一种塑胶管材溅镀系统技术方案

本发明专利技术属于镀膜技术领域，具体的说是一种塑胶管材溅镀系统，包括溅镀箱、工件架、电机、靶材模块、加热器和自动清洗模块，电机固定在溅镀箱外部；工件架位于溅镀箱内部中央，工件架由电机驱动转动；靶材模块安装于溅镀箱内壁上，靶材模块可上下移动和横向移动靠近工件架；自动清洗模块用于在溅镀前对溅镀箱清洗；加热器位于溅镀箱内壁上端，加热器用于对清洗过后的溅镀箱进行烘干；本发明专利技术通过使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗，有利于提高整个塑胶管材溅镀过程的效率；通过电机驱动工件架转动使塑胶管材溅镀均匀，通过靶材模块上下移动或横向移动使塑胶管材溅镀均匀，提高塑胶管材溅镀质量。

【技术实现步骤摘要】
一种塑胶管材溅镀系统
本专利技术属于镀膜
，具体的说是一种塑胶管材溅镀系统。
技术介绍
溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10-3Torr左右，即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar)，并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放电(glowdischarge)产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上。但现有的塑胶管材溅镀装置，多数溅镀塑胶管材都存在缺陷，溅镀不均匀，整个溅镀过程效率低。专利文献1：一种溅镀装置，申请号2010106052656上述专利文献1中，通过添加多个第一料杆与第二料杆，来提高镀膜效率；并通过使多个第一料杆与多个第二料杆绕内圈与外圈的共同中轴线同时反向转动，使被镀工件的镀膜更均匀；但该溅镀装置的清洗较为麻烦，效率较低，同时，该溅镀装置因为有内圈和外圈，通过防止多个第一料杆在平行于顶板的方向上对多个第二料杆产生遮挡，使被镀工件的镀膜更均匀，只能是尽量均匀，但溅镀均匀有限。
技术实现思路
为了弥补现有技术的不足，本专利技术提出的一种塑胶管材溅镀系统，本专利技术的目的在于提高塑胶管材溅镀质效率以及溅镀质量。本专利技术通过使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗，电机驱动工件架转动搅拌使水充分清洗溅镀箱，提高溅镀箱的清洗效率，有利于提高整个塑胶管材溅镀过程的效率；通过电机驱动工件架转动使塑胶管材表面溅镀均匀性以及靶材模块上下移动或横向移动靠近工件架使塑胶管材溅镀均匀，提高塑胶管材溅镀质量。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种塑胶管材溅镀系统，包括溅镀箱、工件架、电机、靶材模块、加热器和自动清洗模块，所述溅镀箱的底端设置有出水管且出水管上设置有水阀；所述电机固定在溅镀箱外部；所述工件架位于溅镀箱内部中央，工件架由电机驱动转动；所述靶材模块安装于溅镀箱内壁上，靶材模块临近工件架，靶材模块可上下移动或横向移动靠近工件架；所述自动清洗模块的主体部分固定于溅镀箱外壁上，自动清洗模块用于在溅镀前对溅镀箱清洗；所述加热器位于溅镀箱内壁上端，加热器用于对清洗过后的溅镀箱进行烘干；其中，所述工件架包括主支撑架、铰接杆一、铰接杆二和铰接杆三，所述主支撑架与电机连接；所述铰接杆一与主支撑架上端铰接；所述铰接杆三与主支撑架下端铰接；所述铰接杆二的一端与铰接杆一铰接，铰接杆二的另一端与铰接杆三铰接，且铰接杆二的长度可伸缩，铰接杆二用于放置塑胶管材。工作时，首先启动塑胶管材溅镀系统，使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗，电机驱动工件架转动，充分搅拌溅镀箱内的水，使水充分清洗溅镀箱，有利于溅镀箱的箱内更加清洁，有利于塑胶管材溅镀，同时，通过自动清洗模块自动清洗溅镀箱，有利于提高塑胶管材整个溅镀过程的效率；在溅镀箱被清洗过后，将溅镀箱内的水通过出水管排出，开启加热器，使加热器将溅镀箱内水分蒸干，并将塑胶管材安装到铰接杆二上，随后将溅镀箱内空气和水汽抽走，使溅镀箱内保持真空状态后，向溅镀箱内充入氩气，并以塑胶管材为阳极进行通电，以靶材模块为阴极进行通电，对塑胶管材进行溅镀，通过电机驱动工件架转动有利于提高塑胶管材溅镀的效率以及提高塑胶管材溅镀层的均匀性。