一种具有靶材保护功能的镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有靶材保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及装载小车，所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头，所述端头与真空腔体壁之间设有绝缘块，端头上方竖直安装有靶材，所述靶材可旋转运动，所述靶材外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩，所述靶罩上开设有镀膜口，靶罩在镀膜口处安装有细铁丝网，所述细铁丝网在与靶材相背的一侧配设有装载小车，所述装载小车上设有用于固定基板的卡具。本实用新型专利技术提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，该设备通过在靶罩的镀膜口上安装细铁丝网，将固定有基板的装载小车与旋转靶材相隔开，细铁丝网的设置不仅有效防止了破裂玻璃掉落时搁在靶材上对其造成损伤，而且对靶材溅射过程也具有一定散射作用，利于改善镀膜的均匀性，进而提高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种具有靶材保护功能的镀膜设备
本技术涉及镀膜
，特别涉及一种具有靶材保护功能的镀膜设备。
技术介绍
目前镀膜基板多以TFT贴盒玻璃为主，通常先在5代及更高世代线生产完成TFT-array玻璃和CF玻璃制程以后，再经过贴合及切割成3.5代线大小，送至减薄厂减薄，减薄后送至触摸屏厂进行Oncell触控sensor制程。现有的Oncell触摸屏采用以TFT液晶显示玻璃(包括array面板玻璃和CF玻璃)贴盒减薄好后的CF玻璃背面制造触摸功能，实现液晶显示和触摸传感器的双重作用，该方法简单，成本较低，近年来受到人们的普遍关注。但由于镀膜玻璃基板是经过切割及减薄后的TFT贴盒玻璃，玻璃质地非常脆，容易在镀膜过程中因受热而破裂，破裂后的玻璃碎片会从装载小车掉落进镀膜真空腔体内部，且部分玻璃碎片会不可避免的搁在竖着的靶材上面。由于靶材在镀膜过程中会不停息的持续旋转，致使搁在旋转靶材上的玻璃会将靶材刮坏。靶材表面一旦刮坏后将无法正常放电起辉，进而无法正常使用，影响镀膜过程的正常进行。而且由于镀膜靶材价格昂贵，一支靶材通常可高达20多万，其厚度却不过5-9mm，因此针对表面受损的靶材通常不会直接遗弃，而是选择修复，修复靶材就必须打开镀膜腔体用打磨机将靶材表面打磨平整，打磨靶材的过程一方面浪费了昂贵的靶材，另一方面也耽误了生产时间，不利于提高生产效率。
技术实现思路
本技术为了解决上述技术问题，提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，该设备通过在靶罩的镀膜口上安装细铁丝网，将固定有基板的装载小车与旋转靶材相隔开，不仅有效防止了破裂玻璃掉落时搁在靶材上对其造成损伤，而且安装在镀膜口上的细铁丝网会对靶材溅射过程形成一定散射作用，利于改善镀膜的均匀性，进而提高产品质量。为实现上述目的，本技术提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及装载小车，所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头，所述端头与真空腔体壁之间设有绝缘块，端头上方竖直安装有靶材，所述靶材可旋转运动，所述靶材外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩，所述靶罩上开设有镀膜口，靶罩在镀膜口处安装有细铁丝网，所述细铁丝网在与靶材相背的一侧配设有装载小车，所述装载小车上设有用于固定基板的卡具。进一步的，所述细铁丝网包括若干等距平行分布的细铁丝，所述细铁丝的分布方向与装载小车的运行方向互相垂直。进一步的，所述细铁丝的直径为0.4-0.6mm。进一步的，相邻细铁丝之间的距离分布在28-32mm。进一步的，相邻细铁丝之间的距离为30mm。进一步的，所述基板为TFT贴盒玻璃。本技术所起到的有益技术效果如下：与现有技术相比较，本技术提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，该设备通过在靶罩的镀膜口上安装细铁丝网，将固定有基板的装载小车与旋转靶材相隔开，细铁丝网的设置不仅有效防止了破裂玻璃掉落时搁在靶材上对其造成损伤，而且对靶材溅射过程也具有一定散射作用，利于改善镀膜的均匀性，进而提高产品质量。附图说明图1为增设细铁丝网之前装载小车、靶罩及镀膜口的位置关系示意图。图2为增设细铁丝网之后装载小车、靶罩及细铁丝网的位置关系示意图。图3为基板、细铁丝网、靶材及真空腔体壁之间的位置结构示意图。附图标记说明：1-端头，2-靶材，3-靶罩，4-绝缘块，5-基板，6-细铁丝网，7-装载小车，8-镀膜口。