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本发明涉及高性能微焦点X射线测厚仪，包括发射X光射线的X光管、将X光管聚焦的毛细管组件，和将毛细管组件与X光管出X光口进行装配的安装支架；毛细管组件包括光纤管，光纤管内设置有竖直的主导光孔和围绕其设置的多个毛细导光孔；毛细导光孔包括与主导光...
该专利属于深圳市善时仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市善时仪器有限公司授权不得商用。

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