基板及位置检测装置制造方法及图纸

位置检测装置(1)对在作为固定子的基板(10)上移动的移动子(30)的位置进行检测，在该位置检测装置(1)中的基板(10)的第一面上，具备n相的电极(其中，n为2以上的整数)在移动子(30)的移动方向一维地重复排列的多个信号电极(11)和在基板(10)的上述第一面上的信号电极(11)的附近沿着移动子(30)的移动方向配置的取出电极(12a,12b)，在上述各信号电极(11)与取出电极(12a,12b)之间的位置，作为比基板(10)的其他部分电容率小的低电容率部设有空隙(14a,14b)。

Substrate and Position Detection Device

The position detection device (1) detects the position of the mover (30) moving on the base plate (10) as a fixer. On the first surface of the base plate (10) of the position detection device (1), the electrodes with N phase (where n is an integer of more than 2) are arranged repeatedly in the direction of the mover (30) in one dimension, and a plurality of signal electrodes (11) are arranged on the first surface of the base plate (10) of the position detection device (1). The removal electrodes (12a, 12b) arranged near the signal electrodes (11) on the first surface of the substrate (10) along the moving direction of the mover (30) are located between the signal electrodes (11) and the removal electrodes (12a, 12b), and a gap (14a, 14b) is arranged at the low capacitance part of the substrate (10), which has a smaller capacitance than the other parts of the substrate (10).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板及位置检测装置
本专利技术涉及一种对固定子与在该固定子上移动的移动子的相对位置进行检测的位置检测装置以及构成上述固定子的基板(印刷基板)。
技术介绍
以往，公知对固定子与在该固定子上移动的移动子的相对位置进行检测的位置检测装置。例如，在专利文献1中记载了向固定子的感应电极供给电压而通过电容耦合而在移动子的梳齿状的电极上产生交变电位分布，通过固定子的电位检测电极对该交变电位分布进行检测，生成以两个信号为成分的向量，根据该向量的旋转角测量移动子相对于固定子的相对位移。并且，在专利文献2中记载了向固定子上的四相电极供给相位分别错开90°的四个电信号，由此基于在移动子上的第一电极和第二电极上产生的信号的相位，测量移动子相对于固定子的位置。现有技术文献专利文献专利文献1：(日本)特开2005－221472号公报专利文献2：(日本)特开2011－47679号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题然而，在上述现有的位置检测装置中，存在要使移动子能够移动的范围变长时，不能确保充足的检测精度的问题。这是由于，在固定子上设置的、多相的信号供给用的电极与信号取出用的电极之间之间产生信号的泄漏。在增本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板，该基板是对在固定子上移动的移动子的位置进行检测的位置检测装置中的、构成该固定子的基板，该基板的特征在于，在该基板的第一面上，具备：n相的电极(其中，n为3以上的整数)在所述移动子的移动方向上一维地重复排列的多个第一电极；在所述基板的所述第一面上的所述第一电极的附近沿着所述移动子的移动方向配置的第二电极；在所述各第一电极与所述第二电极之间的位置设有比该基板的其他部分电容率小的低电容率部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.25 JP 2016-0626871.一种基板，该基板是对在固定子上移动的移动子的位置进行检测的位置检测装置中的、构成该固定子的基板，该基板的特征在于，在该基板的第一面上，具备：n相的电极(其中，n为3以上的整数)在所述移动子的移动方向上一维地重复排列的多个第一电极；在所述基板的所述第一面上的所述第一电极的附近沿着所述移动子的移动方向配置的第二电极；在所述各第一电极与所述第二电极之间的位置设有比该基板的其他部分电容率小的低电容率部。2.根据权利要求1所述的基板，其特征在于，所述低电容率部为狭缝。3.根据权利要求1或2所述的基板，其特征在于，在所述基板的内部的、与配置所述第一电极的区域在平面上重合的位置设有屏蔽电信号的传播的屏蔽部件。4.根据权利要求3所述的基板，其特征在于，在所述基板的内部或所述第一面的背面侧的第二面上的、不与配置所述第一电极的区域在平面上重合的位置，避开与配置所述第二电极的区域在平面上重合的位置而设有屏蔽电信号的传播的屏蔽部件。5.一种位置检测装置，其特征在于，具备：通过权利要求1至4中任一项所述的基板构成的所述固定子；向所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：上田拓，铃木佳博，松原吉胜，夏目佳浩，加藤久和，
申请(专利权)人：雅马哈株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP