尾气处理冷凝器以及尾气处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种尾气处理冷凝器以及尾气处理系统，其中前者包括处理腔室和多个过滤网，其中，处理腔室的侧壁上设置有冷却管路；处理腔室相对的两侧壁上分别预留有进气口和出气口；过滤网均通过安装口安装于处理腔室中，且相邻的过滤网的网眼相互错开。在尾气进入通用型过滤器之前，先使用尾气处理冷凝器将MOCVD的尾气进行处理，降低了通用型过滤器的滤芯消耗，有效的解决有毒物质沉积较多的问题，且可以将有毒沉积物进行收集，保证真空泵、真空阀门和真空规正常工作。由于尾气得到良好的处理，整个设备的损伤率降低，设备的维护周期也相应地缩短，增加了设备的产能。

【技术实现步骤摘要】
尾气处理冷凝器以及尾气处理系统
本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种尾气处理冷凝器以及尾气处理系统。
技术介绍
在半导体、太阳能、LED、平板显示和光纤行业快速发展的今天，MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金属有机化合物化学气相沉积)工艺使用范围越来越广泛，MOCVD工艺大部分都涉及到使用有毒材料、易燃易爆材料或腐蚀性原材料，有些物质分解后会在MOCVD的真空反应腔室内或真空排气管道内产生大量沉积，还有一些反应后的低熔点副产物也大量沉积。这些物质很容易沉积在阀门的缝隙、真空规的检验入口处或者真空泵内，造成真空管道堵塞、真空阀门开启失效或关闭不严、真空规读数误差、真空泵失效等，最终造成整个工艺产线停机的严重后果，从而影响工艺生产的正常进行。为了解决上述问题，业内多采用过滤器进行过滤，目前广泛使用于半导体行业的通用型过滤器工作原理见图1所示，MOCVD工艺反应的尾气从高温反应炉出来后通入通用型过滤器的进口管道1内，通用型过滤器外壳2内安装有4～6个耐高温的不锈钢滤芯4，不锈钢滤芯4通过压板9和滤芯安装板5密封固定到过滤腔前室3内。含有颗粒的尾气先经过过滤腔前室3，颗粒在过滤前室3内沉积，经沉积后的气体通过不锈钢滤芯4的滤材部分，进入滤芯的芯部8内，过滤后的气体再汇聚到过滤腔后室7内，然后再通过排出管道6排出。热屏蔽层10通过螺钉安装在过滤筒外壳2和滤芯之间，防止热气体直接接触过滤器外壳2，避免过热的外壳烫伤操作人员。上述通用型过滤器是目前国内市场上常见的过滤器，过滤精度可以选择不同精度的滤芯来实现。但通用型过滤器一般是仅有一级过滤精度，也就是说每次过滤仅能选用同一过滤精度的滤芯，从而保证所有的滤芯同时达到预计的使用寿命周期。要实现二级过滤，先进行粗过滤，然后再进行精过滤，需选用两个不同过滤精度的过滤器串联使用，操作比较困难，且成本比较高。另外，通用型过滤器没有冷却功能，冷却仅依靠过滤器的外壳散热，热屏蔽层10的设计使外壳散热更加困难。从原理上来讲通用型过滤器仅仅是一个过滤器而已，要想把易挥发的副产物尽量冷却、沉积和充分过滤，通常的做法是在通用型过滤器的入口之前连接通用型冷阱。通用型冷阱的工作原理见图2所示，高温尾气通过冷阱进气口12进入冷阱腔室14内，冷阱腔室14内有冷却盘管15，对进入冷阱腔室14内的气体进行冷却，冷却后的气体再由冷阱排气口16排出。冷却液体从冷却液体入口13进入，从冷却液体出口11流出，冷却液体可以是水或其他媒介。由于MOCVD工艺容易产生大量有毒灰尘和挥发废弃物，这些物质很容易造成排气管道、阀门、真空泵的堵塞或损坏，一般在真空泵的前面需要配置冷阱和多个单级的过滤器。在真空泵后仍然需要配置冷阱和两个或多个单级的过滤器，以免真空泵后的阀门和管道堵塞。这样的配置占地面积大、需要串联的设备多、管道的接口多、泄露风险大、设备投资大，而且这些设备的清洗非常麻烦，增加了操作人员与剧毒物质接触和吸入体内的机会。如果使用上述的通用做法，大量的粉尘会沉积在过滤器中，由于过滤器本身精度很高，大尺寸的粉尘堆积会很快堵塞滤芯，造成过滤器失效。更换滤芯操作十分复杂，费时费力，除了滤芯本身成本的因素，还会造成设备停机，减少设备有效工作时间，降低产能。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种尾气处理冷凝器以及尾气处理系统，以解决上述问题，降低滤芯的消耗速度，减少滤芯所需成本，尤其是废弃滤芯的处理成本，延长设备的维护周期，提高设备产能。本技术提供的尾气处理冷凝器，包括：处理腔室，所述处理腔室的侧壁上设置有冷却管路；所述处理腔室相对的两侧壁上分别预留有进气口和出气口；多个过滤网，所述过滤网安装于所述处理腔室中，且相邻的所述过滤网的网眼相互错开。