一种基于UVLED的曝光光源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于UVLED的曝光光源，包括电源模块、振荡电路、PWM调光电路和LED芯片；所述振荡电路包括时基电路芯片IC1及其外围电路，所述电源模块通过电容C3和电阻R1、电阻R2与时基电路芯片IC1连接；PWM调光电路与LED芯片连接控制LED灯珠发光；并通过调节可变电位器或改变供电电压进行调光。本实用新型专利技术通过振荡电路输出脉冲信号使UVLED曝光光源以固定速率做周期循环，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率的目的，可以增加曝光均匀性，并可缩小装置体积、节省生产空间与能源消耗、降低生产成本并提高生产效能。

【技术实现步骤摘要】
一种基于UVLED的曝光光源
本技术属于集成电路制造
，特别是涉及一种基于UVLED的曝光光源。
技术介绍
目前使用传统的紫外线（UV）进行曝光的机台容易造成因扫描速度不规律，导致UV光源不稳定，辐射照度不够而产生曝光均匀性不足的问题，如何将曝光机的传统光源改换成这种UVLED光源，实现既不改变原曝光机的基本结构、不干扰原曝光机部件的正常运转成了当前市场急需解决的问题。对此本技术提出高精密度的UVLED固化紫外曝光光源模组，解决了传统汞灯在设备上曝光不均匀、能效低的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于UVLED的曝光光源，通过振荡电路输出脉冲信号使UVLED曝光光源以固定速率做周期循环，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率的目的，可以增加曝光均匀性，并可缩小装置体积、节省生产空间与能源消耗、降低生产成本并提高生产效能。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种基于UVLED的曝光光源，包括：电源模块、振荡电路、PWM调光电路和LED芯片；所述振荡电路包括时基电路芯片IC1及其外围电路，所述电源模块通过电容C3和电阻R1、电阻R2与时基电路芯片IC1连接；其中，所述时基电路芯片IC1的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；所述时基电路芯片IC1的接地端引脚与一内部接地模块连；所述时基电路芯片IC1的置“0”端引脚与置“1”端引脚均与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC1的控制端引脚通过一电容C4与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC1的放电端引脚通过两电阻R1、电阻R2分别与电源模块和电容C3连接；所述时基电路芯片IC1的输出端引脚与一第一NPN三极管的基极连接，所述第一NPN三极管的发射极与电源模块连接；所述第一NPN三极管的集电极与内部接地模块和PWM调光电路连接，其中，所述第一NPN三极管的集电极与内部接地模块之间设有匹配电阻R3；所述第一NPN三极管的集电极与PWM调光电路之间设有电容C5；所述振荡电路的输出端向PWM调光电路输出连续变化的振荡脉冲信号；所述PWM调光电路包括时基电路芯片IC2及其外围电路；所述外围电路包括电容C6、电阻R4、电阻R5和可变电位器；其中，所述时基电路芯片IC2的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；所述时基电路芯片IC2的接地端引脚与一内部接地模块连；所述时基电路芯片IC2的置“0”端引脚与电容C6连接；所述时基电路芯片IC2的置“1”端引脚与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC2的放电端引脚通过可变电位器与供电电压源连接；所述时基电路芯片IC2的输出端引脚与一第二NPN三极管的基极连接，所述第二NPN三极管的发射极与电源模块连接；所述第二NPN三极管的集电极与内部接地模块和LED芯片连接，其中，所述第二NPN三极管的集电极与内部接地模块之间设有一匹配电阻R5；所述PWM调光电路的输出端与LED芯片的引脚22连接作为控制端，所述LED芯片的1脚与2脚连接均为反相输入端；所述LED芯片的23脚和24脚均为同相输入端；所述LED芯片的13脚和14脚为同相输出端，所述LED芯片的11脚与12脚为反相输出端；所述LED芯片的同相输出端与反相输入端直接串联有若干LED灯珠。进一步地，所述电源模块与时基电路芯片IC1之间设有接地电容C1、电容C2。进一步地，所述时基电路芯片IC2的置“1”端引脚与内部接地模块直接设有电容C6和匹配电阻R5。进一步地，所述振荡电路与PWM调光电路直接设有匹配电阻R6；所述时基电路芯片IC1及其外围电路构成了脉冲发生电路；接通电源后，电源VCC通过R1和R2对电容C3进行充电，当UCC小于1/3VCC时，振荡器输出V0=1，放电管截止；当UC充电到大于等于2/3VCC后，振荡器输出输出V0=0，此时放电管导通，使放电端接地。电容C3通过R2对地放电使UC下降。当UC下降到1/3VCC后振荡器输出V0=1，如此反复循坏下去，在输出端V0得到连续变化的振荡脉冲波形；所述时基芯片IC2及其外围电路构成了PWM调光电路，接通电源后，当2脚输出高电平，DIS脚接地，C6上的电压为0，输出V01保持为0。当输入负脉冲时，输出立即转成V01=0，DIS端接地，C6上的电荷很快就放为0；当2脚输出一定频率的脉冲信号，3脚就会输出一定频率的方波信号，其正（负）占空比由RP、C6及其供电电压AI决定。当AI固定不变时，分别调节各组可变电位器RP即可改变PWM信号的占空比，调试完成后电阻RP固定不变，通过上位机输出或外部电路改变AI值即可改变PWM信号的占空比来达到调光作用。本技术具有以下有益效果：1、本技术通过振荡电路输出脉冲信号使UVLED曝光光源以固定速率做周期循环，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率的目的，可以增加曝光均匀性，并可缩小装置体积、节省生产空间与能源消耗、降低生产成本并提高生产效能。2、本技术通过UVLED光源代替传统光源；具有寿命长、稳定性强，减少了其维护和保养次数；通过PWM脉冲宽度调制技术将UVLED亮度进行调整和修正，可以保证UVLED的正向导通电流不变，控制一个周期内的电流通断来控制亮度的变化；采用扫描式的曝光方式，有效的减少UVLED光源的尺寸面积，进而也进一步的解决了散热问题。在各项性能上比传统的曝光工艺高；达到均匀曝光的目的。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为一种基于UVLED的曝光光源的电路图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1所示，本技术为一种基于UVLED的曝光光源，包括电源模块、振荡电路、PWM调光电路和LED芯片；振荡电路包括时基电路芯片IC1及其外围电路，电源模块通过电容C3和电阻R1、电阻R2与时基电路芯片IC1连接；其中，时基电路芯片IC1的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；时基电路芯片IC1的接地端引脚与一内部接地模块连；时基电路芯片IC1的置“0”端引脚与置“1”端引脚均与内部接地模块连接；时基电路芯片IC1的控制端引脚通过一电容C4与内部接地模块连接；时基电路芯片IC1的放电端引脚通过电阻R1、电阻R2分别与电源模块和电容C3连接；时基电路芯片IC1的输出端引脚与一第一NPN三极管V1的基极连接，第一NPN三极管V1的发射极与电源模块连接；第一NPN三极管V1的集电极与内部接地模块和PWM调光电路连接，其中，第一NPN三极管V1的集电极与内部接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于UVLED的曝光光源，其特征在于，包括电源模块、振荡电路、PWM调光电路和LED芯片；所述振荡电路包括时基电路芯片IC1及其外围电路，所述电源模块通过电容C3和电阻R1、电阻R2与时基电路芯片IC1连接；其中，所述时基电路芯片IC1的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；所述时基电路芯片IC1的接地端引脚与一内部接地模块连；所述时基电路芯片IC1的置“0”端引脚与置“1”端引脚均与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC1的控制端引脚通过一电容C4与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC1的放电端引脚通过两电阻R1、电阻R2分别与电源模块和电容C3连接；所述时基电路芯片IC1的输出端引脚与一第一NPN三极管的基极连接，所述第一NPN三极管的发射极与电源模块连接；所述第一NPN三极管的集电极与内部接地模块和PWM调光电路连接，其中，所述第一NPN三极管的集电极与内部接地模块之间设有匹配电阻R3；所述第一NPN三极管的集电极与PWM调光电路之间设有电容C5；所述振荡电路的输出端向PWM调光电路输出连续变化的振荡脉冲信号；所述PWM调光电路包括时基电路芯片IC2及其外围电路；所述外围电路包括电容C6、电阻R4、电阻R5和可变电位器；其中，所述时基电路芯片IC2的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；所述时基电路芯片IC2的接地端引脚与一内部接地模块连；所述时基电路芯片IC2的置“0”端引脚与电容C6连接；所述时基电路芯片IC2的置“1”端引脚与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC2的放电端引脚通过可变电位器与供电电压源连接；所述时基电路芯片IC2的输出端引脚与一第二NPN三极管的基极连接，所述第二NPN三极管的发射极与电源模块连接；所述第二NPN三极管的集电极与内部接地模块和LED芯片连接，其中，所述第二NPN三极管的集电极与内部接地模块之间设有一匹配电阻R5；所述PWM调光电路的输出端与LED芯片的引脚22连接作为控制端，所述LED芯片的1脚与2脚连接均为反相输入端；所述LED芯片的23脚和24脚均为同相输入端；所述LED芯片的13脚和14脚为同相输出端，所述LED芯片的11脚与12脚为反相输出端；所述LED芯片的同相输出端与反相输入端直接串联有若干LED灯珠。...

