【技术实现步骤摘要】
一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜
本技术属于光学器件
，具体涉及一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜。
技术介绍
变形镜在自适应光学系统中作为波前校正器，通过实时改变自身镜面的形貌实现对光学系统中的波前畸变进行校正，其中在激光领域，水冷变形镜可以在激光器的腔内和腔外对激光器的像差进行校正，从而提高激光器的性能。然而在高能激光器中，由于激光强度非常高，即使变形镜镜面镀有99.9％的高反射膜，剩下的0.1％吸收率也将对变形镜产生不良影响，有可能使镜面额外变形而降低校正性能，甚至由于镜面温度过高而导致器件损坏。为解决这一问题，研究人员通过水冷方式对变形镜进行降温处理。但是由于致动器要放在镜面朝外的一侧，且中心位置为反射镜，不能放置致动器，导致水冷变形镜无法校正球差，然而在激光加工领域，球差的校正对激光焦点位置影响很大。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，目的在于提供一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜，可以用于强激光的光路校正。为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案为：一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜，其特征在于，包括驱动层、镜面层、水冷室和电磁致动单元，...
【技术保护点】
1.一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜，其特征在于，包括驱动层、镜面层、水冷室和电磁致动单元，所述驱动层为环形结构的压电片，压电片的两侧覆盖有电极层，所述驱动层粘接在镜面层的外侧构成压电变形镜本体，所述镜面层外侧中央无压电片覆盖的区域镀有高反射膜作为压电变形镜的工作区域，所述镜面层的内侧与水冷室粘结固定形成密封的腔体，腔体内通入冷却液，所述电磁致动单元包括金属片、线圈和铁芯，所述金属片附着在所述镜面层的内侧面、与工作区域的中心位置相对应的区域上，所述线圈和铁芯安放在腔体外水冷室的底部外侧面上。
【技术特征摘要】
1.一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜，其特征在于，包括驱动层、镜面层、水冷室和电磁致动单元，所述驱动层为环形结构的压电片，压电片的两侧覆盖有电极层，所述驱动层粘接在镜面层的外侧构成压电变形镜本体，所述镜面层外侧中央无压电片覆盖的区域镀有高反射膜作为压电变形镜的工作区域，所述镜面层的内侧与水冷室粘结固定形成密封的腔体，腔体内通入冷却液，所述电磁致动单元包括金属片、线圈和铁芯，所述金属片附着在所述镜面层的内侧面、与工作区域的中心位置相对应的区域上，所述线圈和铁芯安放在腔体外水冷室的底部外侧面上。2.根据权利要求1所述的具有复合致动水冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述电磁致动单元的个数为1个或数个。3.根据权利要求1所述的具有复合致动水冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述压电片与镜面层粘接的一侧所覆盖的电极层为与压电片相同形状的环形电极层，另一侧所覆盖的电极层为多环扇形阵列结构电极层。4.根据权利要求3所述的具...
【专利技术属性】
技术研发人员：李文来，马剑强，彭泰然，杨宗峰，李艳，喻奇志，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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