气相沉积炉尾气处理系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。该气相沉积炉尾气处理系统中能够有效防止尾气在管道内及真空泵上沉积，可有效延长设备的使用寿命，同时过滤罐采用空的罐体结构，无需添加任何化学试剂，罐体可重复使用，尾气沉积物也能够循环利用，可有效降低生产成本。

Exhaust gas treatment system for vapor deposition furnace

The utility model provides a gas deposition furnace tail gas processing system, which comprises a furnace body. The furnace body is provided with an inlet and an outlet of the furnace body. The furnace body outlet is connected with the inlet of the first filter tank, and the outlet of the first filter tank is connected with the inlet of the second filter tank through the first vacuum pump. The outlet of the second filter tank is connected with the third filter tank through the second vacuum pump. The first filter tank, the second filter tank and the third filter tank are empty tank structures. The tail gas treatment system of the vapor deposition furnace can effectively prevent the tail gas from depositing in the pipeline and on the vacuum pump, and can effectively prolong the service life of the equipment. At the same time, the filter tank adopts an empty tank structure, without adding any chemical reagents, the tank can be reused, and the tail gas deposits can also be recycled, which can effectively reduce production. Cost.

【技术实现步骤摘要】
气相沉积炉尾气处理系统
本技术涉及气相沉积炉，特别涉及一种用于气相沉积炉的尾气处理系统。
技术介绍
学气相沉积炉是利用化学气相沉积（ChemicalVaporDeposition）的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。气相沉积炉主要由炉本体（含炉底、下炉体、上炉体及隔热屏）、加热器、过滤系统、真空系统等组成。气相沉积炉排气系统随着尾气在排气系统中流动，其温度逐渐降低；随着尾气的温度降低，除过尾气中难以液化的分子量很小的部分烃类以气体形式排出外，其余分子量较大的烃类尾气部分形成粘度很大的液体，附着在排气系统的管道、焦油罐、阀门、真空泵等器件内壁上，这样就会影响设备的正常使用。中国专利技术专利（专利号：201210078238.7）公开了一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，焦油过滤器的入口通过排气管道与炉体的排气口连通。焦油过滤器的出口通过管道与波纹管的入口端连通。在焦油过滤器与炉体之间有入口压力计；在焦油过滤器的出口与波纹管之间有出口压力计。所述波纹管的出口端与真空泵的进气口通过管道连通；在波纹管与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，其特征在于：所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。

【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，其特征在于：所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述第一真空泵为罗茨真空泵，第二真空泵为螺杆真空泵。3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述炉体进气口与第一过滤罐的进气口之间的连接管道上设有手动真...

【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，
申请(专利权)人：浙江诺华陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33