等相互机械地连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器
本专利技术涉及压力传感器，具体涉及适合于在高温环境下使用的压力传感器。
技术介绍
作为压力传感器，已知有专利文献1(日本特开2009-26495号公报)和专利文献2(日本特开平4-194638号公报)中记载的传感器。专利文献1中，公开了如下压力传感器，其具有：壳体，其可安装内部流动被检测介质的安装部件，并形成有用于导入上述被检测介质的导入孔；连接器盒，其具有用于进行与外部的信号交换的终端，并具有比上述壳体小的比热；膜片，其根据由上述导入孔导入的上述被检测介质的被检测压力而移位；传感器元件，其基于上述膜片的移位来检测上述被检测压力；密闭空间，其由上述壳体与上述连接器盒组合而形成，上述传感器元件配置在其内部；和填充于上述密闭空间内的绝缘性液体。此外，专利文献2中，公开了如下压力传感器，其具有：设置在壳体上的膜片；设于上述壳体内的指向上述膜片的压力检测部；和被密封于该压力检测部与所述膜片之间的压力传导液，其中，上述壳体中形成有用于将上述压力传导液注入壳体内的传导液注入口，并且在该传导液注入口上拧入有用于将上述压力传导液密封于壳体内的螺钉。已有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-26495号公报专利文献2：日本特开平4-194638号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术人正在开发具有通过将传感器元件及其控制单元单芯片化而构成的压力检测IC的压杆式车辆用压力传感器。该压力传感器中，作为抑制压杆的周期振动导致的内压测量精度的降低的对策，令压力传导介质为液体，但是，由于作为压力传导介质的液体的温度超过使用上限温度会热分解，因此需要将液体温度降低到使用上限温度之下的措施。专利文献1中记载的压力传感器使用绝缘性液体作为冷却液，进行以传感器元件部为对象的冷却，但不具有对压力传导介质进行冷却的结构。此外，专利文献2中记载的压力传感器，虽然作为压力传导介质具有压力传导液，但不具有对压力传导液进行冷却的机构。因此，这些已有的压力传感器在使用液体作为压力传导介质的情况下，在高温环境下随着由液体的热分解引起的气体的产生，内压逐渐上升，难以正确地进行压力测量。因此，本专利技术的目的在于提供一种即使在高温环境下使用液体作为压力传导介质的情况下，也能够抑制液体的热分解并正确地进行压力测量的压力传感器。本专利技术的上述及其它的目的和新特征通过本说明书的记述和附图可得以明了。用于解决问题的技术手段对于本申请公开的实施方式中代表性的实施方式的概要，可简单地说明如下。代表性的一个实施方式的压力传感器包括：中空的液体密封容器；密封于上述液体密封容器的内部的压力传导液；膜片，其安装于上述液体密封容器，在受压时弹性变形而将压力传导至上述压力传导液；压力检测元件，其安装于上述液体密封容器，检测传导至上述压力传导液的上述压力并将其转换成电信号；和散热部件，其以分别与上述液体密封容器的内壁的一部分和上述压力传导液接触的方式安装于上述液体密封容器的内部。代表性的一个实施方式的压力传感器包括：中空的液体密封容器；密封于上述液体密封容器的内部的压力传导液；膜片，其安装于上述液体密封容器，通过在受压时弹性变形而将压力传导至上述压力传导液；和压力检测元件，其安装于上述液体密封容器，检测传导至上述压力传导液的上述压力并将其转换成电信号，在上述压力传感器中，或者将与上述压力传导液接触的上述液体密封容器的内壁做成凹凸面，或者还具有包围上述液体密封容器的上述内壁的一部分且与上述内壁的一部分接触的第二散热用结构体。专利技术效果根据代表性的实施方式，能够提高压力传感器的散热特性。附图说明图1是实施方式1的压力传感器的立体图。图2是实施方式1的压力传感器的部分剖开的立体图。图3是实施方式1的压力传感器的剖视图。图4是采用实施方式1的压力传感器的车辆用汽油发动机的示意图。图5是实施方式2的压力传感器的部分剖开的立体图。图6是表示实施方式2的压力传感器的另一例子的部分剖开的立体图。图7是实施方式3的压力传感器的剖视图。图8是实施方式4的压力传感器的剖视图。图9是实施方式5的压力传感器的剖视图。具体实施方式以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。此外，在用于说明实施方式的全部附图中，对具有同一功能的部件赋予同一标记并省略其重复说明。此外，在实施方式中，除了必要的时候，原则上不重复同一或同样的部分的说明。进一步地，在对实施方式进行说明的附图中，为了使结构简明易懂，存在剖视图省略剖面线的情况。