一种电增强氢钝化设备制造技术

本实用新型专利技术公开了太阳能电池片制造装备领域内的一种电增强氢钝化设备，包括机架，所述机架上并列设置有若干个单炉，所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区，所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件，所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板，工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件，上电极组件和下电极组件互相对应设置，所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。本实用新型专利技术能够有效降低碎片率和坏片率；注入连续，可缩短整体注入时间；各单炉的工位独立工作，互不影响；工艺腔的温度控制更稳定，电流注入连续，电池提效的效果好。

An Electrically Enhanced Hydrogen Passivation Equipment

The utility model discloses an electrically enhanced hydrogen passivation device in the field of solar cell sheet manufacturing equipment, including a rack. The rack is arranged in parallel with several single furnaces. The single furnace is successively provided with a waiting area, a process chamber and a cooling area, and a transmission group is corresponding below the waiting area, a process chamber and a cooling area. The left and right sides of the process chamber are provided with lifting gates. The process chamber is equipped with movable upper and lower electrode assemblies. The upper electrode assemblies and the lower electrode assemblies are correspondingly arranged. The process chamber and the cooling zone are equipped with cooling assemblies. The utility model can effectively reduce the rate of debris and the rate of bad debris; the continuous injection can shorten the whole injection time; the working positions of each single furnace work independently without affecting each other; the temperature control of the process chamber is more stable, the current injection is continuous, and the effect of improving the efficiency of the battery is good.

