一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，包括真空室和箱体，所述箱体位于真空室外部一侧，所述真空室内部上侧设有高能离子源，所述高能离子源一侧设有低能离子源，所述真空室底部连接加温室，所述加温室内部上侧连接加温管道，所述加温管道底部设有暖风机。本实用新型专利技术通过设置真空度检测仪和滑动板，有效的避免真空室中空气的就进入，有效的营造良好的真空环境，通过设置暖风机和加温管道，有效的帮助离子束在沉积的过程中起到加温蒸发的作用，有效的提升离子束辅助沉积光通信薄膜设备的工作效率，通过设置减震器，有效的减少暖风机在工作时产生的震动。

【技术实现步骤摘要】
一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备
本技术涉及一种光通信薄膜，特别涉及一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备。
技术介绍
离子束沉积是在气相沉积的同时，进行离子束轰击混合以改善薄膜性能的方法。在离子辅助沉积过程中，薄膜的折射率和离子能量、流密度、质量、直径、入射角度、薄膜材料的质量、密度、蒸发速率、基板温度、真空度等是息息相关的。当蒸发速率、压强、蒸发距离、膜材料密度、离子直径、离子入射角增大时，薄膜的折射率会变小；而当离子质量、离子能量、离子流密度、基板温度增大时，薄膜的折射率就会变大。但是一般的离子束辅助沉积设备对于真空室的真空度检测不够，同时在进行离子束气相沉积时蒸发的工作效率不高。为此，我们提出一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，通过设置真空度检测仪和滑动板，有效的避免真空室中空气的进入，有效的营造良好的真空环境，通过设置暖风机和加温管道，有效的帮助离子束在沉积的过程中起到加温蒸发的作用，有效的提升离子束辅助沉积光通信薄膜设备的工作效率，通过设置减震器，有效的减少暖风机在工作时产生的震动，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，包括真空室和箱体，所述箱体位于真空室外部一侧，所述真空室内部上侧设有高能离子源，所述高能离子源一侧设有低能离子源，所述真空室底部连接加温室，所述加温室内部上侧连接加温管道，所述加温管道底部设有暖风机，所述暖风机底部连接支撑板，所述支撑板底部设有减震器，以及所述加温室两侧表面均连接隔温层，所述加温室外部两侧均设有卷轴。进一步地，所述箱体内壁连接聚酯纤维吸音板，所述箱体内部设有分子泵，所述箱体表面设有真空度检测仪，以及所述真空度检测仪一端连接真空室，所述箱体上部连接吸气管，所述分子泵通过吸气管与真空室连接。进一步地，所述真空室底部一侧设有入料口，以及所述真空室底部另一侧设有出料口，所述入料口内部两侧均设有滑槽，所述滑槽内部连接滑动板，所述出料口内部结构与入料口相同。进一步地，所述减震器内部设有减震板，所述减震板两端均连接减震气垫，所述减震气垫上部设有液压柱，以及所述液压柱内部连接弹簧。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1.本技术一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备通过设置真空度检测仪和滑动板，有效的避免真空室中空气的进入，有效的营造良好的真空环境，分子泵通过吸气管将真空室内部的空气吸出，在工作时通过聚酯纤维吸音板有效的降低噪音，在薄膜进入真空室后，通过滑动板在滑槽上的滑动，有效的对入料口和出料口进行封闭，使得真空室形成一个非常好的封闭圈，避免在离子束沉积光通信薄膜时空气的渗入，避免影响离子束的沉积，通过真空度检测仪能够实时检测真空室内部的空气含量，有效的帮助人们监控真空室内部的真空度，便于离子束的沉积。2.本技术一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备通过设置暖风机和加温管道，有效的帮助离子束在沉积的过程中起到加温蒸发的作用，有效的提升离子束辅助沉积光通信薄膜设备的工作效率，通过高能离子源作为溅射离子源，低能离子源作为辅助离子源，溅射时，荷能离子轰击薄膜表面，使局部加热蒸发，使得薄膜本身的固体原子射出，在这一过程中，暖风机通过对加温管道加温，使得加温管道内部空气温度升高，能够提升薄膜底部的温度，提升薄膜自身原子的蒸发速度，节约蒸发的时间成本，有效的提升设备的工作效率。3.本技术一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备通过设置减震器，有效的减少暖风机在工作时产生的震动，暖风机在不断的向加热管道输送热风时，自身的功率带动产生的震动，影响暖风机以及加热室内部结构的稳定性，从而影响设备整体结构的稳定性，通过减震器内部的减震板、减震气垫和液压柱的共同作用下，有效的利用力的相抵作用，实现减震器的快速减震，有效的提升设备整体结构的稳定性，液压柱内部设置有弹簧，提升液压柱的整体弹性，能够缓冲压力减少震动，有效的提升减震器减震效率，便于人们的使用。附图说明图1为本技术一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备的整体结构示意图。