所述电机一旁侧设置有气囊一和挡板，所述挡板固定在溅镀箱外壁上；所述气囊一抵靠在挡板上，且气囊一临近主支撑架；所述电机与主支撑架之间设置有伸缩气缸，电机转动驱动主支撑架和伸缩气缸转动；所述伸缩气缸上设置有环形套，且环形套与溅镀箱内壁固连，伸缩气缸与环形套为转动连接；所述气囊一与伸缩气缸之间连通有气管一；所述气管一通过环形套与伸缩气缸连通；所述溅镀箱外部设置有凸轮；所述凸轮位于电机轴上，凸轮跟随电机转动，凸轮转动压缩气囊一使气囊一通过气管一向伸缩气缸输气，使伸缩气缸推动工件架上下移动。工作时，电机转动驱动凸轮转动，凸轮转动压缩气囊一，使气囊一间歇式向伸缩气缸输气，使伸缩气缸推动工件架向上移动，凸轮离开气囊一后，在工件架重力作用下，伸缩气缸内的气体又被压回气囊一内，因伸缩气缸的作用，使得工件架在带动塑胶管材转动的同时还上下运动，使得塑胶管材可更快更均匀的被溅镀。所述靶材模块包括滑块、靶材、推力气缸一和气囊二，所述滑块与溅镀箱内壁滑动连接；所述靶材安装于滑块上；所述推力气缸一固定于滑块下端，推力气缸一用于推动滑块使滑块与工件架同步上移，推力气缸一与气囊二之间通过设置的气管二连通；所述气囊二位于铰接杆一的上端，气囊二受铰接杆一压缩而向推力气缸一输气使推力气缸一工作。工作时，凸轮挤压气囊一，使伸缩气缸推动工件架上移，工件架上移使得铰接杆一压缩气囊二，使气囊二向推力气缸一输气，推力气缸一推动滑块上移，滑块带动靶材上移，在凸轮离开气囊一处后，工件架在自身重力作用下而下落，气囊二不受压，滑块在自身重力作用下而下落，滑块上的靶材同步跟随工件架下落，使得工件架上的塑胶管材被溅镀更加均匀。所述滑块与靶材之间设置有推力气缸二，推力气缸二固定在滑块上，推力气缸二用于推动靶材靠近工件架；所述铰接杆三的下端设置有气囊三；所述气囊三与推力气缸二之间通过设置的气管三连通，气囊三受铰接杆三压缩，气囊三向推力气缸二输气使推力气缸二推动靶材靠近工件架。工作时，在凸轮离开气囊一处后，工件架在自身重力作用下而下落，气囊二不受压，滑块在自身重力作用下而下落，滑块上的靶材同步跟随工件架下落；工件架在下落后开始压缩气囊三，气囊三内的气体被挤压进入推力气缸二中，推力气缸二推动靶材靠近工件架使得工件架上的塑胶管材更易被溅镀。所述自动清洗模块包括水箱、引气管、水管和喷水头，所述水箱固定在溅镀箱侧壁上；所述溅镀箱的内壁中设置有流道，所述喷水头固定在溅镀箱内壁顶端，喷水头与流道连通，喷水头用于向溅镀箱内喷水清洗溅镀箱；所述水管的一端连通流道，水管的另一端连通至水箱的箱底；所述引气管的一端与气囊二连通，引气管的另一端与水箱连通，且引气管上设置有电磁阀和单向阀；所述单向阀位于电磁阀与水箱之间；所述单向阀用于使气体只能由气囊三进入水箱内；所述电磁阀用于开启或关闭水管；所述水箱上设置有控制器；所述电磁阀受控制器控制。工作时，在电磁阀开启使水管通气时，电机转动，工件架下压气囊三使气囊三内的气体进入水箱中，对水箱内的水施压使水箱内的水通过水管和喷水头喷到溅镀箱内，溅镀箱内的工件架转动，使水清洗溅镀箱，将溅镀箱清洗干净，在溅镀箱清洗干净后，关闭电磁阀，终止喷水头喷水。所述铰接杆二包括杆四、复位弹簧和杆五，所述杆四的一端为铰接部，杆四另一端的曲面上设置有螺旋凸起，杆四设置有两个；所述杆五的两端均为空心状，杆五的内壁上设置有螺旋滑槽且螺旋槽与螺旋凸起相适配，杆五与杆四之间为螺旋转动配合；所述复位弹簧设置有两个，复位弹簧安装于杆五的端部，且复位弹簧位于杆五与杆四之间，复位弹簧用于杆四螺旋压入杆五内后螺旋复位。工作时，铰接杆一或铰接杆三受压，杆四被压入杆五内，铰接杆二长度减小，因杆四上设置有螺旋凸起，杆五上设置有螺旋滑槽，使得在两个杆四被压入杆五中后，杆五转动，塑胶管材跟随杆五转动，使得塑胶管材被溅镀均匀。