如上所述的尾气处理冷凝器，其中，优选的是，所述进气口连接有进气管路，所述进气管路上设置有进气阀门；所述出气口连接有出气管路，所述出气管路上设置有出气阀门。如上所述的尾气处理冷凝器，其中，优选的是，还包括旁通管路，所述旁通管路的一端连接所述进气管路，另一端连接所述出气管路；且所述旁通管路的两端分别设置有旁通入口阀和旁通出口阀。如上所述的尾气处理冷凝器，其中，优选的是，与所述进气口所在侧壁相垂直的侧壁上设置有安装口，所述安装口上设置有可开闭或拆卸的遮挡件。如上所述的尾气处理冷凝器，其中，优选的是，所述遮挡件为插板阀，所述插板阀装配在所述安装口上。如上所述的尾气处理冷凝器，其中，优选的是，所述遮挡件为护板，所述护板密封安装在所述安装口上。如上所述的尾气处理冷凝器，其中，优选的是，多个所述过滤网等间距的分布于所述进气口和所述出气口之间。如上所述的尾气处理冷凝器，其中，优选的是，多个所述过滤网的网眼形状均为同一形状，相邻的所述过滤网的网眼的面积相同或相异。如上所述的尾气处理冷凝器，其中，优选的是，相邻的所述过滤网的网眼形状按照第一形状、第二形状、第一形状、第二形状的顺序交错设置。本技术还提供一种尾气处理系统，包括：冷阱，所述冷阱的入口与尾气的出口连接；本技术任一尾气处理冷凝器，所述尾气处理冷凝器的进气口与所述冷阱的出口连接；过滤器，所述过滤器的入口与所述尾气处理冷凝器的出气口连接。本技术提供的尾气处理冷凝器，包括处理腔室和多个过滤网，其中，处理腔室的侧壁上设置有冷却管路；处理腔室相对的两侧壁上分别预留有进气口和出气口；过滤网安装于处理腔室中，相邻的过滤网的网眼相互错开。在尾气进入通用型过滤器之前，先使用带有过滤网的尾气处理冷凝器将MOCVD的尾气进行处理，降低了通用型过滤器的滤芯的消耗，有效的解决有毒物质沉积较多的问题，且可以将有毒沉积物进行有效的收集，保证真空泵、真空阀门和真空规正常工作。由于尾气得到良好的处理，因此，整个设备的损伤率降低，因此设备的维护周期也相应地缩短，增加了设备的产能。附图说明图1为现有技术中的通用型过滤器的工作原理示意图；图2为现有技术中的通用冷阱的工作原理示意图；图3为本技术实施例提供的尾气处理冷凝器的结构示意图；图4为本技术实施例提供的尾气处理冷凝器的过滤网的结构示意图。附图标记说明：现有技术：1-进口管道2-外壳3-过虑腔前室4-不锈钢滤芯5-滤芯安装板6-排出管道7-过虑腔后室8-芯部9-压板10-热屏蔽层11-冷却液体出口12-冷阱进气口13-冷却液体入口14-冷阱腔室15-冷却盘管16-冷阱排气口本技术：100-处理腔室110-进气口120-出气口130-遮挡件140-进气管路150-进气阀门160-出气管路170-出气阀门200-过滤网300-旁通管路310-旁通入口阀320-旁通出口阀具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能解释为对本技术的限制。实施例1请参考图3和图4，本技术实施例提供的尾气处理冷凝器，包括处理腔室100和多个过滤网200。其中，处理腔室100的侧壁上设置有冷却管路；处理腔室100相对的两侧壁上分别预留有进气口110和出气口120；过滤网200安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尾气处理冷凝器，其特征在于，包括：处理腔室，所述处理腔室的侧壁上设置有冷却管路；所述处理腔室相对的两侧壁上分别预留有进气口和出气口；多个过滤网，所述过滤网安装于所述处理腔室中，相邻的所述过滤网的网眼相互错开。

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理冷凝器，其特征在于，包括：处理腔室，所述处理腔室的侧壁上设置有冷却管路；所述处理腔室相对的两侧壁上分别预留有进气口和出气口；多个过滤网，所述过滤网安装于所述处理腔室中，相邻的所述过滤网的网眼相互错开。2.根据权利要求1所述的尾气处理冷凝器，其特征在于，所述进气口连接有进气管路，所述进气管路上设置有进气阀门；所述出气口连接有出气管路，所述出气管路上设置有出气阀门。3.根据权利要求2所述的尾气处理冷凝器，其特征在于，还包括旁通管路，所述旁通管路的一端连接所述进气管路，另一端连接所述出气管路；且所述旁通管路的两端分别设置有旁通入口阀和旁通出口阀。4.根据权利要求1所述的尾气处理冷凝器，其特征在于，与所述进气口所在侧壁相垂直的侧壁上设置有安装口，所述安装口上设置有可开闭或拆卸的遮挡件。5.根据权利要求4所述的尾气处理冷凝器，其特征在于，所述遮挡件为...

【专利技术属性】
技术研发人员：管长乐，赵青松，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11