【技术实现步骤摘要】
一种新型三维立体叉指电极
本技术涉及电化学传感器件，尤其涉及一种新型三维立体叉指电极。
技术介绍
平面电极作为电化学传感器件，因其灵敏度高、易于小型化等特点被广泛关注。而且，电化学响应可以实现实时检测。而叉指电极指指状或者梳妆的平面内有周期性图案的电极，作为最广泛应用的平面电极之一，其有着平面电极传感的优秀特性，在非破坏性测试、电子通讯、化学测试等广泛应用。平面叉指电极的传感原理为：被测目标分析物的浓度可通过某些方法影响测试环境的电信号，且目标分析物浓度和电信号之间的呈比例关系。由此可见，为增加平面叉指电极探测灵敏度，可优化结构参数，包括叉指长宽比、相邻叉指间隙和叉指高度电极指对数，以降低电阻值，减少背景噪声。但值得注意的是，上述结构参数的优化是为了增加叉指之间的电场强度，加强与被测目标物之间的作用。因此，叉指对对数对于信噪比的提高并没有影响，性能的优化最终需电极尺寸的减小。目前出现了叉指间距在纳米量级的平面叉指电极，其可灵敏地探测到叉指电极结构间微弱的电信号变化。但纳米量级的器件对于制作工艺要求较高，且成本相对增加。因此，在原有成熟的工艺环境下，制作更高灵敏度的...
【技术保护点】
1.一种新型三维立体叉指电极，其特征在于：包括从下到上依次布置的基底(1)、底层叉指电极(2)、牺牲层(3)和顶层叉指电极(4)；底层叉指电极(2)和顶层叉指电极(4)为位于不同平面的面内叉指电极，牺牲层(3)固定并支撑在底层叉指电极(2)和顶层叉指电极(4)之间，基底(1)为整个三维立体叉指电极的附着层。
【技术特征摘要】
1.一种新型三维立体叉指电极，其特征在于：包括从下到上依次布置的基底(1)、底层叉指电极(2)、牺牲层(3)和顶层叉指电极(4)；底层叉指电极(2)和顶层叉指电极(4)为位于不同平面的面内叉指电极，牺牲层(3)固定并支撑在底层叉指电极(2)和顶层叉指电极(4)之间，基底(1)为整个三维立体叉指电极的附着层。2.根据权利要求1所述的一种新型三维立体叉指电极，其特征在于：所述底层叉指电极(2)位于平面A，顶层叉指电极(4)位于平面C，平面A和平面C相平行。3.根据权利要求1所述的一种新型三维立体叉指电极，其特征在于：所述的基底(1)和牺牲层(3)为绝缘材料，使得底...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐龙华，赵慧，江涛，刘旭，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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