一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法，所述检测装置包括：承载台；用于夹持待检测产品，以对待检测产品进行对位的对位夹具；用于将待检测产品吸附固定于承载台上的吸附单元；驱动单元，能够在与承载台的承载面垂直的竖直方向上，驱动对位夹具进行升降运动，在与承载台的承载面平行的水平方向上，驱动对位夹具平移至第一对位位置和第二对位位置；以及，控制单元，与驱动单元连接，用于控制驱动单元的工作状态，使驱动单元驱动对位夹具处于第一对位位置或第二对位位置，以使得待检测产品能够在水平方向上进行二次对位。本发明专利技术能够解决现有技术中彩膜修复设备存在修复盲区的问题，可实现提升对待检测产品的良率。

【技术实现步骤摘要】
一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法。
技术介绍
液晶显示面板在彩膜基板生产过程中，需要依次进行BM(黑矩阵)、R(红色彩膜)、G(绿色彩膜)、B(蓝色彩膜)、OC(平坦层)、PS(隔物垫)工艺，每段工艺在生产过程中都不可避免会产生微观缺陷，缺陷会降低产品良率，因此，在每段工艺后利用彩膜修复设备对微观不良进行修复可大幅提高产品良率。现有彩膜修复设备修复方式为：BM工艺完成后进行AutoLaser修复(透射光源下修复)，R、G、B、OC工艺完成后，进行AutoTape修复(反射光源下修复)，PS工艺完成后进行彩膜基板段所有不良判定(透、反射光源共同判定)。现有彩膜修复设备主要采用反射式透射光源的彩膜修复设备，即，设备的承载台采用铝合金材料上铺设玻璃板组成，外设反射光源，光源射出光线经过铝合金材料反射后被图像采集器捕捉，从而达到透射光效果。现有彩膜修复设备的取放片为机械手(Robot)取放片形式，并通过对位夹具将彩膜基板在承载台上进行一次对位(对位夹具的驱动气缸为一段式气缸)，然后进行修复。由于在承载台上分布有支撑杆(Pin)孔位、真空吸附孔(VCD)孔位、玻璃板固定及承载台平坦度调节螺孔等，对彩膜基板对位完成后，在承载台上开孔位置，反射式透射光源无法正常工作，因此存在透射修复及判断盲区，盲区面积占比为4.6％。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法，能够解决现有技术中彩膜修复设备存在修复盲区的问题，可实现提升对待检测产品的良率。本专利技术所提供的技术方案如下：一种检测装置，包括：用于承放待检测产品的承载台；用于夹持所述待检测产品，以对所述待检测产品进行对位的对位夹具；用于将所述待检测产品吸附固定于所述承载台上的吸附单元；用于驱动所述对位夹具移动的驱动单元，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面垂直的竖直方向上，驱动所述对位夹具进行升降运动，并且，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面平行的水平方向上，驱动所述对位夹具平移至第一对位位置和第二对位位置；以及，控制单元，与所述驱动单元连接，用于控制所述驱动单元的工作状态，使所述驱动单元驱动所述对位夹具处于所述第一对位位置或所述第二对位位置，以使得所述待检测产品能够在所述水平方向上进行二次对位。示例性的，所述承载台的承载面包括相对的第一侧和第二侧，所述对位夹具包括基准夹具和推动夹具，所述基准夹具设置于所述承载台的第一侧，所述推动夹具设置于所述承载台的第二侧；所述检测装置还包括：用于获取所述待检测产品的当前位置信息的位置感应部件，所述位置感应部件至少包括设置在所述承载台的承载面的所述第一侧边缘处的第一感应器、及设置在所述承载台的承载面的所述第二侧边缘处的第二感应器；及，用于向所述承载台的承载面上吹送气体，以使所述待检测产品浮起的气浮单元，所述气浮单元包括多个气体通道，所述多个气体通道从所述承载台的承载面的所述第一侧至所述第二侧依次排列；所述控制单元还与所述位置感应部件、所述吸附单元及所述气浮单元连接，用于接收所述位置感应部件所感应到的感应信息，以控制所述气浮单元、所述吸附单元及所述驱动单元的工作状态。