下载一种电增强氢钝化设备的技术资料

文档序号:19620527

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本实用新型公开了太阳能电池片制造装备领域内的一种电增强氢钝化设备,包括机架,所述机架上并列设置有若干个单炉,所述单炉内依次设置有待料区、工艺腔和冷却区,所述待料区、工艺腔和冷却区的下方对应设有传动组件,所述工艺腔的左右两侧均设有可升降的闸板...
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