【技术特征摘要】
1.一种基于UVLED的曝光光源，其特征在于，包括电源模块、振荡电路、PWM调光电路和LED芯片；所述振荡电路包括时基电路芯片IC1及其外围电路，所述电源模块通过电容C3和电阻R1、电阻R2与时基电路芯片IC1连接；其中，所述时基电路芯片IC1的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；所述时基电路芯片IC1的接地端引脚与一内部接地模块连；所述时基电路芯片IC1的置“0”端引脚与置“1”端引脚均与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC1的控制端引脚通过一电容C4与内部接地模块连接；所述时基电路芯片IC1的放电端引脚通过两电阻R1、电阻R2分别与电源模块和电容C3连接；所述时基电路芯片IC1的输出端引脚与一第一NPN三极管的基极连接，所述第一NPN三极管的发射极与电源模块连接；所述第一NPN三极管的集电极与内部接地模块和PWM调光电路连接，其中，所述第一NPN三极管的集电极与内部接地模块之间设有匹配电阻R3；所述第一NPN三极管的集电极与PWM调光电路之间设有电容C5；所述振荡电路的输出端向PWM调光电路输出连续变化的振荡脉冲信号；所述PWM调光电路包括时基电路芯片IC2及其外围电路；所述外围电路包括电容C6、电阻R4、电阻R5和可变电位器；其中，所述时基电路芯片IC2的电源端引脚与复位引脚均与电源模块连接；所述时基电路芯片IC2的接地...

【专利技术属性】
技术研发人员：李治显，
申请(专利权)人：苏州汇影光学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32