一种具有靶材保护功能的镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有靶材保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及装载小车，所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头，所述端头与真空腔体壁之间设有绝缘块，端头上方竖直安装有靶材，所述靶材可旋转运动，所述靶材外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩，所述靶罩上开设有镀膜口，靶罩在镀膜口处安装有细铁丝网，所述细铁丝网在与靶材相背的一侧配设有装载小车，所述装载小车上设有用于固定基板的卡具。本实用新型专利技术提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，该设备通过在靶罩的镀膜口上安装细铁丝网，将固定有基板的装载小车与旋转靶材相隔开，细铁丝网的设置不仅有效防止了破裂玻璃掉落时搁在靶材上对其造成损伤，而且对靶材溅射过程也具有一定散射作用，利于改善镀膜的均匀性，进而提高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种具有靶材保护功能的镀膜设备
本技术涉及镀膜
，特别涉及一种具有靶材保护功能的镀膜设备。
技术介绍
目前镀膜基板多以TFT贴盒玻璃为主，通常先在5代及更高世代线生产完成TFT-array玻璃和CF玻璃制程以后，再经过贴合及切割成3.5代线大小，送至减薄厂减薄，减薄后送至触摸屏厂进行Oncell触控sensor制程。现有的Oncell触摸屏采用以TFT液晶显示玻璃(包括array面板玻璃和CF玻璃)贴盒减薄好后的CF玻璃背面制造触摸功能，实现液晶显示和触摸传感器的双重作用，该方法简单，成本较低，近年来受到人们的普遍关注。但由于镀膜玻璃基板是经过切割及减薄后的TFT贴盒玻璃，玻璃质地非常脆，容易在镀膜过程中因受热而破裂，破裂后的玻璃碎片会从装载小车掉落进镀膜真空腔体内部，且部分玻璃碎片会不可避免的搁在竖着的靶材上面。由于靶材在镀膜过程中会不停息的持续旋转，致使搁在旋转靶材上的玻璃会将靶材刮坏。靶材表面一旦刮坏后将无法正常放电起辉，进而无法正常使用，影响镀膜过程的正常进行。而且由于镀膜靶材价格昂贵，一支靶材通常可高达20多万，其厚度却不过5-9mm，因此针对表面受损的靶材通常不会直本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜机及装载小车（7），所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头（1），所述端头（1）与真空腔体壁（9）之间设有绝缘块（4），端头（1）上方竖直安装有靶材（2），所述靶材（2）可旋转运动，所述靶材（2）外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩（3），所述靶罩（3）上开设有镀膜口（8），靶罩（3）在镀膜口（8）处安装有细铁丝网（6），所述细铁丝网（6）在与靶材（2）相背的一侧配设有装载小车（7），所述装载小车（7）上设有用于固定基板（5）的卡具。

【技术特征摘要】
1.一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜机及装载小车（7），所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头（1），所述端头（1）与真空腔体壁（9）之间设有绝缘块（4），端头（1）上方竖直安装有靶材（2），所述靶材（2）可旋转运动，所述靶材（2）外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩（3），所述靶罩（3）上开设有镀膜口（8），靶罩（3）在镀膜口（8）处安装有细铁丝网（6），所述细铁丝网（6）在与靶材（2）相背的一侧配设有装载小车（7），所述装载小车（7）上设有用于固定基板（5）的卡具。2.如权利要求1所述一种具有靶材...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵之光，贺新平，
申请(专利权)人：惠州市宝明精工有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44