所述铰接杆二、铰接杆三和铰接杆一在主支撑架上均至少布置有十个。塑胶管材布置在铰接杆二上，因铰接杆二布置至少有十个，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种塑胶管材溅镀系统，包括溅镀箱(1)、工件架(2)、电机(3)、靶材模块(4)、加热器(11)和自动清洗模块(5)，所述电机(3)固定在溅镀箱(1)外部，其特征在于：所述工件架(2)位于溅镀箱(1)内部中央，工件架(2)由电机(3)驱动转动；所述靶材模块(4)安装于溅镀箱(1)内壁上，靶材(42)临近工件架(2)，靶材模块(4)可上下移动或横向移动靠近工件架(2)；所述自动清洗模块(5)的主体部分固定于溅镀箱(1)外壁上，自动清洗模块(5)用于在溅镀前对溅镀箱(1)清洗；所述加热器(11)位于溅镀箱(1)内壁上端，加热器(11)用于对清洗过后的溅镀箱(1)进行烘干；其中，所述工件架(2)包括主支撑架(21)、铰接杆一(22)、铰接杆二(23)和铰接杆三(24)，所述主支撑架(21)与电机(3)连接；所述铰接杆一(22)与主支撑架(21)上端铰接；所述铰接杆三(24)与主支撑架(21)下端铰接；所述铰接杆二(23)的一端与铰接杆一(22)铰接，铰接杆二(23)的另一端与铰接杆三(24)铰接且铰接杆二(23)的长度可伸缩，铰接杆二(23)用于放置塑胶管材。

【技术特征摘要】
1.一种塑胶管材溅镀系统，包括溅镀箱(1)、工件架(2)、电机(3)、靶材模块(4)、加热器(11)和自动清洗模块(5)，所述电机(3)固定在溅镀箱(1)外部，其特征在于：所述工件架(2)位于溅镀箱(1)内部中央，工件架(2)由电机(3)驱动转动；所述靶材模块(4)安装于溅镀箱(1)内壁上，靶材(42)临近工件架(2)，靶材模块(4)可上下移动或横向移动靠近工件架(2)；所述自动清洗模块(5)的主体部分固定于溅镀箱(1)外壁上，自动清洗模块(5)用于在溅镀前对溅镀箱(1)清洗；所述加热器(11)位于溅镀箱(1)内壁上端，加热器(11)用于对清洗过后的溅镀箱(1)进行烘干；其中，所述工件架(2)包括主支撑架(21)、铰接杆一(22)、铰接杆二(23)和铰接杆三(24)，所述主支撑架(21)与电机(3)连接；所述铰接杆一(22)与主支撑架(21)上端铰接；所述铰接杆三(24)与主支撑架(21)下端铰接；所述铰接杆二(23)的一端与铰接杆一(22)铰接，铰接杆二(23)的另一端与铰接杆三(24)铰接且铰接杆二(23)的长度可伸缩，铰接杆二(23)用于放置塑胶管材。2.根据权利要求1所述的一种塑胶管材溅镀系统，其特征在于：所述电机(3)一旁侧设置有气囊一(31)和挡板，所述挡板固定在溅镀箱(1)外壁上；所述气囊一(31)抵靠在挡板上，且气囊一(31)临近主支撑架(21)；所述电机(3)与主支撑架(21)之间设置有伸缩气缸(32)，电机(3)转动驱动主支撑架(21)和伸缩气缸(32)转动；所述伸缩气缸(32)上设置有环形套(33)，且环形套(33)与溅镀箱(1)内壁固连，伸缩气缸(32)与环形套(33)为转动连接；所述气囊一(31)与伸缩气缸(32)之间连通有气管一(34)；所述气管一(34)通过环形套(33)与伸缩气缸(32)连通；所述溅镀箱(1)外部设置有凸轮(35)；所述凸轮(35)位于电机(3)轴上，凸轮(35)跟随电机(3)转动，凸轮(35)转动压缩气囊一(31)使气囊一(31)通过气管一(34)向伸缩气缸(32)输气，使伸缩气缸(32)推动工件架(2)上下移动。3.根据权利要求2所述的一种塑胶管材溅镀系统，其特征在于：所述靶材模块(4)包括滑块(41)、靶材(42)、推力气缸一(43)和气囊二(44)，所述滑块(41)与溅镀箱(1)内壁滑动连接；所述靶材(42)安装于滑块(41)上；所述推力气缸一(43)固定于滑块(41)下端，推力气缸一(43)用于推动滑块(41)使...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨胜，
申请(专利权)人：杨胜，
类型：发明
国别省市：浙江,33