(实施方式1)图1是本实施方式的压力传感器的立体图，图2是本实施方式的压力传感器的部分剖开的立体图，图3是本实施方式的压力传感器的剖视图。此外，图1～图3展示了压力传感器的前端(下端)至螺纹部，螺纹部之上的部分的图示省略。本实施方式的压力传感器1A包括：具有用于将压力传感器1A固定到车辆用发动机燃烧室的螺纹部2a的连接部2；固定在连接部2的一端的中空的液体密封容器3；固定在液体密封容器3前端(下端)的膜片4；固定在液体密封容器3另一端(上端)的压力检测元件5；密封于液体密封容器3内部的压力传导液6；设于液体密封容器3内部的散热杆7。连接部2与液体密封容器3以及连接部2与膜片4分别通过焊接等相互机械地连接。液体密封容器3优选由金属等导热性高的材料构成，例如使用高硬度且耐热性、耐腐蚀性、抗氧化性、抗蠕变性等高温特性优良的沉淀硬化不锈钢或铬镍铁合金。在图示的例子中，液体密封容器3的外部形状为圆筒形，但也可为椭圆筒形或方筒形等。此外，液体密封容器3的内部(中空部)的形状为圆筒形，但也可为椭圆形或多边形。作为被密封于液体密封容器3中的压力传导液6，例如使用氟油、硅油、离子液体等。压力传导液6通过设于液体密封容器3侧面的注入孔3a注入到液体密封容器3内部，然后用密封栓8将注入孔3a密封。作为压力传导液6的注液方法，例如使用真空注液法等。此外，密封栓8例如通过螺钉固定或焊接固定于注入孔3a。膜片4形成为具有从外部承受压力时不发生塑性变形的程度的机械强度的厚度(例如0.2～0.5mm)。膜片4在受压时弹性变形，随着其变形将压力传导至压力传导液6。膜片4优选由金属材料构成，例如使用高硬度且耐热性、耐腐蚀性、抗氧化性、抗蠕变性等高温特性优良的沉淀硬化不锈钢或铬镍铁合金。在液体密封容器3的上端部的外侧面的一部分上设有通过切削或放电加工等使局部薄壁化且平坦化的切口部3b，压力检测元件5被固定在该切口部3b。膜片4从外部受到的压力通过压力传导液6使切口部3b的薄壁区域变形。然后，通过压力检测元件5检测出与压力大小相应的薄壁区域的变形量，其信号通过与压力检测元件5连接的线路9输出到压力传感器1A外部。作为压力检测元件5，使用压阻式传感器、应变计等可将结构变化转换成电信号的元件。散热杆7一端(上端)被固定在液体密封容器3上端，并且另一端(下端)配置在液体密封容器3内部，不与膜片4接触。散热杆7例如可通过金属注塑成型而与液体密封容器3构成为一体，也可通过焊接、压入等机械地连接于液体密封容器3。散热杆7优选由金属或陶瓷等导热性高的材料构成，例如使用高硬度且耐热性、耐腐蚀性、抗氧化性、抗蠕变性等高温特性优良的沉淀硬化不锈钢、铬镍铁合金、氧化铝、氧化锆、氮化铝、氮化硅、碳化硅等。图示的例子中，散热杆7的形状为圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，具有：中空的液体密封容器；密封于所述液体密封容器的内部的压力传导液；膜片，其安装于所述液体密封容器，在受压时弹性变形而将压力传导至所述压力传导液；压力检测元件，其安装于所述液体密封容器，检测传导至所述压力传导液的所述压力并将其转换成电信号；和散热部件，其以分别与所述液体密封容器的内壁的一部分和所述压力传导液接触的方式安装于所述液体密封容器的内部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.27 JP 2016-1261791.一种压力传感器，其特征在于，具有：中空的液体密封容器；密封于所述液体密封容器的内部的压力传导液；膜片，其安装于所述液体密封容器，在受压时弹性变形而将压力传导至所述压力传导液；压力检测元件，其安装于所述液体密封容器，检测传导至所述压力传导液的所述压力并将其转换成电信号；和散热部件，其以分别与所述液体密封容器的内壁的一部分和所述压力传导液接触的方式安装于所述液体密封容器的内部。2.如权利要求1记载的压力传感器，其特征在于：所述散热部件的表面为凹凸面。3.如权利要求2记载的压力传感器，其特征在于：所述散热部件的表面设置有多个槽。4.如权利要求1记载的压力传感器，其特征在于：还具有第一散热用结构体，其包围所述散热部件，分别与所述液体密封容器的内壁的一部分和所述压力传导液接触。5.如权利要求4记载的压力传感器，其特征在于：所述第一散热用结构体由网格状或纤维状的薄板构成。6.如权利要求1记载的...

【专利技术属性】
技术研发人员：加贺祐介，三泽智也，森田耕策，小贯洋，
申请(专利权)人：日立汽车系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP