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一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜制造技术
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文档序号:19797030
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本实用新型属于光学器件技术领域,具体涉及一种具有复合致动水冷功能的压电变形镜。所述压电变形镜包括驱动层、镜面层、水冷室和电磁致动单元,所述驱动层为环形结构的压电层,压电层的两侧覆盖有电极层,所述驱动层粘接在镜面层外侧构成压电变形镜本体,所述...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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