一种阵列基板、显示面板及其制造方法、显示器及电子装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种阵列基板、包含该阵列基板的显示面板及其制造方法、显示器及电子装置，以一道光罩形成所述第一接触孔及所述第二接触孔，节省了制程中的光罩数量并简化了制程。此外，在本发明专利技术中，去除了所述阵列基板中所述无机绝缘层(包括缓冲层、第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层及层间绝缘层)中所有不起到绝缘作用的部分，从而有效地防止了所述显示面板在折叠时发生的无机物碎裂。

【技术实现步骤摘要】
一种阵列基板、显示面板及其制造方法、显示器及电子装置
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种阵列基板、显示面板及其制造方法、显示器及电子装置。
技术介绍
近年来，有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示面板成为国内外非常热门的新兴平面显示装置产品，这是因为OLED显示装置具有自发光、广视角、短反应时间、高发光效率、广色域、低工作电压、薄厚度、可制作大尺寸与可挠曲的面板及制程简单等特性，而且它还具有低成本的潜力。现有柔性OLED中，无机绝缘层(例如第一栅绝缘层、第二栅绝缘层、层间绝缘层)一般全面覆盖柔性衬底，因而在显示面板进行折叠时易发生无机物碎裂，而导致器件失效。因此，有必要提供一种新的阵列基板及应用该阵列基板的显示面板、显示面板的制造方法、显示器及电子装置，以克服上述缺陷。
技术实现思路
在本专利技术的阵列基板中，去除了所述无机绝缘层(包括缓冲层、第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层及层间绝缘层)中所有不起到绝缘作用的部分而仅保留起到绝缘作用的必要部分，从而有效地防止了所述显示面板在折叠时发生的无机物碎裂，增加柔性显示面板的柔软性。为了达到上述目的，本专利技术首先提供一种阵列基板，所述阵列基板包括一第一区和一第二区。所述阵列基板包括：一柔性衬底；设于所述柔性衬底之上的第一层，所述第一层位于所述第一区上；设于所述柔性衬底之上的第二层，所述第二层位于所述第一区上；以及，设于所述第一层和所述第二层之间的无机绝缘层；其中，所述无机绝缘层位于所述第一区上，而不位于所述第二区上。在本专利技术一实施例中，所述阵列基板还包括一有机介质层，所述有机介质层包括位于所述第二区的第一部分。在本专利技术一实施例中，所述有机介质层还包括位于所述无机绝缘层上的第二部分。在本专利技术一实施例中，所述第一层与所述第二层之中有一层是一金属层。在本专利技术一实施例中，所述第一层包括一有源层，所述第二层包括一第一栅极，所述无机绝缘层包括设于所述有源层和所述第一栅极的第一栅极绝缘层。在本专利技术一实施例中，所述第一层还包括第二栅极，所述无机绝缘层还包括设于所述第一栅极和所述第二栅极之间的第二栅极绝缘层。在本专利技术一实施例中，所述第二层还包括源/漏极，所述源/漏极穿过所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层并连接于所述有源层，所述无机绝缘层还包括设于所述第二栅极和所述源/漏极之间的层间绝缘层，所述有机介质层的第二部分位于所述源/漏极与所述层间绝缘层之间。在本专利技术一实施例中，所述第二区包括对应于一显示面板的非显示区的弯曲部分，所述第一区包括对应于所述显示面板的显示区并邻近所述弯曲部分的功能部分，所述阵列基板上设有邻近所述弯曲部分和所述显示部分的交界处的凹槽，所述凹槽贯穿所述有机介质层并暴露所述第一栅极绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述层间绝缘层。在本专利技术一实施例中，所述阵列基板还包括位于所述柔性衬底与所述有源层之间的缓冲层，所述源/漏极贯穿所述有源层和所述缓冲层。在本专利技术一实施例中，所述阵列基板包括对应于一显示面板的显示区的功能区，所述功能区包括所述第一区和所述第二区。本专利技术还提供一种显示面板的制造方法，所述显示面板包括上述的阵列基板。所述阵列基板包括一第一区和一第二区，所述制造方法包括：S1:提供一柔性衬底；设于所述柔性衬底之上的第一层，所述第一层位于所述第一区上；设于所述柔性衬底之上的第二层，所述第二层位于所述第一区上；以及，S2：在所述柔性衬底上形成一有源层，所述有源层位于所述第一区上；S3：在所述有源层上形成一第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层位于所述第一区上而不位于所述第二区上；S4：在所述第一栅极绝缘层上形成一第一栅极，所述第一栅极位于所述第一区上；S5：在所述第一栅极上形成一第二栅极绝缘层，所述第二栅极绝缘层位于所述第一区上而不位于所述第二区上；S6：在所述第二栅极绝缘层上形成一第二栅极，所述第二栅极位于所述第一区上；S7：在所述第二栅极上形成一层间绝缘层，所述层间绝缘层位于所述第一区上而不位于所述第二区上；S8：在所述层间绝缘层上形成一有机介质层，所述有机介质层包括位于所述第二区的第一部分和位于所述层间绝缘层上的第二部分；以及，S9：在所述有机介质层上形成源/漏极，所述源/漏极穿过所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层并连接于所述有源层，并且，所述源/漏极位于所述有机介质层的第二部分之上；其中，所述第二区包括对应于一显示面板的非显示区的弯曲部分，所述第一区包括对应于所述显示面板的显示区并邻近所述弯曲部分的功能部分，所述阵列基板上设有邻近所述弯曲部分和所述显示部分的交界处的凹槽，所述凹槽贯穿所述有机介质层并暴露所述第一栅极绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述层间绝缘层。