一种图像控制器和调焦调平装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种图像控制器和调焦调平装置，所述图像控制器包括至少一组子图像控制器；所述子图像控制器包括图像筛选电路和图像定位电路；所述图像筛选电路用于从原始图像数据中筛选出符合预设条件的有效光斑数据；所述图像定位电路与所述图像筛选电路电连接，用于从所述图像筛选电路获取所述有效光斑数据，并根据所述有效光斑数据计算得到光斑定位信息。本实用新型专利技术提供一种图像控制器和调焦调平装置，以实现降低光学图像数据的处理时间和传输时间，提高调焦调平装置的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种图像控制器和调焦调平装置
本技术实施例涉及光学设备技术，尤其涉及一种图像控制器和调焦调平装置。
技术介绍
光刻机是液晶显示行业核心的加工设备之一。调焦调平装置是投影光刻机中的垂向位置测量传感器，当前主流的调焦调平装置多采样基于三角测量的光电式测量方案。如美国专利US4650983中记载了一种调焦调平检测装置和方法，测量光路分布于投影物镜光轴的两侧，包括依次以光路连接的照明单元、投影单元及探测单元。照明单元提供的光源出射光经透镜组聚光之后，由光纤传送至投影单元，为整个测量装置提供照明光源。通过投影狭缝的光经过透镜和反射镜之后，在玻璃基板表面当前曝光区域内形成测量光斑。测量光斑经探测单元、中继单元被光电传感器接收，形成带有待测物体表面高度信息的光强信号。一般而言，光电传感器接收到光强信号(光学图像)并将其转化为电信号后形成原始图像数据，原始图像数据通过图像采集卡的处理后传输至数据处理板，由数据处理板进一步地处理以得到用户需要的信息。但是原始图像数据的数据量巨大，使后续的数据计算以及数据处理负担繁重，进而导致调焦调平装置的工作效率低下。
技术实现思路
本技术实施例提供一种图像控制器和调焦调平装置，以实现降低光学图像数据的处理时间和传输时间，提高调焦调平装置的工作效率。第一方面，本技术实施例提供一种图像控制器，所述图像控制器包括至少一组子图像控制器；所述子图像控制器包括图像筛选电路和图像定位电路；所述图像筛选电路用于从原始图像数据中筛选出符合预设条件的有效光斑数据；所述图像定位电路与所述图像筛选电路电连接，用于从所述图像筛选电路获取所述有效光斑数据，并根据所述有效光斑数据计算得到光斑定位信息。可选地，所述子图像控制器还包括滤波电路，所述滤波电路与所述图像筛选电路电连接，用于对原始图像数据进行滤波处理并将滤波后的原始图像数据传输至所述图像筛选电路。可选地，所述图像控制器包括多组子图像控制器，多组子图像控制器并行连接。可选地，所述图像控制器采用现场可编程门阵列或通用图像处理器。第二方面，本技术实施例提供一种调焦调平装置，包括第一方面所述的图像控制器。可选地，所述调焦调平装置还包括照明单元、投影单元、光电传感器和数据处理板；所述照明单元用于提供照明光束；所述投影单元位于所述照明单元与待测物体之间，用于将所述照明光束以一定角度入射到待测物体的表面；所述光电传感器用于接收经待测物体表面反射的反射光束，并生成原始图像数据，所述光电传感器与所述图像控制器电连接，并将所述原始图像数据传输至所述图像控制器；所述数据处理板与所述图像控制器电连接，所述图像控制器输出光斑定位信息至所述数据处理板。可选地，所述数据处理板与多组所述子图像控制器中的图像定位电路电连接。可选地，所述投影单元包括狭缝器件和投影透镜组，所述狭缝器件位于所述照明单元与所述投影透镜组之间。可选地，所述狭缝器件上设置三个狭缝，相邻两个所述狭缝之间的距离不相等。可选地，所述调焦调平装置还包括探测透镜组，所述探测透镜组位于所述光电传感器与待测物体之间。本技术实施例提供的图像控制器包括图像筛选电路，图像筛选电路可以从原始图像数据中根据预设条件选择出部分数据，该部分数据包含了所有的光斑对应的数据，即包含了所有的有效数据，可以根据有效光斑数据得到光斑定位信息，进而使用户可以随时获取待测物体的位置信息，待测物体的位置信息包括待测物体的高度信息和倾斜度信息。本技术实施例由于使用图像筛选电路将原始图像数据中的部分无效数据过滤掉，只留下包含有效光斑数据的有效数据，减少后续处理的数据总量，降低了光学图像数据的处理时间和传输时间，提高了调焦调平装置的工作效率。附图说明图1为本技术实施例提供的一种图像控制器的结构示意图；图2为本技术实施例提供的有效光斑数据的筛选示意图；图3为本技术实施例提供的另一种图像控制器的结构示意图；图4为本技术实施例提供的一种调焦调平装置的结构示意图；图5为本技术实施例提供的一种狭缝器件的结构示意图；图6为本技术实施例提供的另一种调焦调平装置的部分结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。