一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置，包括升降气缸，升降气缸内配合安装有活塞，活塞中部配合安装有传动套，传动套的中部设有传动杆，传动杆的上端和下端分别连接有上压板和下压板，上压板和传动套之间设有上弹簧，下压板与传动套之间设有下弹簧，下压板的底面中部设有抵杆，抵杆的下端安装有抽气吸盘，下压板的底面对称设有两推杆，推杆下端连接有摆杆，摆杆上还转动连接有连杆，连杆的上端转动连接有固定杆。与现有技术相比，本发明专利技术的有益效果在于：整体结构新颖，不仅可稳定夹持硅片，还能防止由于加持力度过大而导致的硅片损坏的情况发生，市场前景广阔。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置
本专利技术涉及硅片加工
，尤其涉及一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置。
技术介绍
硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。无论硅片的厚薄，晶体硅光伏电池制造商都对硅片的质量提出了极高的要求。硅片不能有表面损伤（细微裂纹、线锯印记），形貌缺陷（弯曲、凹凸、厚薄不均）要最小化，对额外后端处理如抛光等的要求也要降到最低。目前，在硅片生产加工过程中，缺乏可以稳定夹持硅片并同时不会损坏硅片的夹持装置。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术公开了一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置，在稳定夹持硅片的同时，可防止硅片损坏。为了达到以上目的，本专利技术提供如下技术方案：一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置，设置在机械臂的端部，其特征在于：包括升降气缸，所述升降气缸为竖直设置的圆桶状结构，其下端开口，所述升降气缸内配合安装有活塞，所述活塞中部配合安装有传动套，所述传动套的中部沿升降气缸的轴线方向开设有通孔，所述通孔内配合安装有传动杆，所述传动杆贯穿传动套，其上端和下端分别连接有水平设置的上压板和下压板，所述上压板和下压板均可上下滑动的设置在升降气缸的内腔中，所述上压板和传动套之间设有上弹簧，所述上弹簧套设在传动杆外，且其上下两端分别与上压板底部以及传动套上端相抵，所述下压板与传动套之间设有下弹簧，所述下弹簧的上下两端分别与传动套下端以及下压板顶部相抵，所述下压板的底面中部设有竖直设置的抵杆，所述抵杆的下端配合安装有抽气吸盘，所述下压板的底面还对称设有两竖直设置的推杆，所述推杆的上端与下压板固定连接，下端连接有摆杆，所述摆杆的一端与推杆的下端转动连接，另一端设有竖直设置的夹持柱，摆杆上还转动连接有连杆，所述连杆的下端与摆杆转动连接，上端转动连接有固定杆，所述固定杆的一端与连杆的上端转动连接，另一端与升降气缸的外壁固定连接，所述夹持柱的下端内侧设有夹持块，所述夹持块的内侧开设有弧形凹槽。进一步的，所述升降气缸的内腔下端设有限位环。进一步的，所述限位环为橡胶限位环。进一步的，所述夹持块为橡胶夹持块。进一步的，所述上弹簧与下弹簧相同。与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：整体结构新颖，不仅可稳定夹持硅片，还能防止由于加持力度过大而导致的硅片损坏的情况发生，市场前景广阔；在夹持硅片时，首先通过活塞运动到最下端，此时两夹持柱张开，使得抽气吸盘吸附硅片的中部，随后通过控制活塞向上运动，使得抽气吸盘带动硅片上移，与此同时，两夹持柱向内夹紧硅片边缘，从而保证了夹持的稳定性；通过采用上弹簧与下弹簧，使得抽气吸盘在接触并吸附硅片时，可柔性接触硅片表面，而两夹持柱在夹持硅片边缘时，可柔性夹持硅片边缘，最大程度的降低了硅片加持过程的损坏率。附图说明图1为本专利技术一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置的结构示意图。附图标记列表：1-升降气缸，2-活塞，3-传动套，4-传动杆，5-上压板，6-下压板，7-上弹簧，8-下弹簧，9-抵杆，10-抽气吸盘，11-推杆，12-摆杆，13-夹持柱，14-连杆，15-固定杆，16-夹持块，17-限位环，18-硅片。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本专利技术，应理解下述具体实施方式仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。