本专利技术还提供一种显示面板，所述显示面板包括一第一区和一第二区，所述显示面板包括：一柔性衬底；设于所述柔性衬底之上的第一层，所述第一层位于所述第一区上；设于所述柔性衬底之上的第二层，所述第二层位于所述第一区上；以及，设于所述第一层和所述第二层之间的无机绝缘层；其中，所述无机绝缘层位于所述第一区上，而不位于所述第二区上。本专利技术还提供一种显示面板，所述显示面板包括上述的阵列基板，或者，由上述制造方法制造。所述显示面板包括但不限于OLED、QLED、LED、MicroLED等。为便于说明，本说明书中以OLED为例进行详细说明。本领域技术人员应当理解的是，本专利技术所述的阵列基板在应用于其他类型(例如LED、MicroLED)的显示面板时，在所述阵列基板上该显示面板的其他相应结构即可。也就是说，本专利技术还提供一种上述阵列基板在显示面板中的应用，该显示面板例如但不限于OLED、QLED、LED、MicroLED。本专利技术还提供一种显示器，所述显示器包括上述的阵列基板，或者，包括上述的显示面板。本专利技术还提供一种电子装置，所述电子装置包括上述的阵列基板，或者，包括上述的显示面板。所述电子装置例如但不限于移动电话、智能电话、笔记本电脑、数字广播接收器、PDA(个人数字助理)、PAD(平板电脑)、PMP(便携式多媒体播放器)、导航装置等具有显示面板的终端装置。在本专利技术中，定义术语“第一区”为需要无机绝缘层进行绝缘的区域，定义术语“第二区”为可以不需要无机绝缘层的区域。例如，当本专利技术的所述阵列基板具有至少以下结构时：依次形成于柔性衬底上的一有源层、一第一栅极绝缘层、一第一栅极、一层间绝缘层、一有机介质层和源/漏极，所述第一区为：所述第一栅极绝缘层中覆盖且仅覆盖所述有源层的区域、所述层间绝缘层中覆盖且仅覆盖所述第一栅极(当然也包括与所述第一栅极一并形成的位于非显示区的栅极线及栅极焊盘部分)的区域。而所述第二区则为所述第一栅极绝缘层与所述层间绝缘层除去所述第一区之外的全部区域。当本专利技术的所述阵列基板具有双栅极结构是，即，所述阵列基板具有至少以下结构时：依次形成于柔性衬底上的一有源层、一第一栅极绝缘层、一第一栅极、一第二栅极绝缘层、一第二栅极、一层间绝缘层、一有机介质层和源/漏极，所述第一区为：所述第一栅极绝缘层中覆盖且仅覆盖所述有源层的区域、所述第二栅极绝缘层中覆盖且仅覆盖所述第一栅极(当然也包括与所述第一栅极一并形成的位于非显示区的栅极线及栅极焊盘部分)的区域、所述层间绝缘层中覆盖且仅覆盖本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阵列基板，所述阵列基板包括一第一区和一第二区，其特征在于，所述阵列基板包括：一柔性衬底；设于所述柔性衬底之上的第一层，所述第一层位于所述第一区上；设于所述柔性衬底之上的第二层，所述第二层位于所述第一区上；以及，设于所述第一层和所述第二层之间的无机绝缘层；其中，所述无机绝缘层位于所述第一区上，而不位于所述第二区上。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，所述阵列基板包括一第一区和一第二区，其特征在于，所述阵列基板包括：一柔性衬底；设于所述柔性衬底之上的第一层，所述第一层位于所述第一区上；设于所述柔性衬底之上的第二层，所述第二层位于所述第一区上；以及，设于所述第一层和所述第二层之间的无机绝缘层；其中，所述无机绝缘层位于所述第一区上，而不位于所述第二区上。2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括一有机介质层，所述有机介质层包括位于所述第二区的第一部分。3.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述有机介质层还包括位于所述无机绝缘层上的第二部分。4.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第一层与所述第二层之中有一层是一金属层。5.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第一层包括一有源层，所述第二层包括一第一栅极，所述无机绝缘层包括设于所述有源层和所述第一栅极的第一栅极绝缘层。6.如权利要求5所述的阵列基板，其特征在于，所述第一层还包括第二栅极，所述无机绝缘层还包括设于所述第一栅极和所述第二栅极之间的第二栅极绝缘层。7.如权利要求6所述的阵列基板，其特征在于，所述第二层还包括源/漏极，所述源/漏极穿过所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层并连接于所述有源层，所述无机绝缘层还包括设于所述第二栅极和所述源/漏极之间的层间绝缘层，所述有机介质层的第二部分位于所述源/漏极与所述层间绝缘层之间。8.如权利要求7所述的阵列基板，其特征在于，所述第二区包括对应于一显示面板的非显示区的弯曲部分，所述第一区包括对应于所述显示面板的显示区并邻近所述弯曲部分的功能部分，所述阵列基板上设有邻近所述弯曲部分和所述显示部分的交界处的凹槽，所述凹槽贯穿所述有机介质层并暴露所述第一栅极绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述层间绝缘层。9.如权利要求7所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括位于所述柔性衬底与所述有源层之间的缓冲层，所述源/漏极贯穿所述有源层和所述缓冲层。10.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括对应于一显示面板的显示区的功能区，所述功能区包括所述第一区和所述第二区。11.一种显示面板的制造方法，所述显示面板包括如权利要求8所述的阵列基板，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵瑜，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42