示例性的，所述控制单元至少包括：参数确定模块，用于根据控制参数确定所述驱动单元的工作参数，所述驱动单元的工作参数包括所述对位夹具在所述竖直方向上的运动参数、所述对位夹具在所述水平方向上的第一对位位置参数、及所述对位夹具在所述水平方向上的第二对位位置参数，所述控制参数为用户输入的参数或预先存储的参数；接收模块，用于接收所述位置感应部件的感应信息，得到所述待检测产品的当前位置信息；信号产生模块，用于产生控制信号，所述控制信号包括根据所述待检测产品的当前位置信息所产生的控制信号、及根据所述驱动单元的工作参数所产生的控制信号，所述待检测产品的当前位置信息包括：所述待检测产品位于向所述第一侧所在一侧偏移的位置、所述待检测产品位于向所述第二侧所在一侧偏移的位置、或者所述待检测产品位于所述第一侧和所述第二侧之间的预定非偏移位置；气浮控制模块，用于根据所述控制信号，控制所述气浮单元的工作状态，所述气浮单元的工作状态包括：所述多个气体通道中的第一气体通道的通气量大于第二气体通道的通气量、所述第一气体通道的通气量小于所述第二气体通道的通气量、或者所述第一气体通道的通气量等于所述第二气体通道的通气量，其中，所述第一气体通道为位于所述承载台的承载面中心的靠近所述第一侧所在一侧的至少一个气体通道，所述第二气体通道为位于所述承载台的承载面中心的靠近所述第二侧所在一侧的至少一个气体通道；驱动控制模块，用于根据所述控制信号，控制所述驱动单元的工作状态，所述驱动单元的工作状态包括：驱动所述对位夹具上升、驱动所述对位夹具下降、驱动所述对位夹具平移至所述第一对位位置、或者驱动所述对位夹具平移至所述第二对位位置；吸附控制模块，用于根据所述控制信号，控制所述吸附单元开启或关闭。示例性的，所述驱动单元包括：与所述对位夹具及所述控制单元连接的驱动气缸，所述驱动气缸为二段式气缸；和/或，与所述对位夹具及所述控制单元连接的伺服电机。一种彩膜修复设备，用于对彩膜基板进行检测修复，其特征在于，所述彩膜修复设备包括如上所述的检测装置，所述待检测产品为彩膜基板。一种检测方法，应用于如上所述的检测装置，所述方法包括：将待检测产品放置于所述承载台上；控制所述对位夹具由初始待机位置上升；控制所述对位夹具夹持所述待检测产品平移至第一对位位置，对所述待检测产品进行第一次对位；开启所述吸附单元，吸附固定所述待检测产品，并控制所述对位夹具下降至所述初始待机位置，对所述待检测产品进行第一次检测；第一次检测完毕后，关闭所述吸附单元，并控制所述对位夹具由所述初始待机位置上升；控制所述对位夹具夹持所述待检测产品移动至第二对位位置，对所述待检测产品进行第二次对位；开启所述吸附单元，吸附固定所述待检测产品，并控制所述对位夹具下降至所述初始待机位置，对所述待检测产品进行第二次检测；第二次检测完毕后，关闭所述吸附单元。示例性的，所述控制所述对位夹具由初始待机位置上升之后，所述控制所述对位夹具夹持所述待检测产品平移至第一对位位置，对所述待检测产品进行第一次对位之前，所述方法还包括：控制所述气浮单元开启；通过所述位置感应部件检测所述待检测产品的当前位置信息；根据所述位置感应部件所检测到的当前位置信息，控制所述气浮单元的工作状态，以使得所述待检测产品在所述气浮单元的作用下进行第一次预对位。示例性的，所述根据所述位置感应部件所检测到的当前位置信息，控制所述气浮单元的工作状态，以使得所述待检测产品在所述气浮单元的作用下，进行第一次预对位，具体包括：当所述位置感应部件感应到所述待检测产品位于向所述第一侧所在一侧偏移的位置时，所述控制单元控制所述多个气体通道中的第一气体通道的通气量大于第二气体通道的通气量，以使所述待检测产品由所述第一侧向所述第二侧移动进行第一次预对位，直至所述位置感应部件感应到所述待检测产品位于向所述第一侧和所述第二侧之间的预定非偏移位置时，控制所述第一气体通道内的通气量与所述第二气体通道内的通气量相等；当所述位置感应部件感应到所述待检测产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置，包括：用于承放待检测产品的承载台；用于夹持所述待检测产品，以对所述待检测产品进行对位的对位夹具；用于将所述待检测产品吸附固定于所述承载台上的吸附单元；其特征在于，所述检测装置还包括：用于驱动所述对位夹具移动的驱动单元，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面垂直的竖直方向上，驱动所述对位夹具进行升降运动，并且，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面平行的水平方向上，驱动所述对位夹具平移至第一对位位置和第二对位位置；以及，控制单元，与所述驱动单元连接，用于控制所述驱动单元的工作状态，使所述驱动单元驱动所述对位夹具处于所述第一对位位置或所述第二对位位置，以使得所述待检测产品能够在所述水平方向上进行二次对位。