【技术实现步骤摘要】
一种电增强氢钝化设备
本技术属于太阳能电池片制造装备领域，特别涉及一种电增强氢钝化设备。
技术介绍
目前，商用晶体硅太阳能电池所采用的硅晶体中通常含有大量的杂质和结构缺陷。这些杂质和缺陷包括：硼与氧形成的复合体、过渡金属杂质、位错、晶界等。它们作为光生载流子的复合中心使电池基体中的少数载流子寿命下降，从而使太阳能电池的转换效率相应地降低。实验表明氢原子在硅晶体中能够与其中多数的杂质和缺陷反应，钝化这些复合中心使其复合活性降低，从而改善太阳能电池的电学性能。太阳能电池中的氢可来源于电池表面沉积的富含氢的氮化硅薄膜或者其他富含氢的薄膜、氢等离子体气氛等。然而经过常规的太阳能电池制造流程，只有极少量的氢原子进入电池基体内部对杂质和缺陷起到钝化作用。所以通过充分发挥氢的钝化作用可以进一步发掘太阳能电池转换效率的提升空间。现有技术中，将电池片送入氢钝化炉内，电池片依次通过氢钝化炉的多个连续设置的工艺腔，各工艺腔对电池片逐一进行工艺处理，为释放产能往往需要多个工艺腔进行相同参数的连续处理。其不足之处在于：1、电池片每一腔都需要进行一次注入、需要一次机械接触，碎片率、坏片率高；2、当某一零部件故障需要维修时，需要整机停产，对产能有很大影响；3、电池片在工艺腔转换的过程中不可避免的出现温度波动，以及电注入的不连续，对电池提效的效果有影响。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种电增强氢钝化设备，能够有效降低碎片率和坏片率；注入连续，可缩短整体注入时间；各单炉的工位独立工作，互不影响；工艺腔的温度控制更稳定，电流注入连续，电池提效的效果好。本技术的目的是这样实现的：一种电增强氢钝化设备，包括机架，所述机架上并列设置有若干个单炉，所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区，所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件，所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板，工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件，上电极组件和下电极组件互相对应设置，所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。本技术工作时，电池片层叠在待料区上料，在传动组件的带动下，料盒移动到工艺腔，闸板关闭形成独立的腔室，上电极板下压与电池片上部接触，下电极板上顶与电池片下部接触，上下电极导通后，对电池片通电施加电场，利用冷却组件控制工艺腔的温度，持续通电50~60分钟后，传动组件带动电池片进入冷却区，冷却组件工作，直至电池片冷却至室温，处理完成。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：1、各单炉独立工作，对电池片持续通电，无炉腔更换，使通电更连续、工艺温度更加平稳，电池提效的效果好；2、单腔组合的方式实现预计产能，各工艺腔独立控制，互不影响，实现不停机维修，故障对产能影响小；3、每组料只需要一次机械接触，降低碎片率和坏片率。作为本技术的进一步改进，所述单炉包括左右对应设置的两侧板，所述传动组件包括通过轴承座设置在单炉下方的主传动轴，主传动轴的两端均设有主同步带轮，主同步带轮经同步带与副同步带轮传动连接，两副同步带轮分别安装在一拖动滚轮轴上，拖动滚轮轴的另一端穿过对应侧板并伸入单炉内，拖动滚轮轴的伸入端连接有拖动滚轮，单炉底部依次间隔设置有若干从动滚轮，所述主传动轴经同步带轮组与减速电机传动连接。减速电机带动主传动轴转动，主传动轴经主同步带轮带动副同步带轮转动，拖动滚轮轴转动，拖动滚轮转动，带动料盒移动，电池片实现进入工艺腔和冷却区。作为本技术的进一步改进，所述上电极组件包括上电极板，上电极板固定在上电极绝缘板上，上电极绝缘板上设有散热件，上电极绝缘板上连接有至少2根竖直的上电极导杆，上电极导杆经上电极连接件与上电极气缸的活塞杆相连，上电极气缸固定在侧板上，所述侧板上对应上电极连接件设有上电极导轨。上电极气缸通过上电极连接件和上电极导杆，带动上电极板移动。作为本技术的进一步改进，所述下电极组件包括下电极板，下电极板固定在下电极绝缘板上，下电极绝缘板上设有散热件，下电极绝缘板上连接有至少2根竖直的下电极导杆，下电极导杆向下穿过单炉的底板，下电极导杆的下端经下电极连接件与下电极气缸的活塞杆相连。下电极气缸通过下电极连接件、下电极导杆带动下电极板移动。作为本技术的优选，所述冷却组件为吹气冷却组件。为了更精确地控制工艺腔内的加热温度，所述单炉上设有检测工艺腔内温度的温度传感器。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为图1的侧视图。图3为单炉的结构示意图。图4为图3中的AA向剖视图。图5为传动组件的结构示意图。图6为上电极组件的结构示意图。图7为下电极组件的结构示意图。其中，1机架，2单炉，3待料区，4工艺腔，5冷却区，6闸板，7上电极组件，8下电极组件，9冷却组件，10侧板，11轴承座，12主传动轴，13主同步带轮，14同步带，15副同步带轮，16拖动滚轮轴，17拖动滚轮，18从动滚轮，19同步带轮组，20减速电机，21上电极板，22上电极绝缘板，23散热件，24上电极导杆，25上电极连接件，26上电极气缸，27电源，28上电极导轨，29下电极板，30下电极绝缘板，31散热件，32下电极导杆，33底板，34下电极连接件，35下电极气缸，36温度传感器，37电柜箱。具体实施方式如图1-7所示，为一种电增强氢钝化设备，包括机架1，机架1上并列设置有若干个单炉2，单炉2下方设有电柜箱37和电源27；单炉2内依次设置有待料区3、工艺腔4和冷却区5，单炉2上设有检测工艺腔4内温度的温度传感器36；待料区3、工艺腔4和冷却区5的下方对应设有传动组件，工艺腔4的左右两侧均设有可升降的闸板6，工艺腔4内设有可上下移动的上电极组件7和下电极组件8，上电极组件7和下电极组件8互相对应设置，工艺腔4和冷却区5内均设有冷却组件9。冷却组件9为吹气冷却组件。单炉2包括左右对应设置的两侧板10，所述传动组件包括通过轴承座11设置在单炉2下方的主传动轴12，主传动轴12的两端均设有主同步带轮13，主同步带轮13经同步带14与副同步带轮15传动连接，两副同步带轮15分别安装在一拖动滚轮轴16上，拖动滚轮轴16的另一端穿过对应侧板10并伸入单炉2内，拖动滚轮轴16的伸入端连接有拖动滚轮17，单炉2底部依次间隔设置有若干从动滚轮18，主传动轴12经同步带轮组19与减速电机20传动连接。上电极组件7包括上电极板21，上电极板21固定在上电极绝缘板22上，上电极绝缘板22上设有散热件23，上电极绝缘板22上连接有至少2根竖直的上电极导杆24，上电极导杆24经上电极连接件25与上电极气缸26的活塞杆相连，上电极气缸26固定在侧板10上，侧板10上对应上电极连接件25设有上电极导轨28。下电极组件8包括下电极板29，下电极板29固定在下电极绝缘板30上，下电极绝缘板30上设有散热件31，下电极绝缘板30上连接有至少2根竖直的下电极导杆32，下电极导杆32向下穿过单炉的底板33，下电极导杆32的下端经下电极连接件34与下电极气缸35的活塞杆相连。本装置工作时，电池片层叠在待料区3上料，减速电机20带动主传动轴12转动，主传动轴12经主同步带轮13带动副同步带轮15转动，拖动滚轮轴16转动，拖动滚轮17转动，带动料盒移动到工艺腔4，闸板6关闭形成独立的腔室，上电极气缸26本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电增强氢钝化设备，包括机架，其特征在于，所述机架上并列设置有若干个单炉，所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区，所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件，所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板，工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件，上电极组件和下电极组件互相对应设置，所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。

【技术特征摘要】
1.一种电增强氢钝化设备，包括机架，其特征在于，所述机架上并列设置有若干个单炉，所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区，所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件，所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板，工艺腔内设有可上下移动的上电极组件和下电极组件，上电极组件和下电极组件互相对应设置，所述工艺腔和冷却区内均设有冷却组件。2.根据权利要求1所述的一种电增强氢钝化设备，其特征在于，所述单炉包括左右对应设置的两侧板，所述传动组件包括通过轴承座设置在单炉下方的主传动轴，主传动轴的两端均设有主同步带轮，主同步带轮经同步带与副同步带轮传动连接，两副同步带轮分别安装在一拖动滚轮轴上，拖动滚轮轴的另一端穿过对应侧板并伸入单炉内，拖动滚轮轴的伸入端连接有拖动滚轮，单炉底部依次间隔设置有若干从动滚轮，所述主传动轴经同步带轮组与减速电机传动连接。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐小兵，徐小军，李大海，
申请(专利权)人：无锡秉杰机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32