【技术实现步骤摘要】
一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置
本专利技术涉及电子显微学领域，具体涉及一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置。
技术介绍
在电子显微学中的一个重要课题是对带电体(通常选用电子)在电-磁复合场中的运动轨迹进行精确控制，其主要利用带电体在复合场中受到库仑力和洛伦兹力的作用，从而发生偏转，形成一定的运动轨迹，现有的带电体运动轨迹控制装置通常采用两块平行相对放置且施加了电压的电极板构成电场生成装置以及在电极板之间设置的磁场生成装置，这种带电体运动轨迹控制装置对距离电极板不同的带电体的偏转程度不同，造成带电体的角度发散，无法对带电体的飞行轨迹方向进行精确控制。
技术实现思路
本专利技术针对上述技术问题，提供一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置，包括用于产生电场的电场生成装置和用于产生与所述电场垂直的磁场的磁场生成装置；所述电场生成装置包括电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列和下电极板阵列；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并平行安装，所述上绝缘板的下面设置所述上...
【技术保护点】
1.一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置，其特征在于，包括用于产生电场的电场生成装置和用于产生与所述电场垂直的磁场的磁场生成装置；所述电场生成装置包括电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列和下电极板阵列；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并平行安装，所述上绝缘板的下面设置所述上电极板阵列，所述下绝缘板的上面设置所述下电极板阵列，所述上电极板阵列和下电极板阵列均包含相同数量的多块与带电体的入射方向垂直、并且等间距平行排列的电极板，所述上电极板阵列的每块电极板和下电极板阵列上的每块电极板上的电位分别为等差递增和等差递减，上电极板阵列上的每块电极板和与该...
【技术特征摘要】
1.一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置，其特征在于，包括用于产生电场的电场生成装置和用于产生与所述电场垂直的磁场的磁场生成装置；所述电场生成装置包括电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列和下电极板阵列；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并平行安装，所述上绝缘板的下面设置所述上电极板阵列，所述下绝缘板的上面设置所述下电极板阵列，所述上电极板阵列和下电极板阵列均包含相同数量的多块与带电体的入射方向垂直、并且等间距平行排列的电极板，所述上电极板阵列的每块电极板和下电极板阵列上的每块电极板上的电位分别为等差递增和等差递减，上电极板阵列上的每块电极板和与该电极板相对的下电极板阵列上的电极板的电位之和相等，所述磁场生成装置在所述上电极板阵列和下电极板阵列之间。2.根据权利要求1所述的基于复合场的带电体运动轨迹控制装置，其特征在于，所述磁场生成装置采用电磁铁。3....
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