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本实用新型公开了一种离子束辅助沉积光通信薄膜设备，包括真空室和箱体，所述箱体位于真空室外部一侧，所述真空室内部上侧设有高能离子源，所述高能离子源一侧设有低能离子源，所述真空室底部连接加温室，所述加温室内部上侧连接加温管道，所述加温管道底部设...
该专利属于深圳正和捷思科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳正和捷思科技有限公司授权不得商用。

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