9-真空腔体壁附图仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的；相同或相似的标号对应相同或相似的部件；附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本专利技术的优点和特征更易被本领域技术人员理解，从而对本专利技术的保护范围作出更为清楚的界定。实施例1：如图2和图3所示，本实施例提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及装载小车7，所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体由筒体、底座及顶盖组成，所述真空腔体的底座上设有端头1，所述端头1与真空腔体壁9之间设有绝缘块4，端头1上方竖直安装有靶材2，所述靶材2可围绕其自身的轴线进行旋转运动，所述靶材2外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩3，所述靶罩3上开设有镀膜口8，旋转靶材2通过镀膜口8溅射在基板5上形成膜制品，靶罩3在镀膜口8处安装有细铁丝网6，所述细铁丝网6在与靶材2相背的一侧配设有装载小车7，所述装载小车7上设有若干用于固定基板5的卡具，卡具均匀分布在装载小车7的上下两侧，本实施例中基板5选用TFT贴盒玻璃，装载小车7的上下两侧分别安装有四个卡具用于更好的固定基板5。上述细铁丝网6包括若干等距平行分布的细铁丝，所述细铁丝竖直安装在镀膜口8，所述细铁丝的分布方向与装载小车7的运行方向互相垂直。一般形成细铁丝网6的细铁丝直径分布在0.4-0.6mm，相邻细铁丝之间的距离分布在28-32mm，在实际应用中细铁丝的直径以及相邻细铁丝间的距离均可根据基板5的面积进行调整。在本实施例中，玻璃基板5的面积为750mm*650mm，选用的细铁丝直径为0.5mm，相邻细铁丝的间距为30mm，由于选用的细铁丝直径较小，相邻细铁丝的间距相对铁丝直径来说很大，而相对玻璃基板5的面积而言又很小，经过反复试验以及大量的生产证明细铁丝网6的设置可以有效阻挡破裂玻璃掉落时搁在靶材2上对其造成伤害，而且细铁丝网6的设置不仅不影响靶材2在玻璃基板5上的沉积，反而会由于细铁丝网6的散射提高膜层的均匀性，利于改善镀膜产品的质量。具体的镀膜工艺过程如下：首先用卡具夹住玻璃基板5将其竖直悬挂于装载小车7上，随后开启镀膜机，当装载小车7载着玻璃基板5运行至镀膜口8时，开始镀膜，旋转靶材2上的物质会在镀膜过程中溅射在玻璃基板5上形成薄膜，而在这个过程中部分存在微小裂纹的玻璃基板5会由于受热而发生破裂，破裂后的玻璃碎片会从装载小车7掉落至靶材2旁边或者搁在竖直的旋转靶材2上，由于镀膜过程靶材2在持续旋转，因此搁在靶材2上的玻璃碎片会把靶材2刮坏，如图1所示。但在镀膜口8加装了细铁丝网6之后，玻璃碎片被细铁丝网6阻挡在细铁丝网6与旋转靶材2相背的一侧，细铁丝网6可以很大程度的阻挡玻璃碎片的穿过，避免了靶材2受损，提高了靶材2使用寿命，降低了生产成本。显然，本技术的上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的举例，而并非是对本技术的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术权利要求的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜机及装载小车（7），所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头（1），所述端头（1）与真空腔体壁（9）之间设有绝缘块（4），端头（1）上方竖直安装有靶材（2），所述靶材（2）可旋转运动，所述靶材（2）外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩（3），所述靶罩（3）上开设有镀膜口（8），靶罩（3）在镀膜口（8）处安装有细铁丝网（6），所述细铁丝网（6）在与靶材（2）相背的一侧配设有装载小车（7），所述装载小车（7）上设有用于固定基板（5）的卡具。

【技术特征摘要】
1.一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜机及装载小车（7），所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头（1），所述端头（1）与真空腔体壁（9）之间设有绝缘块（4），端头（1）上方竖直安装有靶材（2），所述靶材（2）可旋转运动，所述靶材（2）外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩（3），所述靶罩（3）上开设有镀膜口（8），靶罩（3）在镀膜口（8）处安装有细铁丝网（6），所述细铁丝网（6）在与靶材（2）相背的一侧配设有装载小车（7），所述装载小车（7）上设有用于固定基板（5）的卡具。2.如权利要求1所述一种具有靶材...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵之光，贺新平，
申请(专利权)人：惠州市宝明精工有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44