The utility model relates to a sealing strip clamp plate for splicing the cavity body of a vacuum coating line. The sealing strip clamp plate is composed of a clamp body and a clamp handle. The clamp handle has an arc-shaped bending structure, and the upper end is fixed at one end of the clamp body. The inner surface of the clamp body is an arc structure, and a tiger mouth is formed between the lower end and the clamp body. The sealing strip clamp plate passes through the clamp body. The tiger mouth clamp is connected to the end plate of the vacuum coating line cavity. The utility model can effectively solve the problem of O-type rubber sealing ring falling off in the process of cavity splicing, guarantee the quality of cavity splicing and sealing performance, has simple structure, convenient use and low cost.
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板
本技术涉及镀膜生产线,具体涉及一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板。
技术介绍
真空镀膜生产线进行磁控溅射镀膜基础条件是获得真空环境,目前实际工业生产中获得真空环境主要是用泵组对一个密闭的腔体进行抽气,从而获得真空条件。由于膜系和电源功率等各方面的制约,真空镀膜生产线一般由多个靶位组成,就造成生产线长度比较长。目前比较流行的一种趋势是模块化安装,将整条生产线划分成多个不同功能的腔体,分别为进片锁室,进片缓冲室,进片过渡室,镀膜室,出片过渡室,出片缓冲室,出片锁室等七部分组成,每个部分分别进行组装,形成一个独立的系统,然后将所有腔体拼接到一起,每个腔体之间加O型橡胶密封圈,对腔体进行密封。由于O型橡胶密封圈比较长且与O型橡胶密封圈槽有一定间隙,腔体拼接过程中O型橡胶密封圈容易脱落,被腔体挤压造成O型橡胶密封圈变形、断裂等问题。
技术实现思路
本技术提供一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,用于解决腔体拼接过程中O型橡胶密封圈脱落问题,有效保障腔体拼接质量和密封性能。为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,所述密封条卡板由卡板本体和卡柄构成,所述卡柄呈弧形弯曲状结构,其上端固定于卡板本体的一端部,其内侧面成弧形结构,其下端与卡板本体之间形成虎口,所述密封条卡板通过所述虎口卡接于真空镀膜线腔体的端板上。所述卡柄呈倒置的S型结构。所述卡板本体与卡柄为一体式结构。所述卡板本体和卡柄皆由不锈钢材料制成。上述技术方案中的有关内容解释如下:1、上述方案中,所述卡板本体的表面光滑,无毛刺,实际使用时拉动过程中不 ...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,其特征在于:所述密封条卡板由卡板本体(4)和卡柄(3)构成,所述卡柄(3)呈弧形弯曲状结构,其上端固定于卡板本体(4)的一端部,其内侧面成弧形结构,其下端与卡板本体(4)之间形成虎口,所述密封条卡板通过所述虎口卡接于真空镀膜线腔体的端板(6)上。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,其特征在于:所述密封条卡板由卡板本体(4)和卡柄(3)构成,所述卡柄(3)呈弧形弯曲状结构,其上端固定于卡板本体(4)的一端部,其内侧面成弧形结构,其下端与卡板本体(4)之间形成虎口,所述密封条卡板通过所述虎口卡接于真空镀膜线腔体的端板(6)上。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:臧晓良,李险峰,张山山,罗雨潇,刘云南,邱宏,
申请(专利权)人:中建材光电装备太仓有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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