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，包括：用于承放待检测产品的承载台；用于夹持所述待检测产品，以对所述待检测产品进行对位的对位夹具；用于将所述待检测产品吸附固定于所述承载台上的吸附单元；其特征在于，所述检测装置还包括：用于驱动所述对位夹具移动的驱动单元，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面垂直的竖直方向上，驱动所述对位夹具进行升降运动，并且，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面平行的水平方向上，驱动所述对位夹具平移至第一对位位置和第二对位位置；以及，控制单元，与所述驱动单元连接，用于控制所述驱动单元的工作状态，使所述驱动单元驱动所述对位夹具处于所述第一对位位置或所述第二对位位置，以使得所述待检测产品能够在所述水平方向上进行二次对位。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述承载台的承载面包括相对的第一侧和第二侧，所述对位夹具包括基准夹具和推动夹具，所述基准夹具设置于所述承载台的第一侧，所述推动夹具设置于所述承载台的第二侧；所述检测装置还包括：用于获取所述待检测产品的当前位置信息的位置感应部件，所述位置感应部件至少包括设置在所述承载台的承载面的所述第一侧边缘处的第一感应器、及设置在所述承载台的承载面的所述第二侧边缘处的第二感应器；及，用于向所述承载台的承载面上吹送气体，以使所述待检测产品浮起的气浮单元，所述气浮单元包括多个气体通道，所述多个气体通道从所述承载台的承载面的所述第一侧至所述第二侧依次排列；所述控制单元还与所述位置感应部件、所述吸附单元及所述气浮单元连接，用于接收所述位置感应部件所感应到的感应信息，以控制所述气浮单元、所述吸附单元及所述驱动单元的工作状态。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述控制单元至少包括：参数确定模块，用于根据控制参数确定所述驱动单元的工作参数，所述驱动单元的工作参数包括所述对位夹具在所述竖直方向上的运动参数、所述对位夹具在所述水平方向上的第一对位位置参数、及所述对位夹具在所述水平方向上的第二对位位置参数，所述控制参数为用户输入的参数或预先存储的参数；接收模块，用于接收所述位置感应部件的感应信息，得到所述待检测产品的当前位置信息；信号产生模块，用于产生控制信号，所述控制信号包括根据所述待检测产品的当前位置信息所产生的控制信号、及根据所述驱动单元的工作参数所产生的控制信号，所述待检测产品的当前位置信息包括：所述待检测产品位于向所述第一侧所在一侧偏移的位置、所述待检测产品位于向所述第二侧所在一侧偏移的位置、或者所述待检测产品位于所述第一侧和所述第二侧之间的预定非偏移位置；气浮控制模块，用于根据所述控制信号，控制所述气浮单元的工作状态，所述气浮单元的工作状态包括：所述多个气体通道中的第一气体通道的通气量大于第二气体通道的通气量、所述第一气体通道的通气量小于所述第二气体通道的通气量、或者所述第一气体通道的通气量等于所述第二气体通道的通气量，其中，所述第一气体通道为位于所述承载台的承载面中心的靠近所述第一侧所在一侧的至少一个气体通道，所述第二气体通道为位于所述承载台的承载面中心的靠近所述第二侧所在一侧的至少一个气体通道；驱动控制模块，用于根据所述控制信号，控制所述驱动单元的工作状态，所述驱动单元的工作状态包括：驱动所述对位夹具上升、驱动所述对位夹具下降、驱动所述对位夹具平移至所述第一对位位置、或者驱动所述对位夹具平移至所述第二对位位置；吸附控制模块，用于根据所述控制信号，控制所述吸附单元开启或关闭。4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述驱动单元包括：与所述对位夹具及所述控制单元连接的驱动气缸，所述驱动气缸为二段式气缸；和/或，与所述对位夹具及所述控制单元连接的伺服电机。5.一种彩膜修复设备，用于对彩膜基板进行检测修复，其特征在于，所述彩膜修复设备包括如权利要求1至4任一项所述的检测装置，所述待检测产品为彩膜基板。6.一种检测方法，应用于如权利要求1至4任一项所述的检测装置，其特征在于，所述方法包括：将待检测产品放置于所述承载台上，控制所述对位夹具由初始待机位置上升；控制所述对位夹具夹持所述待检测产品平移至第一对位位置，对所述待检测产品进行第一次对位...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯孟，李志宾，李鹏，刘大勇，孙瑞雪，李磊，姜根，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11