【技术实现步骤摘要】
基于连续ring-down的谐振式传感器温度补偿方法
本专利技术涉及温度补偿技术，特别是涉及一种基于连续ring-down的谐振式传感器温度补偿方法。
技术介绍
这几年，MEMS谐振器得到了很多的关注和研究，但MEMS谐振器的谐振频率容易受到温度漂移的影响，这制约了它的实际应用。为了提高MEMS谐振器的温度性能，通常对谐振器的温度误差进行补偿。那么，测温的准确度决定了温度补偿的好坏。文献一(LeeKI,TakaoH,SawadaK,etal.Improvementofthermalresponseintemperaturecontrolledprecisethree-axisaccelerometerwithstabilizedcharacteristicsoverawidetemperaturerange[C]//The,InternationalConferenceonSolid-StateSensors,ActuatorsandMicrosystems,2005.DigestofTechnicalPapers.Transducers.IEEE,2005:80...
【技术保护点】
1.基于连续ring‑down的谐振式传感器温度补偿方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、构建连续ring‑down测试系统：在谐振器闭环自激驱动系统幅度检测环节后，增加幅度比较器和触发器，构建连续ring‑down的系统，以测得ring‑down的时间，表征Q值；步骤2、进行连续ring‑down测试：在全温范围内进行连续ring‑down测试，获取Q值和对应的谐振器频率，并用Q值对频率进行线性拟合，得到频率因为温度误差引起的变化量；步骤3、Q值温度补偿：测量谐振器的频率和Q值，并结合拟合的曲线进行谐振频率的温度补偿。
【技术特征摘要】
1.基于连续ring-down的谐振式传感器温度补偿方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、构建连续ring-down测试系统：在谐振器闭环自激驱动系统幅度检测环节后，增加幅度比较器和触发器，构建连续ring-down的系统，以测得ring-down的时间，表征Q值；步骤2、进行连续ring-down测试：在全温范围内进行连续ring-down测试，获取Q值和对应的谐振器频率，并用Q值对频率进行线性拟合，得到频率因为温度误差引起的变化量；步骤3、Q值温度补偿：测量谐振器的频率和Q值，并结合拟合的曲线进行谐振频率的温度补偿。2.根据权利要求1所述的谐振式传感器温度补偿方法，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王雅刚，朱欣华，苏岩，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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