一种高性能微焦点X射线测厚仪制造技术

本发明专利技术涉及高性能微焦点X射线测厚仪，包括发射X光射线的X光管、将X光管聚焦的毛细管组件，和将毛细管组件与X光管出X光口进行装配的安装支架；毛细管组件包括光纤管，光纤管内设置有竖直的主导光孔和围绕其设置的多个毛细导光孔；毛细导光孔包括与主导光孔平行的平行段，和与平行段连通的向主导光孔折弯的折弯段；通过安装支架将毛细管组件与X光管的出X光口进行装配，X光管发出的杂乱X光进入主导光孔和多个毛细导光孔内，进入毛细导光孔的X光经过平行段后在折弯段的导向下朝主导光孔方向汇聚，实现聚焦，使得光通量增益大大增加，在分析微小的样品点时，在保证分析精度的同时大大减少了分析时间，且结构十分简洁，装配方便，体积小。

【技术实现步骤摘要】
一种高性能微焦点X射线测厚仪
本专利技术涉及X射线测厚仪电镜
，更具体地说，涉及一种高性能微焦点X射线测厚仪。
技术介绍
X射线测厚仪是利用X射线穿透被测材料时，X射线的强度变化与材料的厚度相关的特性来检测材料厚度的一种非接触式计量仪器；X射线测厚仪在分析微小的样品点时，需要对其中X光管射出的X光线进行聚焦以获得较小的光斑和较高的亮度，目前常规的光学聚焦镜应用在此种情况下效果不理想。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种高性能微焦点X射线测厚仪。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种高性能微焦点X射线测厚仪，其中，包括发射X光射线的X光管、将所述X光管聚焦的毛细管组件，和将所述毛细管组件与所述X光管出X光口进行装配的安装支架；所述毛细管组件包括光纤管，所述光纤管内设置有竖直的主导光孔和围绕其设置的多个毛细导光孔；所述毛细导光孔包括与所述主导光孔平行的平行段，和与所述平行段连通的向所述主导光孔折弯的折弯段。本专利技术所述的高性能微焦点X射线测厚仪，其中，所述高性能微焦点X射线测厚仪还包括样品载料台，所述样品载料台上设置有放置样品本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，包括发射X光射线的X光管、将所述X光管聚焦的毛细管组件，和将所述毛细管组件与所述X光管出X光口进行装配的安装支架；所述毛细管组件包括光纤管，所述光纤管内设置有竖直的主导光孔和围绕其设置的多个毛细导光孔；所述毛细导光孔包括与所述主导光孔平行的平行段，和与所述平行段连通的向所述主导光孔折弯的折弯段。

【技术特征摘要】
1.一种高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，包括发射X光射线的X光管、将所述X光管聚焦的毛细管组件，和将所述毛细管组件与所述X光管出X光口进行装配的安装支架；所述毛细管组件包括光纤管，所述光纤管内设置有竖直的主导光孔和围绕其设置的多个毛细导光孔；所述毛细导光孔包括与所述主导光孔平行的平行段，和与所述平行段连通的向所述主导光孔折弯的折弯段。2.根据权利要求1所述的高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，所述高性能微焦点X射线测厚仪还包括样品载料台，所述样品载料台上设置有放置样品的放置板和调节所述放置板移动的XYZ移动平台。3.根据权利要求2所述的高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，所述高性能微焦点X射线测厚仪还包括主控板、为所述X光管提供电压的高压电源和控制所述XYZ移动平台的马达驱动组件；所述高压电源和所述马达驱动组件均与所述主控板电连接并受其控制。4.根据权利要求1所述的高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，所述安装支架包括安装所述毛细管组件的安装柱，和将所述安装柱与所述出X光口进行装配的调节套；所述安装柱内设置有与所述毛细管组件外形匹配的第一通孔，外侧表面上端设置有环形凸缘；所述调节套上设置有与所述出X光口配合的第一凹槽，所述第一凹槽内壁与所述出X口存在间隙；所述第一凹槽底部设置有与所述环形凸缘配合的第二凹槽，所述第二凹槽底部设置有与所述安装柱匹配的第二通孔；所述调节套上设置有调节所述安装柱水平位移的调节件。5.根据权利要求4所述的高性能微焦点X射线测厚仪，其特征在于，所述调节件包括四个中心距调节螺栓；所述第一凹槽内壁设置有四个与所述中心距调节螺栓一一对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：马银平，沈非，
申请(专利权)人：深圳市善时仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44