【技术实现步骤摘要】
一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法
本专利技术涉及半导体技术和光学工程领域，具体涉及一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法。
技术介绍
1956年，Uhlir对硅片在HF溶液中进行电化学抛光处理时发现了多孔硅的存在；1990年，Canham发现了多孔硅在室温下发出可见光，这个发现为多孔硅的研究开辟了新纪元，即室温下发光多孔硅研究阶段；多孔硅在室温下的发光展示了硅在光电子学、光学器件以及显示技术等方面广阔的应用前景。特别是1996年，Hirschman首次实现硅基光电集成原型器件是多孔硅应用研究的一个里程碑。多孔硅膜是一种海绵状的有着巨大比表面积的多孔材料。这种材料同时具有造价低廉、生物兼容性好并且能和现有集成电路工艺完全兼容。尽管多孔硅从20世纪90年代以来作为一种优质的传感器材料受到人们广泛的关注，但至今对使用多孔硅材料制备光学器件还较少，在光机电一体化研究方面尤其少见。微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统和微机械等。是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源、微能源、信号处理和控制电路、高性...
【技术保护点】
1.一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法，其特征在于，该方法是将常规作为电极的铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的两个相对称的球冠做成电极，在两个球冠电极之间放置硅片，且两个球冠电极的两个凸面均面对硅片，两个球冠电极底面均与硅片所在平面平行，硅片中心轴线、球冠电极的圆心与球冠电极的中心轴线重合，硅片离左、右两个球冠电极的距离相等，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；先采用恒流源对硅片进行电抛光而使硅片前后两面形成同样的凹形球表面；再将两个对称的球冠电极换成平行的板式电极，对硅片两面进行电化学腐蚀而形成多孔双凹透镜。
【技术特征摘要】
1.一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法，其特征在于，该方法是将常规作为电极的铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的两个相对称的球冠做成电极，在两个球冠电极之间放置硅片，且两个球冠电极的两个凸面均面对硅片，两个球冠电极底面均与硅片所在平面平行，硅片中心轴线、球冠电极的圆心与球冠电极的中心轴线重合，硅片离左、右两个球冠电极的距离相等，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；先采用恒流源对硅片进行电抛光而使硅片前后两面形成同样的凹形球表面；再将两个对称的球冠电极换成平行的板式电极，对硅片两面进行电化学腐蚀而形成多孔双凹透镜。2.根据权利要求1所述的纳米多孔硅双凹透镜的制备方法，其特征在于，上述电抛光的具体过程是：首先，使用大小相同的正、负且大于硅片常规抛光电流的大恒流腐蚀电流对硅片进行电抛光，一方面，在正常的大恒流腐蚀电流密度条件下，对硅片前后两个表面同时进行电抛光，由于使用的是大小相同的正、负恒腐蚀电流且是球冠形电极，以两个球冠电极...
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