【技术实现步骤摘要】
具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构、制备方法和操作方法
本专利技术涉及无标记生化分子检测
，特别涉及一种具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构、制备方法和操作方法。
技术介绍
基于等离子共振(SPR)技术的生化传感器在高精密生物分子检测中具有特殊优势。基于SPR技术的生物传感设备因为使用反射式测量，光路位于SPR芯片同一侧，对设备的小型化形成了障碍。最近，国际上出现了金膜纳米孔阵芯片结构，即在基底(一般为玻璃)上形成一层带有亚波长直径纳米孔阵的金膜。当光从芯片任意一侧入射时，在另一侧出射的光线会在某些特定波长处出现共振峰(称为超透射EOT)；如果金膜孔阵周围吸附的粒子量变化，则共振峰值波长会相应地发生偏移，偏移量与吸附量具有近似线性关系。利用此原理，因为入射和出射光分布在芯片两侧，且对光线角度要求不高，检测设备易于小型化，因此具有很好的前景。经过十多年的发展，金膜纳米孔阵结构主要还是单层的。基于单层金膜纳米孔阵的生物传感技术的检测性能指标，如折射率灵敏度和品质因数等正逐渐趋于稳定，提升空间有限。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决上述技术问题之一。为此，本专利技术的第一个...
【技术保护点】
1.一种具有纳米孔阵的法布里‑珀罗结构，其特征在于，包括：第一玻璃层；形成在所述第一玻璃层之上的第一金膜，所述第一金膜上设置有第一纳米孔阵；形成在所述第一金膜之上的第二金膜，所述第二金膜上设置有第一通孔和第二通孔；形成在所述第二金膜之上的第二玻璃层，所述第二玻璃层上设置有第三通孔和第四通孔，所述第一通孔和所述第三通孔连通，所述第二通孔和所述第四通孔连通；其中，在所述第一金膜和所述第二金膜之间具有腔体，在所述腔体的外侧所述第一金膜和所述第二金膜通过粘接剂粘合，所述第一纳米孔阵中至少的一部分孔阵设置在所述腔体下侧，所述第三通孔、所述第一通孔、所述腔体、所述第二通孔和所述第四通孔...
【技术特征摘要】
1.一种具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构，其特征在于，包括：第一玻璃层；形成在所述第一玻璃层之上的第一金膜，所述第一金膜上设置有第一纳米孔阵；形成在所述第一金膜之上的第二金膜，所述第二金膜上设置有第一通孔和第二通孔；形成在所述第二金膜之上的第二玻璃层，所述第二玻璃层上设置有第三通孔和第四通孔，所述第一通孔和所述第三通孔连通，所述第二通孔和所述第四通孔连通；其中，在所述第一金膜和所述第二金膜之间具有腔体，在所述腔体的外侧所述第一金膜和所述第二金膜通过粘接剂粘合，所述第一纳米孔阵中至少的一部分孔阵设置在所述腔体下侧，所述第三通孔、所述第一通孔、所述腔体、所述第二通孔和所述第四通孔连通，所述第一金膜和所述第二金膜构成法布里珀罗结构的第一反射面和第二反射面。2.根据权利要求1所述的具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构，其特征在于，在所述第二金膜上设置有第二纳米孔阵，所述第二纳米孔阵位于所述第三通孔和所述第四通孔之间。3.根据权利要求1所述的具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构，其特征在于，所述粘接剂为光刻胶。4.一种基于权利要求1-3任一项所述的具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构的操作方法，其特征在于，包括以下步骤：通过所述第三通孔和所述第一通孔向所述腔体内倒入被测液体；将所述第一金膜和所述第二金膜充当电极施加电场，以对所述被测液体中的粒子进行富集。5.根据权利要求4所述的处理方法，其特征在于，在对所述被测液体中的粒子进行富集的步骤之后，还包括：提供流体驱动装置和流体循环管路，其中，所述流体循环管路的一端依次通过所述第三通孔和所述第一通孔深入到所述腔体中，所述流体循环管路的另一端依次通过第四通孔和所述第二通孔深入到所述腔体中，所述流体驱动装置设置在所述流体循环管路上；检测所述被测液体在预设检测条件下峰值波长时，通过所述流体驱动装置控制所述被测液体在所述流体循环管路中流速，以消除热效应产生的检测误差。6.一种具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供第一玻璃层；在所述第一玻璃层之上形成第一金膜；在所述第一金膜上形成第一纳米孔阵；提供第二玻璃层；在所述第二玻璃层之上形成第一通孔...
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