图1为本技术实施例提供的一种图像控制器的结构示意图，参考图1，图像控制器60包括至少一组子图像控制器600(图1中示例性地设置图像控制器60包括一组子图像控制器600)。子图像控制器600包括图像筛选电路62和图像定位电路63，图像筛选电路62用于从原始图像数据中筛选出符合预设条件的有效光斑数据，图像定位电路63与图像筛选电路62电连接，用于从图像筛选电路62获取有效光斑数据，并根据有效光斑数据计算得到光斑定位信息。光斑定位信息指的是根据有效光斑数据计算出的各个光斑在坐标系中的位置。可以根据光斑定位信息得出各个光斑之间的距离。图2为本技术实施例提供的有效光斑数据的筛选示意图，有效光斑数据的筛选可以使用本技术实施例提供的图像控制器中的图像筛选电路实现，参考图2，原始图像数据中包括三个光斑，分别为第一光斑Q1、第二光斑Q2和第三光斑Q3，第一光斑Q1和第二光斑Q2之间的距离为L1，第二光斑Q2和第三光斑Q3之间的距离为L2，L1≠L2。除了第一光斑Q1、第二光斑Q2和第三光斑Q3外，原始图像数据中还包括其他类型的数据(在图2中其他类型的数据以直线表示)，由于对于调焦调平装置有实际意义的数据为有效光斑数据，而与其他类型的数据无关，因此可以将其他类型的数据通过图像筛选电路62过滤掉，只留下有效光斑数据，进而可以减少后续处理的数据总量。需要说明的是，图2中所示原始图像数据以及有效光斑数据仅为一种示例，并非对本技术的限定，图像筛选电路62可以从原始图像数据中筛选出符合预设条件的有效光斑数据，预设条件在图2中所示例如可以为大于某一(光强)阈值。本技术实施例提供的图像控制器包括图像筛选电路，图像筛选电路可以从原始图像数据中根据预设条件选择出部分数据，该部分数据包含了所有的光斑对应的数据，即包含了所有的有效数据，可以根据有效光斑数据得到光斑定位信息，进而使用户可以随时获取待测物体的位置信息，待测物体的位置信息包括待测物体的高度信息和倾斜度信息。本技术实施例由于使用图像筛选电路将原始图像数据中的部分无效数据过滤掉，只留下包含有效光斑数据的有效数据，减少后续处理的数据总量，降低了光学图像数据的处理时间和传输时间，提高了调焦调平装置的工作效率。可选地，参考图1，子图像控制器600还包括滤波电路61，滤波电路61与图像筛选电路62电连接，用于对原始图像数据进行滤波处理并将滤波后的原始图像数据传输至图像筛选电路62。滤波电路61可以过滤出原始图像数据中的异常值，以提高原始图像数据的可靠性。图像控制器还可以包括多组子图像控制器，图3为本技术实施例提供的另一种图像控制器的结构示意图，参考图3，图像控制器60包括多组子图像控制器600(图3中示例性地设置图像控制器60包括三组子图像控制器600)，多组子图像控制器600并行连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像控制器，其特征在于，所述图像控制器包括至少一组子图像控制器；所述子图像控制器包括图像筛选电路和图像定位电路；所述图像筛选电路用于从原始图像数据中筛选出符合预设条件的有效光斑数据；所述图像定位电路与所述图像筛选电路电连接，用于从所述图像筛选电路获取所述有效光斑数据，并根据所述有效光斑数据计算得到光斑定位信息。

【技术特征摘要】
1.一种图像控制器，其特征在于，所述图像控制器包括至少一组子图像控制器；所述子图像控制器包括图像筛选电路和图像定位电路；所述图像筛选电路用于从原始图像数据中筛选出符合预设条件的有效光斑数据；所述图像定位电路与所述图像筛选电路电连接，用于从所述图像筛选电路获取所述有效光斑数据，并根据所述有效光斑数据计算得到光斑定位信息。2.根据权利要求1所述的图像控制器，其特征在于，所述子图像控制器还包括滤波电路，所述滤波电路与所述图像筛选电路电连接，用于对原始图像数据进行滤波处理并将滤波后的原始图像数据传输至所述图像筛选电路。3.根据权利要求1所述的图像控制器，其特征在于，所述图像控制器包括多组子图像控制器，多组子图像控制器并行连接。4.根据权利要求1所述的图像控制器，其特征在于，所述图像控制器采用现场可编程门阵列或通用图像处理器。5.一种调焦调平装置，其特征在于，包括权利要求1-4任一项所述的图像控制器。6.根据权利要求5所述的调焦调平装置，其特征在于，所述调焦调平装置还包括照明单元、投...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宣华，王海江，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31