图2为本技术一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备的箱体结构示意图。图3为本技术一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备的入料口结构示意图。图4为本技术一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备的减震器结构示意图。图中：1、真空室；2、箱体；3、聚酯纤维吸音板；4、真空度检测仪；5、吸气管；6、高能离子源；7、低能离子源；8、卷轴；9、入料口；10、隔温层；11、加温管道；12、加温室；13、支撑板；14、减震器；15、暖风机；16、出料口；17、分子泵；18、滑动板；19、滑槽；20、弹簧；21、减震板；22、减震气垫；23、液压柱。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。如图1-4所示，一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，包括真空室1和箱体2，所述箱体2位于真空室1外部一侧，所述真空室1内部上侧设有高能离子源6，所述高能离子源6一侧设有低能离子源7，所述真空室1底部连接加温室12，所述加温室12内部上侧连接加温管道11，所述加温管道11底部设有暖风机15，所述暖风机15底部连接支撑板13，所述支撑板13底部设有减震器14，以及所述加温室12两侧表面均连接隔温层10，所述加温室12外部两侧均设有卷轴8。其中，所述箱体2内壁连接聚酯纤维吸音板3，所述箱体2内部设有分子泵17，所述箱体2表面设有真空度检测仪4，以及所述真空度检测仪4一端连接真空室1，所述箱体2上部连接吸气管5，所述分子泵17通过吸气管5与真空室1连接。其中，所述真空室1底部一侧设有入料口9，以及所述真空室1底部另一侧设有出料口16，所述入料口9内部两侧均设有滑槽19，所述滑槽19内部连接滑动板18，所述出料口16内部结构与入料口9相同。其中，所述减震器14内部设有减震板21，所述减震板21两端均连接减震气垫22，所述减震气垫22上部设有液压柱23，以及所述液压柱23内部连接弹簧20。需要说明的是，本技术为一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，工作时，将设备连接电源，人工将薄膜通过入料口9进入真空室1中，穿过卷轴8经过加温室12上部进入出料口16，通过滑动板18在滑槽19内部的滑动，从而固定薄膜的两端，打开控制分子泵17工作，通过吸气管5将真空室1内部的空气吸出，营造良好的真空环境，聚酯纤维吸音板3有效的降低箱体2内部的噪音，通过真空度检测仪4有效的实时监控真空室1内部的真空度，便于调整，通过高能离子源6作为溅射离子源，低能离子源7作为辅助离子源，溅射时，荷能离子轰击薄膜表面，使局部加热蒸发，使得薄膜本身的固体原子射出，有效的利用气相沉积方式改变薄膜的性能，使得薄膜具有光通信的性能，在离子束沉积的过程中，打开控制暖风机15工作，对加温管道11内部输送热风，提升加温管道11的温度，从而提升蒸发的速度，提升设备工作效率，隔温层10有效的避免加温室12对外部物体的影响，在暖风机15工作的过程中，通过减震器14内部的减震板21、减震气垫22和液压柱23的共同作用下，快速减少震动，提升设备结构的稳定性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，包括真空室(1)和箱体(2)，所述箱体(2)位于真空室(1)外部一侧，其特征在于：所述真空室(1)内部上侧设有高能离子源(6)，所述高能离子源(6)一侧设有低能离子源(7)，所述真空室(1)底部连接加温室(12)，所述加温室(12)内部上侧连接加温管道(11)，所述加温管道(11)底部设有暖风机(15)，所述暖风机(15)底部连接支撑板(13)，所述支撑板(13)底部设有减震器(14)，以及所述加温室(12)两侧表面均连接隔温层(10)，所述加温室(12)外部两侧均设有卷轴(8)。

【技术特征摘要】
1.一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，包括真空室(1)和箱体(2)，所述箱体(2)位于真空室(1)外部一侧，其特征在于：所述真空室(1)内部上侧设有高能离子源(6)，所述高能离子源(6)一侧设有低能离子源(7)，所述真空室(1)底部连接加温室(12)，所述加温室(12)内部上侧连接加温管道(11)，所述加温管道(11)底部设有暖风机(15)，所述暖风机(15)底部连接支撑板(13)，所述支撑板(13)底部设有减震器(14)，以及所述加温室(12)两侧表面均连接隔温层(10)，所述加温室(12)外部两侧均设有卷轴(8)。2.根据权利要求1所述的一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，其特征在于：所述箱体(2)内壁连接聚酯纤维吸音板(3)，所述箱体(2)内部设有分子泵(17)，所述箱体(2)表面设...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗国星，华秀菊，周培，
申请(专利权)人：深圳正和捷思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44