一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板制造技术

技术编号:19652233 阅读:49 留言:0更新日期:2018-12-05 22:37
一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,所述密封条卡板由卡板本体和卡柄构成,所述卡柄呈弧形弯曲状结构,其上端固定于卡板本体的一端部,其内侧面成弧形结构,其下端与卡板本体之间形成虎口,所述密封条卡板通过所述虎口卡接于真空镀膜线腔体的端板上。本实用新型专利技术能够有效解决腔体拼接过程中O型橡胶密封圈脱落问题,保障腔体拼接质量和密封性能,结构简单,使用方便,成本低。

A Sealing Strip Clamp for Vacuum Coating Line Cavity Splicing

The utility model relates to a sealing strip clamp plate for splicing the cavity body of a vacuum coating line. The sealing strip clamp plate is composed of a clamp body and a clamp handle. The clamp handle has an arc-shaped bending structure, and the upper end is fixed at one end of the clamp body. The inner surface of the clamp body is an arc structure, and a tiger mouth is formed between the lower end and the clamp body. The sealing strip clamp plate passes through the clamp body. The tiger mouth clamp is connected to the end plate of the vacuum coating line cavity. The utility model can effectively solve the problem of O-type rubber sealing ring falling off in the process of cavity splicing, guarantee the quality of cavity splicing and sealing performance, has simple structure, convenient use and low cost.

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板
本技术涉及镀膜生产线,具体涉及一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板。
技术介绍
真空镀膜生产线进行磁控溅射镀膜基础条件是获得真空环境,目前实际工业生产中获得真空环境主要是用泵组对一个密闭的腔体进行抽气,从而获得真空条件。由于膜系和电源功率等各方面的制约,真空镀膜生产线一般由多个靶位组成,就造成生产线长度比较长。目前比较流行的一种趋势是模块化安装,将整条生产线划分成多个不同功能的腔体,分别为进片锁室,进片缓冲室,进片过渡室,镀膜室,出片过渡室,出片缓冲室,出片锁室等七部分组成,每个部分分别进行组装,形成一个独立的系统,然后将所有腔体拼接到一起,每个腔体之间加O型橡胶密封圈,对腔体进行密封。由于O型橡胶密封圈比较长且与O型橡胶密封圈槽有一定间隙,腔体拼接过程中O型橡胶密封圈容易脱落,被腔体挤压造成O型橡胶密封圈变形、断裂等问题。
技术实现思路
本技术提供一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,用于解决腔体拼接过程中O型橡胶密封圈脱落问题,有效保障腔体拼接质量和密封性能。为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,所述密封条卡板由卡板本体和卡柄构成,所述卡柄呈弧形弯曲状结构,其上端固定于卡板本体的一端部,其内侧面成弧形结构,其下端与卡板本体之间形成虎口,所述密封条卡板通过所述虎口卡接于真空镀膜线腔体的端板上。所述卡柄呈倒置的S型结构。所述卡板本体与卡柄为一体式结构。所述卡板本体和卡柄皆由不锈钢材料制成。上述技术方案中的有关内容解释如下:1、上述方案中,所述卡板本体的表面光滑,无毛刺,实际使用时拉动过程中不会伤害O型橡胶密封圈;2、上述方案中,所述卡柄的下端与卡板本体之间形成的虎口,有一定的弹性伸缩能力,用于固定密封条卡板。由于上述技术方案运用,本技术与现有技术相比具有下列优点:本技术能够有效解决腔体拼接过程中O型橡胶密封圈脱落问题,保障腔体拼接质量和密封性能,结构简单,使用方便,成本低。附图说明附图1为;本技术具体实施例的结构示意图。附图2为;图1中A-A面的结构示意图。以上附图中:1、第一腔体;2、O型橡胶密封圈;3、卡柄;4、卡板本体;5、狭缝;6、端板;7、第二腔体。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述:实施例:参见附图1和附图2,一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,所述密封条卡板由卡板本体4和卡柄3构成,为一体式结构,并由一张不锈钢板制作而成,所述卡柄3呈倒置的S型结构,其上端固定于卡板本体4的一端部,其内侧面成弧形结构,其下端与卡板本体4之间形成虎口,所述密封条卡板通过所述虎口卡接于真空镀膜线腔体的端板6上。具体,所述卡板本体4表面光滑、无毛刺,其长度为1000mm,宽度为90mm,厚度为1mm;所述卡柄3的宽度为90mm,厚度为1mm。本实施例使用安装过程如下:1.第一腔体1移动就位后焊接固定;2.将O型橡胶密封圈2表面涂薄薄一层真空脂,沿设于第一腔体1上的密封圈槽内部放置;3.用4个密封条卡板依次间隔放置挡住O型橡胶密封圈2,并分别通过卡柄3与卡板本体4之间形成的虎口卡在第一腔体1的端板6上将其固定;4、向第一腔体1方向移动第二腔体7,待第一腔体1与第二腔体7两者端板6之间的距离小于3mm时,将密封条卡板向上抽出,继续移动第二腔体7至第一腔体1和第二腔体7完全贴合;5.锁紧第一腔体1和第二腔体7两者端板6上面的螺栓,即完成腔体的拼接工作,此时第一腔体1和第二腔体7即形成一个密闭的空间;6.第一腔体1和第二腔体7通过狭缝5连通,该狭缝5为镀膜过程中玻璃传输的通道。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施,并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,其特征在于:所述密封条卡板由卡板本体(4)和卡柄(3)构成,所述卡柄(3)呈弧形弯曲状结构,其上端固定于卡板本体(4)的一端部,其内侧面成弧形结构,其下端与卡板本体(4)之间形成虎口,所述密封条卡板通过所述虎口卡接于真空镀膜线腔体的端板(6)上。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜线腔体拼接用密封条卡板,其特征在于:所述密封条卡板由卡板本体(4)和卡柄(3)构成,所述卡柄(3)呈弧形弯曲状结构,其上端固定于卡板本体(4)的一端部,其内侧面成弧形结构,其下端与卡板本体(4)之间形成虎口,所述密封条卡板通过所述虎口卡接于真空镀膜线腔体的端板(6)上。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:臧晓良李险峰张山山罗雨潇刘云南邱宏
申请(专利权)人:中建材光电装备太仓有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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