压电传感器制造技术

技术编号:19560666 阅读:41 留言:0更新日期:2018-11-25 00:08
从前的压电传感器使用的切断配线图案或者可调激光电阻的放大率调节方法在传感器为成品的状态下不能调节放大率,因此引起了制造工序的复杂与制造成本的上升。另外,在与成品的状态不同的状态进行放大率调节,因此也会发生无法正确地设定成品的放大率的问题。通过在集成了压电传感器的电路元件的集成电路(110)内置非易失性存储器(111)并且从写入端子(114)写入数据,使放大电阻(a107)变化来进行放大率的调节。

Piezoelectric sensor

Previous piezoelectric sensors used to cut off wiring patterns or adjustable laser resistance magnification adjustment method can not adjust the magnification when the sensor is finished, which caused the complexity of manufacturing process and the rise of manufacturing costs. In addition, the magnification of the finished product can not be set correctly because of the magnification adjustment in different states with the finished product. The amplification rate is adjusted by changing the amplification resistance (a107) by incorporating a non-volatile memory (111) into the integrated circuit (110) of the piezoelectric sensor and writing data from the writing terminal (114).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电传感器
本专利技术涉及压电传感器,是涉及通过压电元件检测物理量,对检测结果的电流信号积分、放大并且输出的压电传感器。
技术介绍
使用了根据物理变形量发生电荷的压电元件的压电传感器,因为灵敏度优异、另外在高温环境下精度也不会降低,所以常被用作检测发动机的燃烧压力的传感器。图3是表示从前的压电传感器的结构的一例的图。在图3中,分别以301表示压电元件,302表示直流断流电容,303表示放电电阻,304表示充电电容,305表示积分用运算放大器,312表示反馈端子,313表示信号输出端子,315表示信号输入端子,306表示基准电压源,307表示放大电阻a,308表示放大电阻b,309表示放大用运算放大器,310表示集成电路。压电元件301在该压电元件301的表面具有一对电极,并且根据施加于压电元件301的应力从该电极输出电荷信号。因为从所述电极引绕配线而输入到电路区块的结构非常复杂,如图3所示,压电元件301普遍采用使电极的一方接地,并且从另一方的电极取得信号的结构。另一方的电极通过直流断流电容302被连接于积分用运算放大器305的负侧输入端子。积分用运算放大器305在负侧输入端子与输出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电传感器,其特征在于,具备:压电元件,其用于检测压力;积分电路,其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号;放大电路,其对所述积分电路的输出进行放大,并且向外部输出;基准电压源,其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压;能够写入的存储器,其存储设定所述放大电路的放大率的信息;和写入端子,其用于把所述信息写入所述存储器,所述积分电路、所述放大电路、所述基准电压源以及所述存储器被集成在单一的集成电路中。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.24 JP 2016-0602131.一种压电传感器,其特征在于,具备:压电元件,其用于检测压力;积分电路,其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号;放大电路,其对所述积分电路的输出进行放大,并且向外部输出;基准电压源,其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压;能够写入的存储器,其存储设定所述放大电路的放大率的信息;和写入端子,其用于把所述信息写入所述存储器,所述积分电路、所述放大电路、所述基准电压源以及所述存储器被集成在单一的集成电路中。2.根据权利要求1所述的压电传感器,其特征在于,所述写入端子设置在将所述单一的集成电路与外部连接的外部连接用连接器。3.一种压电传感器,其特征在于,具备:压电元件,其用于检测压力;积分电路,其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号;放大电路,其对所述积分电路的输出进行放大,并且向外部输出;基准电压源,其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压;能够写入的存储器...

【专利技术属性】
技术研发人员:中村里克四方山正德
申请(专利权)人:西铁城精密器件株式会社西铁城时计株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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