如图所示，一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置，设置在机械臂的端部，包括升降气缸1，升降气缸1为竖直设置的圆桶状结构，其下端开口，升降气缸1内配合安装有活塞2，活塞2中部配合安装有传动套3，传动套3的中部沿升降气缸1的轴线方向开设有通孔，通孔内配合安装有传动杆4，传动杆4贯穿传动套，其上端和下端分别连接有水平设置的上压板5和下压板6，上压板5和下压板6均可上下滑动的设置在升降气缸1的内腔中，上压板5和传动套3之间设有上弹簧7，上弹簧7套设在传动杆4外，且其上下两端分别与上压板5底部以及传动套3上端相抵，下压板6与传动套3之间设有下弹簧8，下弹簧8的上下两端分别与传动套3下端以及下压板6顶部相抵，下压板6的底面中部设有竖直设置的抵杆9，抵杆9的下端配合安装有抽气吸盘10，下压板6的底面还对称设有两竖直设置的推杆11，推杆11的上端与下压板6固定连接，下端连接有摆杆12，摆杆12的一端与推杆11的下端转动连接，另一端设有竖直设置的夹持柱13，摆杆12上还转动连接有连杆14，连杆14的下端与摆杆12转动连接，上端转动连接有固定杆15，固定杆15的一端与连杆14的上端转动连接，另一端与升降气缸1的外壁固定连接，夹持柱13的下端内侧设有夹持块16，夹持块16的内侧开设有弧形凹槽。本专利技术在夹持硅片18时，首先控制活塞2运动到最下端，此时两夹持柱13张开，使得抽气吸盘10吸附硅片18的中部，随后通过控制活塞2向上运动，使得抽气吸盘10带动硅片18上移，与此同时，两夹持柱13向内夹紧硅片18边缘，从而保证了夹持的稳定性；通过采用上弹簧7与下弹簧8，使得抽气吸盘10在接触并吸附硅片18时，可柔性接触硅片18表面，而两夹持柱13在夹持硅片18边缘时，可柔性夹持硅片18边缘，最大程度的降低了硅片18加持过程的损坏率。在本实施例中，升降气缸1的内腔下端设有限位环17，限位环17为橡胶限位环。在本实施例中，夹持块16为橡胶夹持块。在本实施例中，上弹簧7与下弹簧8相同。本专利技术方案所公开的技术手段不仅限于上述实施方式所公开的技术手段，还包括由以上技术特征任意组合所组成的技术方案。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置，设置在机械臂的端部，其特征在于：包括升降气缸（1），所述升降气缸（1）为竖直设置的圆桶状结构，其下端开口，所述升降气缸（1）内配合安装有活塞（2），所述活塞（2）中部配合安装有传动套（3），所述传动套（3）的中部沿升降气缸（1）的轴线方向开设有通孔，所述通孔内配合安装有传动杆（4），所述传动杆（4）贯穿传动套，其上端和下端分别连接有水平设置的上压板（5）和下压板（6），所述上压板（5）和下压板（6）均可上下滑动的设置在升降气缸（1）的内腔中，所述上压板（5）和传动套（3）之间设有上弹簧（7），所述上弹簧（7）套设在传动杆（4）外，且其上下两端分别与上压板（5）底部以及传动套（3）上端相抵，所述下压板（6）与传动套（3）之间设有下弹簧（8），所述下弹簧（8）的上下两端分别与传动套（3）下端以及下压板（6）顶部相抵，所述下压板（6）的底面中部设有竖直设置的抵杆（9），所述抵杆（9）的下端配合安装有抽气吸盘（10），所述下压板（6）的底面还对称设有两竖直设置的推杆（11），所述推杆（11）的上端与下压板（6）固定连接，下端连接有摆杆（12），所述摆杆（12）的一端与推杆（11）的下端转动连接，另一端设有竖直设置的夹持柱（13），摆杆（12）上还转动连接有连杆（14），所述连杆（14）的下端与摆杆（12）转动连接，上端转动连接有固定杆（15），所述固定杆（15）的一端与连杆（14）的上端转动连接，另一端与升降气缸（1）的外壁固定连接，所述夹持柱（13）的下端内侧设有夹持块（16），所述夹持块（16）的内侧开设有弧形凹槽。...

【技术特征摘要】
1.一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置，设置在机械臂的端部，其特征在于：包括升降气缸（1），所述升降气缸（1）为竖直设置的圆桶状结构，其下端开口，所述升降气缸（1）内配合安装有活塞（2），所述活塞（2）中部配合安装有传动套（3），所述传动套（3）的中部沿升降气缸（1）的轴线方向开设有通孔，所述通孔内配合安装有传动杆（4），所述传动杆（4）贯穿传动套，其上端和下端分别连接有水平设置的上压板（5）和下压板（6），所述上压板（5）和下压板（6）均可上下滑动的设置在升降气缸（1）的内腔中，所述上压板（5）和传动套（3）之间设有上弹簧（7），所述上弹簧（7）套设在传动杆（4）外，且其上下两端分别与上压板（5）底部以及传动套（3）上端相抵，所述下压板（6）与传动套（3）之间设有下弹簧（8），所述下弹簧（8）的上下两端分别与传动套（3）下端以及下压板（6）顶部相抵，所述下压板（6）的底面中部设有竖直设置的抵杆（9），所述抵杆（9）的下端配合安装有抽气吸盘（10），所述下压板（6）的底面还对称设有两竖直设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓东，姚译敏，
申请(专利权)人：江苏又一城智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32