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具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构、制备方法和操作方法技术
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下载具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构、制备方法和操作方法的技术资料
文档序号:19851602
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本发明公开了一种具有纳米孔阵的法布里‑珀罗结构、制备方法和处理方法,该结构包括:依次设置的第一玻璃层、第一金膜、第二金膜和第二玻璃层;其中,第一金膜上设置有第一纳米孔阵,第二金膜上设置有第一通孔和第二通孔,第二玻璃层上设置有第三通孔和第四通...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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